一种角度测量传感器及其标定方法与测量方法

    公开(公告)号:CN109141294A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811255767.3

    申请日:2018-10-26

    CPC classification number: G01B11/26

    Abstract: 本发明涉及一种角度测量传感器及其标定方法与测量方法,所述角度测量传感器包括:激光器,用于射出激光束;可随被测物体同步转动的反射镜,用于接收所述激光器射出的激光束,并使该激光束反射至折射镜;所述折射镜,用于使所述反射镜反射的激光束发生折射,并射出;光电探测器,用于接收从所述折射镜折射出的激光束,并测量其入射位置;处理系统,用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的转动角度。本传感器通过折射镜对反射的激光束进行折射从而对转动前后的反射角的变化进行放大,最后通过激光在光电探测器上入射位置的变化,从而计算出被测物体的转动角度。

    一种折射式位移传感器及其测量方法

    公开(公告)号:CN109084691A

    公开(公告)日:2018-12-25

    申请号:CN201811308026.7

    申请日:2018-11-05

    Inventor: 张白 康学亮

    Abstract: 本发明提供了一种折射式位移传感器及其测量方法,位移传感器包括:三角波反射镜,包括至少一个反射面,所述至少一个反射面沿移动方向依次分布;激光源,用于发射出激光束,且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面;折射镜,用于接收所述反射面反射的激光束,并使接收的激光束发生折射;光电探测器,用于接收经折射镜折射的激光束,并测量其入射位置;处理系统,用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量,计算出被测物体的位移变化值。本发明一种折射式位移传感器,通过折射镜的设置,可以使得在增加位移传感器放大倍数的同时,降低激光入射至光电探测器的角度,从而提高位移传感器的测量精度。

    一种多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪

    公开(公告)号:CN104713474B

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:CN201510144208.5

    申请日:2015-03-30

    Abstract: 本发明公开了一种多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定反射镜、移动反射镜、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数);每束激光经分光镜后变为两束,其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射,到达光电探测器,同时另一束激光依次经移动反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯型反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,显著提高了测量精度。

    对称光桥式自稳激光测径系统及其标定方法、测量方法

    公开(公告)号:CN106969717A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201710166449.9

    申请日:2017-03-20

    CPC classification number: G01B11/08

    Abstract: 本发明涉及一种对称光桥式自稳激光测径系统及其标定方法、测量方法,该对称光桥式自稳激光测径系统包括平行激光源、对称角反射镜、两个聚光镜及两个光电探测器,平行激光源产生的平行激光被对称角反射镜分为两部分,分别反射至一个聚光镜,每个光电探测器检测聚光镜所会聚的激光的强度。本发明所述系统及方法,测量精度不受扫描速度影响,因此测量精度更高,而且测径系统的结构也更简单,成本更低。

    一种新型对称式小量程位移传感器及测量方法

    公开(公告)号:CN105910537A

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201610513478.3

    申请日:2016-07-04

    Inventor: 张白 康学亮

    CPC classification number: G01B11/00

    Abstract: 本发明公开了一种新型对称式小量程位移传感器及测量方法,包括激光束、固定反射镜、移动反射镜、双反射镜、光电探测器和处理系统。运用该传感器,激光束被分为两束并分别反射到对应一侧的光电探测器上一个位置,改变固定反射镜和移动反射镜的间距,即会改变激光束的反射路径,最终照射到对应的光电探测器上另一个位置,处理系统根据这两组不同的两个位置计算得到两组探测距离值,这两组探测距离值远远大于固定反射镜和移动反射镜间距的真实改变值,处理系统能够通过这两组探测距离值的平均值来计算出固定反射镜和移动反射镜间距的真实改变值,该传感器结构简单,适用于被测物体位移连续变化的测量,测量可靠,精度较高,易于实现批量制造。

    一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

    公开(公告)号:CN105091739A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201510289680.8

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动阶梯型角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和微动平台,所述微动阶梯型角反射镜设置在所述微动平台上,所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束,还包括有反射测量光电探测器组,所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,实现抗干扰的目的。

    一种对比式抗干扰微动级联阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

    公开(公告)号:CN104848782A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510287713.5

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰微动级联阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,对比式抗干扰微动级联阶梯角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动阶梯角反射镜组、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜和分光镜组,还包括有反射测量光电探测器组,所述反射测量光电探测器组包括有z个反射测量光电探测器,所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。

    一种多光路自校准激光跟踪测量系统

    公开(公告)号:CN104807437A

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201510099842.1

    申请日:2015-03-06

    CPC classification number: G01C3/00 G01C3/02 G01C15/002

    Abstract: 本发明涉及一种激光测量领域,特别涉及一种多光路自校准激光跟踪测量系统,包括激光头、靶镜以及3个以上的激光跟踪头。相对于传统的激光跟踪仪仅有一路测量激光,并需将激光跟踪仪的角度测量信息引入到测量结果中,本发明提供的多光路自校准激光跟踪测量系统采用多边定位法实现目标靶镜位置的计算,每个激光跟踪测量光路仅仅需要长度信息,大大提高了目标靶镜的空间位置测量精度。同时,在保证3路激光不断光的情况下,其它任意激光光路出现意外断光,不影响整体测量,大大增加了测量工作的稳定性。

    一种多光束阶梯型平面反射镜激光干涉仪及其测量方法

    公开(公告)号:CN104729403A

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201510142670.1

    申请日:2015-03-30

    Abstract: 本发明涉及激光干涉测量技术领域,具体涉及一种多光束阶梯型平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、阶梯型平面反射镜、移动反射镜、光电探测器组以及微动平台,阶梯型平面反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数),所述激光源可以生成多束平行激光,所述光电探测器组有n个光电探测器,激光干涉测量过程中,n个光电探测器将交替处于激光最强干涉状态或最弱干涉状态,测量精度可以达到同时对于测量过程中严格满足多光路干涉状态交替变化的情况才对其进行计数,即在多光路干涉测量中引入交流信号,将传统的激光干涉测量中直流电平的测量转换为交流信号的测量,提高了干涉仪的抗干扰能力。

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