公开(公告)号：CN1737689A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200510092419.5

申请日：2005-08-18

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/64

Abstract: 一种防护胶膜框架以及使用该框架的光刻用防护胶膜组件，其不仅能借由防护胶膜膜片的张力防止框架向内侧弯曲，使曝光面积减少，亦能得到尺寸精确度以及对光罩的贴附位置精确度良好的防护胶膜组件。本发明的框架，其特征为于框体至少一对的边，具有中央部分为朝外侧凸出的圆弧形状部分，其两侧为朝外侧凹入的圆弧形状部分，再更两外侧为直线形状部分。再者，朝外侧凹入圆弧形状部分的半径为朝外侧凸出圆弧形状部分的半径的1/3以上为宜。本发明特别适用于框架至少一对的边长为400mm以上的大型框架。

公开(公告)号：CN1736615A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200510089495.0

申请日：2005-08-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: B05C5/00

CPC classification number: G03F1/62 ,  B05C5/0254 ,  B05D1/265 ,  Y10T428/3154 ,  Y10T428/31971

Abstract: 本发明的目的为确立模具式涂布器的模具的维修管理方式，并以低成本得到含极少异物的大型防护胶膜组件。为达成前述目的，本发明提供一种模具式涂布器的涂布方法，其特征为预先令模具前端浸泡于或接触在容器等所储存的涂布液体；使用时借着向上方缓缓的升高的方式，利用涂布液体的表面张力，在模具前端形成无液滴的状态后，向基板上排出涂布液体而进行涂布。于不进行涂布时，优选的情况是：令模具时常浸泡于或接触涂布液体，同时并使通过过滤器的涂布液体由模具前端连续或间歇的排出，且对液中的模具进行超声波清洁。

公开(公告)号：CN106353967B

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201610537309.3

申请日：2016-07-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/66

Abstract: 提供一种适于容易化和量产化制造的结构简易的、并且在盖体在容器本体上嵌合的状态下，也可以进行针的嵌合和/或解除的防尘薄膜组件收纳容器。该防尘薄膜组件收纳容器包括收纳防尘薄膜组件的容器本体，在其上嵌合有止动的盖体，其中，容器本体上载置水平方向可动的先端部插入防尘薄膜组件框架侧面上设置的凹部的针和对该针加以固定的针支持装置，在盖体中设置贯通至容器本体内部的开口部，另外，所述针设置从针本体向盖体的开口部的方向延伸的针操作部，该针操作部与其上端部为了将开口部进行密封而贴附的粘着片而被接着固定。

公开(公告)号：CN106353967A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610537309.3

申请日：2016-07-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/66

Abstract: 提供一种适于容易化和量产化制造的结构简易的、并且在盖体在容器本体上嵌合的状态下，也可以进行针的嵌合和/或解除的防尘薄膜组件收纳容器。该防尘薄膜组件收纳容器包括收纳防尘薄膜组件的容器本体，在其上嵌合有止动的盖体，其中，容器本体上载置水平方向可动的先端部插入防尘薄膜组件框架侧面上设置的凹部的针和对该针加以固定的针支持装置，在盖体中设置贯通至容器本体内部的开口部，另外，所述针设置从针本体向盖体的开口部的方向延伸的针操作部，该针操作部与其上端部为了将开口部进行密封而贴附的粘着片而被接着固定。

公开(公告)号：CN106168735A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201610323191.4

申请日：2016-05-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/64 ,  G03F1/62

Abstract: 本发明的目的为提供一种防尘薄膜组件，即使离焦距离小，防尘薄膜组件框架的刚性低，也可容易地处理，从防尘薄膜组件收纳容器安全取出，从而可以无缺陷地向光掩模等贴附的防尘薄膜组件以及其安装方法。本发明的防尘薄膜组件，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧设置可装可卸的防尘薄膜组件支持装置20的同时，离焦距离/外尺寸对角长的值为0.0001～0.003。再者，防尘薄膜组件支持装置20，由平板状或者框状的支持体16构成，通过在支持体16被设置的微粘着性物质，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧可装可卸地设置。

公开(公告)号：CN103728829B

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201310483487.9

申请日：2013-10-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/64

CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F1/142 ,  Y10T428/24008

Abstract: 本发明提供一种使防尘薄膜组件框架的宽窄到极限，以确保大的曝光面积的同时，防尘薄膜组件的制造中以及运送等中没有防尘薄膜组件框架的变形，防尘薄膜的折皱不会发生，可以以希望的尺寸精度在光掩膜上贴附的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件具有防尘薄膜组件框架内框及外框的双重结构，所述内框在将防尘薄膜绷紧设置加以保持的同时具有掩模粘着层，所述外框在与所述内框密切接着的同时可从所述内框上分离。

公开(公告)号：CN105905392A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610091156.4

申请日：2016-02-18

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: B65D6/02 ,  B65D45/02

CPC classification number: B65D11/10 ,  B65D45/02

Abstract: 提供一种作为防尘薄膜组件收纳容器的材料使用添加难燃剂的树脂，其在紫外线中不产生难燃剂以及树脂的老化，收纳的防尘薄膜组件可长期保持清洁状态的防尘薄膜组件收纳容器。本发明为一种收纳至少一个的边长超过500mm的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少盖体由真空成形或者冲压成形的树脂制造，该树脂材料含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。再者，本发明优选难燃剂为溴系化合物，树脂材料为ABS树脂。

公开(公告)号：CN104570590A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410562748.0

申请日：2014-10-21

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/62

CPC classification number: G03F1/62

Abstract: 本发明的目的，是提供一种利用减小了宽度的框架来确保更大的曝光面积，并且在防尘薄膜组件的制作、运输过程中不发生框架的变形及起皱问题，从而能够以所期望的尺寸精度将防尘薄膜粘贴于光掩模上的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，其为至少一对边长是大于500mm的矩形的防尘薄膜组件，在至少一对相对边的以边长的40～80％的边中心为中心的区域，该框架的宽度通过使框架的内侧壁凹陷而变细，并且该变细的区域的框架宽度为3mm以上6mm以下。

公开(公告)号：CN103086050B

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201210421071.X

申请日：2012-10-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/66

Abstract: 提供一种防尘薄膜组件收纳容器，其中，在容器本体固定的状态的防尘薄膜组件被用盖体覆盖，以防止异物附着，运送中也确实维持处于固定状态，并且打开盖体开封时，可以将固定状态简单地解除，将防尘薄膜组件取出。所述防尘薄膜组件收纳容器包括将防尘薄膜组件(16)载置的容器本体(12)，将防尘薄膜组件(16)覆盖的盖体(14)。在容器本体(12)，设置多个防尘薄膜组件固定部(18)，该固定部(18)具有前端部(16a)插入的防尘薄膜组件(16)的防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)，可以转动的针(28)；针(28)可以装卸地设置的针装设部(32)；将在各防尘薄膜组件固定部(18)的针装设部(32)装设的前端部(16a)插入防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)的针(28)以规定角度转动后，针(28)的前端部(28a)不从凹部(26)拔出的将针(28)进行保持的保持装置，该保持装置具有突起部(30)和切口部(32a)。

公开(公告)号：CN103389618A

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201310170901.0

申请日：2013-05-10

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/64

Abstract: 提供一种掩模粘着剂的厚度均一形成的防尘薄膜组件框架。其为四角为圆弧的矩形的防尘薄膜组件框架，其特征在于∶在一个端面全周，靠防尘薄膜组件框架的内周部分上设置有作为掩模粘着剂的涂布用面的连续的高台部，靠外周为低台部，四角圆弧部的高台部的宽度，比防尘薄膜组件框架直线部中的高台部的宽度要大。