公开(公告)号：CN212397465U

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN202020298486.2

申请日：2020-03-11

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  中国科学院光电技术研究所光学元件厂

Inventor： 郭萌 ,  李永强 ,  周丽佳 ,  杨晓 ,  董小龙 ,  王志东 ,  杨伟 ,  刘鑫 ,  邢邦丽

IPC: B08B3/10 ,  B08B3/12 ,  B08B3/08 ,  B08B3/14 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型公开了一种清洗系统，涉及显示技术领域，包括用于转移掩模板的载具、用于转移载具的移载装置、用于清洗掩模板的清洗装置和控制装置，控制装置包括用于检测清洗液信息的检测器、用于记录掩膜板清洗时间的时间控制器和驱动器，检测器设置于清洗装置上，驱动器用于根据检测器反馈的清洗液信息和时间控制器反馈的掩膜板清洗时间信息，控制移载装置转移载具。本实用新型实施例的驱动器根据时间控制器反馈的掩膜板清洗时间信息以及检测器反馈的清洗液的信息，控制移载装置按照工序转移载具，提升掩膜板的清洗效率，提高了清洗效果。