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公开(公告)号：CN101244650A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200810005805.X
申请日：2008-02-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
CPC classification number: H05K3/1283 , H05K3/125 , H05K3/227 , H05K2203/013 , H05K2203/107 , H05K2203/108
Abstract: 本发明提供一种利用激光控制液状体的配置位置并在所希望的配置位置使该液状体干燥而可以形成高精细、高精密的图案的图案形成方法、图案形成装置和液状体干燥装置。在滑架(20)具备射出相对于金属墨液(F)吸收率高的波长的第一照射光(Le1)的第一半导体激光器(LD1)和射出相对于金属墨液(F)吸收率低的波长的第二照射光(Le2)的第二半导体激光器(LD2)。通过第二照射光(Le2)向液状膜(FL)赋予向与第一照射光(Le1)的照射方向相反方向的移动而进行配置位置控制，同时使第一照射光(Le1)入射的液状膜(FL)的部分(照射位置(P1))平坦化。液状膜(FL)被第一照射光(Le1)干燥，形成没有干燥不足的高精细高精密的层图案(FP)。
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公开(公告)号：CN100379054C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200410044580.0
申请日：2004-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
CPC classification number: H01L27/322 , H01L27/3211 , H01L27/3295 , H01L51/0004 , H01L51/5203 , H01L51/5212
Abstract: 一种显示装置及其方法，排列多个由发光部和向阳电极通入驱动电流的驱动电路构成的发光元件而形成，所述发光部在阴电极和作为像素电极形成为透明的阳电极之间夹着发光体，在所述阳电极的至少一个面上具有从驱动电路的馈电点分支而延伸的辅助电极，仅在有该辅助电极的部位配置所述发光体，且在该发光体的配置部位之外的部位配置透光性材料而形成。根据本发明，降低发光体的使用量。
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公开(公告)号：CN1976759A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200680000387.4
申请日：2006-05-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
IPC: B05C5/00 , G02F1/13 , B05C9/12 , G02F1/1335 , B05D1/26 , G02F1/1337
CPC classification number: B41J2/14104
Abstract: 一种液滴喷出装置，其具备将含有图案形成材料的液滴喷出在被喷出面上的液滴喷出机构、和能量束照射机构，该能量束照射机构对以相互不同的定时着落在被喷出面上的液滴彼此的边界照射能量束，以使各液滴的边界区域流动。根据该液滴喷出装置可知，能够形成具有被高精度控制的形状的图案。
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公开(公告)号：CN1317784C
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200310116943.2
申请日：2003-12-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
IPC: H01M8/00
CPC classification number: H01M8/0202 , H01M8/0221 , H01M8/0228 , H01M8/0247 , H01M8/0258 , H01M8/0265 , H01M8/2404 , H01M8/241 , H01M8/2457 , H01M2008/1095 , H01M2250/20 , H01M2250/30 , H01M2300/0068 , Y02B90/18 , Y02P70/56 , Y02T90/32
Abstract: 一种能够低成本简单高效地制造具有任意图案的气体流路的燃料电池的燃料电池的制造方法、以及具有该燃料电池作为供电源的电子机器及汽车，该燃料电池的制造方法包括：在第1基板上形成第1气体流路的第1气体流路形成工序；形成第1集电层的第1集电层形成工序；形成第1反应层的第1反应层形成工序；形成电解质膜的电解质膜形成工序；在第2基板上形成第2气体流路的第2气体流路形成工序；形成第2集电层的第2集电层形成工序；形成第2反应层的第2反应层形成工序；上述第1气体流路形成工序及第2气体流路形成工序中的至少一方是利用喷出装置在基板上涂覆气体流路形成用材料来形成的工序。
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公开(公告)号：CN1944066A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200610141477.7
申请日：2006-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J3/407 , B41J11/002
Abstract: 在喷出头和基板之间设置反射镜。从激光头发射的激光在反射镜和喷出头之间多重反射后，向基板表面的照射位置引导。据此，激光对于反射镜的入射角变小，照射位置的激光的照射角也变小。
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公开(公告)号：CN1831642A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200610051594.4
申请日：2006-03-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
IPC: G03F1/00 , G03F1/08 , H01L21/027
Abstract: 本发明的光掩模的制造方法，其中具备：喷出工序，使用液滴喷出法，向基板上的规定位置喷出含有遮光性材料的液体之液滴；和干燥工序，使所述液体干燥，在所述基板上形成由所述遮光性材料构成的遮光图案。
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公开(公告)号：CN1727923A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN200510082532.5
申请日：2005-07-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: G02B5/201 , B05B7/228 , B05B17/0607 , B05C9/14
Abstract: 本发明提供一种能确保高度精度，又能获得细小直径柱状体的液滴涂布方法。喷出液滴(L)涂布基板(P)。反复进行向喷出液滴(L1)付与光能的工序，和在付与了光能的液滴(L1)上堆积下一个液滴(L2)的涂布工序。
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公开(公告)号：CN1579782A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410058718.2
申请日：2004-07-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/14233 , B41J2/1433 , B41J2/1606 , B41J2/162
Abstract: 本发明提供一种具有良好的稳定喷出性的喷墨头的制造方法及喷墨头，是具有收装液状体的空腔、和与该空腔连通的喷嘴(18)，并且将与空腔相反一侧的喷嘴开口(9)作为喷出口而将收装于空腔内的液状体从喷嘴(18)的喷出口(9)喷出的喷墨头的制造方法。具有使喷嘴(18)的喷出口(9)侧形成为随着朝向喷出口(9)侧而逐渐扩大直径的锥形部(18a)的锥形部形成工序、在喷嘴内的锥形部(18a)上交互形成疏液膜(10a)和亲液膜(10b)从而形成叠层膜(11a)的工序、通过磨削锥形部(18a)上的叠层膜(11a)并使其侧剖面露出而形成疏液膜的环状的端面和亲液膜的环状的端面交互露出的喷嘴内疏液膜(11)的工序。
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公开(公告)号：CN1532054A
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN200410003189.6
申请日：2004-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , B41M3/006 , B41M7/0027 , B41M7/0081 , H01L21/288 , H01L51/0004 , H05K3/1283 , H05K2203/107
Abstract: 本发明提供了使功能性材料精确地固定在粘附面上的指定位置的功能性材料固定方法。为实现发明目的，本发明的功能性材料固定方法包括液滴喷射步骤和干燥步骤，该液滴喷射步骤把含有分散于溶剂中的功能性材料的液滴喷射在粘附面上，该干燥步骤通过对喷射在粘附面上的液滴照射激光使液滴局部加热，使液滴的一部分汽化。按照此方法，在使液滴迅速干燥的基础上能抑制基板整体加热，避免由基板膨胀等引起的基准线的偏移、断线。
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