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公开(公告)号：CN106885632A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201710125038.5
申请日：2017-03-03
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/28
Abstract: 本发明涉及一种真空紫外光谱辐射计校准方法及装置，所述方法包括：光谱辐射亮度响应度校准、光谱辐射照度响应度校准和/或波长准确度校准，上述校准均是在无油真空仓中进行的。所述装置包括光谱辐射亮度响应度校准机构、光谱辐射照度响应度校准机构和波长准确度校准机构。国内目前尚无适用于真空紫外光谱辐射计的校准装置，采用本发明的真空紫外光谱辐射计校准方法及装置，可在发射前即在地面实验室真空紫外光谱辐射计的多个参数进行校准，有效保证了真空紫外光谱辐射计获取数据的准确性，对获取太阳和地球表面等日地空间环境的光谱信息等均有着重大意义。
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公开(公告)号：CN106641813A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201510731542.0
申请日：2015-11-02
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
CPC classification number: F21S2/00 , F21V7/0033 , F21V7/22
Abstract: 本发明提供一种真空紫外光管照明装置，包括：真空紫外光源，用于提供紫外光；设置在所述紫外光出射光路上的平面反射镜，用于将所述紫外光进行反射处理，形成反射紫外光；设置在所述反射紫外光出射光路上的离轴抛物面反射镜，用于将所述反射紫外光进行准直处理后输出；采用全反射的方式实现光管照明，结构简单，有效降低光管照明系统成本，保证装调精度。
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公开(公告)号：CN103176280B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201310065831.2
申请日：2013-03-04
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及光学系统设计技术领域，具体的讲是一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其中当进行探测器真空紫外相对光谱响应率校准时，所述复数个准直透镜中的特定准直透镜将110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源变为平行光发送给所述探测器；当进行光源真空紫外光谱辐照度校准时，所述复数个会聚透镜中的特定会聚透镜将经过漫射器的110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源会聚输出至标准探测器，其中经过特定漫射器对特定波段的紫外光源进行均光。通过本发明实施例使用组合式设计方法，使光学系统的7片透镜材料、波段范围和性能参数得到合理匹配，降低了成本，简化了系统结构。
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公开(公告)号：CN103175607B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201310062602.5
申请日：2013-02-28
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
IPC: G01J1/00
Abstract: 本发明涉及紫外辐射量测量技术领域，具体的讲是一种真空紫外光谱辐照度标定方法及系统。获取紫外光源115nm-400nm波段范围的紫外光谱辐亮度L(λ)；获取该紫外光源250nm-400nm波段范围的紫外光谱辐照度E(λ)；利用Ω＝E(λ)/L(λ)，计算得到250nm-400nm波段范围的光源立体角Ω；根据所述250nm-400nm波段范围的光源立体角Ω得到115nm～250nm波段范围内的光源立体角Ω1；利用E1(λ)＝L(λ)·Ω1得到115nm～250nm波段范围内的紫外光谱辐照度E1(λ)。通过本发明实施例解决了光源真空紫外光谱辐照度标定波长下限不能达到250nm以下的难题。
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公开(公告)号：CN104501952A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410705359.9
申请日：2014-12-01
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种积分球，包括球本体，球本体上开有分别用以输入和输出光线的入射口以及出射口，并且，球本体内壁设置有反射层，用以减少球本体内壁对光的吸收。本发明还提供了一种光源，包括氘灯/或氙灯以及上述的积分球，氘灯/或氙灯设置于积分球的入射口以向积分球射入光线。此外，本发明还提供了一种紫外-真空紫外成像光谱仪参数校准方法，该方法中校准采用的光源为权利要求以上所述的光源。采用本发明的技术方案对光具有更高的反射率，更好的耐久性，在提高了能量利用率的同时使得出射光均有更高的均匀性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103175608A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310065834.6
申请日：2013-03-04
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及紫外-真空紫外辐射计量测试领域，具体的讲是一种紫外光源均光装置，包括复数个漫射器，驱动单元；每个所述的漫射器用于对特定波段的入射紫外光进行均光和聚焦；所述驱动单元用于根据测试的需要调节相应的漫射器位于光路中。通过本发明实施例，由于采用了工作于110nm-400nm紫外光波段范围的复数个漫射镜均光和聚焦，保证了以点光源或面光源作为紫外光源时的光谱辐照度校准既可以产生很好的余弦校正效应，又能保证系统的信噪比。
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公开(公告)号：CN103018010A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210499382.8
申请日：2012-11-30
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 一种光源光谱调制装置，包括光源、第一汇聚光学单元、色散单元、数字微镜阵列、第二汇聚光学单元和均匀混光单元；其中，第一汇聚光学单元，汇聚光源的光辐射；色散单元，将经所述第一汇聚光学单元汇聚的光辐射色散成像；数字微镜阵列，位于所述色散单元的焦面处，通过对每个微小反射镜的翻转状态的控制从而对不同光谱位置和光谱带宽进行选择；第二汇聚光学单元，将经所述数字微镜阵列反射的光辐射再次汇聚使其进入均匀混光单元；均匀混光单元，将分离的单色光辐射再次混合重组。本发明通过对光源光谱重新分布，能够对光源的光谱分布特性进行更改，可以应用到光学仪器校准和仿真测试领域，该技术可以提升光学仪器的校准精度和仿真测试能力。
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公开(公告)号：CN102998088A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210478703.6
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种极远紫外光源校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。其中，汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜，其包括摆镜和旋转位移平台，摆镜为两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜。利用本发明可以实现30nm～200nm范围内光源光谱辐射参数校准。本发明提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。
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公开(公告)号：CN203084312U
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201320095024.0
申请日：2013-03-04
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本实用新型涉及光学系统设计技术领域，具体的讲是一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其中当进行探测器真空紫外相对光谱响应率校准时，所述复数个准直透镜中的特定准直透镜将110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源变为平行光发送给所述探测器；当进行光源真空紫外光谱辐照度校准时，所述复数个会聚透镜中的特定会聚透镜将经过漫射器的110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源会聚输出至标准探测器，其中经过特定漫射器对特定波段的紫外光源进行均光。通过本实用新型实施例使用组合式设计方法，使光学系统的7片透镜材料、波段范围和性能参数得到合理匹配，降低了成本，简化了系统结构。
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公开(公告)号：CN203455075U
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201320090602.1
申请日：2013-02-28
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
IPC: G01J3/28
Abstract: 本实用新型涉及光学测试技术领域，具体的讲是一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统，其中包括当进行110nm-200nm波段的紫外光谱测量时，将真空仓抽真空，紫外辐射透过所述真空仓的氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述氟化镁窗口用于吸收波段在110nm以下的紫外辐射；当进行200nm-400nm波段的紫外光谱测量时，向所述真空仓中注入气体，所述紫外辐射通过所述真空仓中的空气和所述氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述空气吸收波段在200nm以下的紫外辐射。通过本实用新型的实施例，在紫外光谱测量时光源光谱辐射度校准和探测器响应度校准中，将二级光谱的杂散辐射有效滤除，减少测量误差，提升测量精度。
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