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公开(公告)号:CN105676447A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610201658.8
申请日:2016-04-05
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Inventor: 赵照
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/085
Abstract: 本发明提供一种音圈电机驱动型扫描微镜,包括反射镜面,所述反射镜面由音圈驱动电机驱动,所述音圈驱动电机由海尔贝克永磁阵列和通电线圈组成,所述通电线圈在海尔贝克永磁阵列形成的磁场中带动反射镜面运动。在本发明中,海尔贝克永磁阵列具有的“磁单极子”特性能够实现音圈电机的磁自屏蔽功能,减少电机对外部环境的电磁干扰;更重要的是,海尔贝克永磁阵列能够以最少量的磁体实现最强的磁场,从而显著降低扫描微镜驱动装置的质量和体积;再者,通过精确设计永磁阵列还可进一步提高微镜扭转或运动的方向性和精确性,为扫描微镜终端产品的小型化、智能化发展提供无限可能。
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公开(公告)号:CN105388866A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201510787927.9
申请日:2015-11-17
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Inventor: 赵照
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G05B19/41805 , G05B2219/32084
Abstract: 本发明提供一种用于IC芯片或MEMS器件的全流程生产工作站,包括一个无尘的人机交换腔,用于人工取放工件和控制工作站运行;智能传输腔,用于传输工件到各个工艺流程腔;一个或多个工艺流程腔,设置在智能传输腔的传输线路上,由中心运输腔和围绕中心运输腔设置的多个卫星腔组成,其中,中心运输腔与智能传输腔连接,其内部设置能够在各个卫星腔内取放工件的自动抓取设备,所述卫星腔能够完成设定的工件生产工艺流程;所述智能传输腔、中心运输腔和卫星腔内的工作环境和运行次序通过设置在人机交换腔内的智能控制机构进行系统控制。所述工作站设计成多层结构,能够极大程度的减少设备占用面积和维护费用,同时提高生产效率,从根本上降低IC或者MEMS器件的生产成本。
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公开(公告)号:CN114035318A
公开(公告)日:2022-02-11
申请号:CN202111360252.1
申请日:2021-11-17
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Abstract: 本申请公开了一种紧凑型眼球跟踪系统及方法,该系统包括偏振模块,用于将IR光转化为特定偏振态的IR光,通过设置布拉格光栅引导处于特定偏振态的IR光衍射至用户眼球,IR传感器模块用于接收自眼睛的镜面反射和散射反射来的IR光,生成眼睛的图像,检测用户的眼睛位置和运动。利用IR衍射光的角度相较与衍射前IR光入射角发生较大改变的特性,使布拉格光栅的安装位置或角度可以设置得尽量小地占用HMD的空间。
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公开(公告)号:CN113984218A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202111360551.5
申请日:2021-11-17
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Inventor: 赵照
Abstract: 本申请公开了一种视杆细胞型红外热成像传感器,该视杆细胞型红外热成像传感器设置有立体结构的对红外热辐射敏感的感光体,在不减小采集热辐射的空间面积的条件下,大幅缩小了红外热成像传感器面积,同时兼具高分辨和小体积的特征;视杆细胞型红外热成像像元顶部设置有超表面结构,感光体顶部设置有抗反射膜,使像元可以接收到更多的热辐射,提高红外传感性能。
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公开(公告)号:CN113596359A
公开(公告)日:2021-11-02
申请号:CN202110936405.6
申请日:2021-08-16
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Inventor: 赵照
Abstract: 本申请公开了一种基于事件检测的单光子成像设备及成像方法,通过进行事件判断、事件检测和事件控制,输出动态帧率和分辨率的事件信号,大幅降低传输流量、储存容量和后端处理器的计算量,有效提高整体的应用效率。电源管理模块根据事件信号数量预测处理器功耗变化趋势,控制电源模块调整功率输出,以起到节能效果,满足超低功耗应用的要求。
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公开(公告)号:CN110292206A
公开(公告)日:2019-10-01
申请号:CN201811086612.1
申请日:2018-09-18
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Inventor: 赵照
Abstract: 本发明公开一种MEMS超微液体喷射芯片,包括:液体通路,具有固定的液体流向;微孔雾化组件,包括沿着液体流向依次设置在所述液体通路上的第一微喷孔板、第二微喷孔板和第三微喷孔板,所述第一微喷孔板、第二微喷孔板和第三微喷孔板上均具有微孔阵列,其孔径依次递减,在微孔阵列上还设置微孔开关;所述第一微喷孔板、第二微喷孔板和第三微喷孔板之间分别形成第一液体腔和第二液体腔;电路控制模块,通过控制微孔雾化组件的形变实现液体的吸入和喷出。利用MEMS工艺制作的微喷孔板能够实现微米级甚至纳米级的超微孔径,逐级设置在液体通路中可实现液体的层层雾化,实现超微雾化颗粒和超大雾化流量,并且具有结构简单、体积小、功耗低的显著优势,尤其适用于要求严苛的工作场景。
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公开(公告)号:CN110279940A
公开(公告)日:2019-09-27
申请号:CN201910622301.0
申请日:2019-07-11
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
IPC: A61N1/32 , A61N5/06 , A61N7/00 , A61F7/00 , A61H23/02 , A61B5/01 , A61B5/04 , A61B5/053 , A61B5/0408 , A61B8/00
Abstract: 本发明公开一种多功能治疗探头,包括探头座,在探头座上设置若干子探头,所述子探头嵌入所述探头座上表面,固定在探头座内部的子探头固定座上,通过子探头电极端子和探头座实现电气连接。本发明在一个探头座上集成多个具备不同功能的子探头,通过程序组合各个子探头与探头座的功能以及时间关系可以实现多个治疗功能的同时复用或者分时复用,为医疗和美容提供了新的解决方案;另一方面,通过多模式多功能的子探头可以更高效的促进机体理化反应,从而提高治疗或美容的效果。
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公开(公告)号:CN109553062A
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201811586271.4
申请日:2018-12-25
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
IPC: B81B7/00
Abstract: 本发明公开一种薄型芯片真空封装结构,包括衬底、盖板、围堰和吸气剂,其特征在于,所述衬底、盖板和围堰通过键合组成真空密封腔体,所述衬底上设置芯片传感区和第一金属焊盘,所述芯片传感区和吸气剂置于真空密封腔体内,所述第一金属焊盘设置在真空密封腔体外围。本发明将第一金属焊盘设置在密封腔体外围的衬底上,只需对芯片传感区进行真空密封,减小了真空封装的内部空间和封装结构的体积,降低了封装成本,满足便携式电子产品对芯片封装结构小型化的要求。
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公开(公告)号:CN105870143B
公开(公告)日:2019-02-01
申请号:CN201610294322.0
申请日:2016-05-03
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Inventor: 赵照
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明涉及图像传感器技术领域,具体涉及一种新型多层结构像元、像元阵列及图像传感器;多层结构像元包括用于读出电路的衬底、固定于衬底上并与读出电路电连接的微桥、微桥能够将电磁波辐射信号转换成电信号、以及用于扩大电磁波吸收面积的吸收盖,以热传递的方式固定在微桥上;吸收盖表面上有感光层,感光层表面有一绝缘层,绝缘层表面上的设有若干中空立体结构;本发明通过在感光层的基础上增设若干表面涂覆有石墨烯等新型材料的中空立体结构,使得在空间保持不变的情况下,增加了接收面积,提高了接收灵敏度,相对于常规像元来说,有效提升30%以上;而且本发明工艺简单,适用于大规模生产。
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公开(公告)号:CN105762164B
公开(公告)日:2019-01-29
申请号:CN201610294321.6
申请日:2016-05-03
Applicant: 合肥芯福传感器技术有限公司
Inventor: 赵照
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明涉及图像传感器技术领域,具体涉及基于外向S型导线的多层结构像元、像元阵列及图像传感器;其中,多层结构像元,包括衬底、微桥,微桥包括用于支撑微桥的第一层桥墩、设置桥墩上的桥面、以及第二层桥墩,其中,双层桥墩之间采用S型布线,并外设在相邻像元底部;桥面表面上有一感光层,用以吸收电磁波,感光层上表面包括一绝缘层,感光层表面上设有若干中空立体结构;本发明通过若干表面涂覆有石墨烯等新型材料的中空立体结构以及S型导线外设,不仅减少了信号在传输过程中的失真,而且在空间保持不变的情况下,增加了接收面积,提高了接收灵敏度,相对于常规像元来说,有效提升30%以上;而且本发明工艺简单,适用于大规模生产。
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