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公开(公告)号:CN114047673B
公开(公告)日:2022-09-23
申请号:CN202111459709.4
申请日:2021-12-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种隔离内部波动的温控装置及其解耦控制方法。装置盒体底面接触被控物体,内部开设外层流道、夹层流道和内层微流道,装置盒体顶面上设有微翅片;温控水出口、冷却液出口有温度传感器;向内层微流道通入冷却水,向外层流道通入与外界环境温度相同的温控水;由被控物体表面和装置盒体底面热交换传递到内层微流道和外层流道,内层微流道冷却水先热交换温控,外层流道温控水吸收内层微流道对被控物体调控时过热冷量,实时对夹层温控水入口的电磁开关阀解耦控制隔绝温度波动。本发明实现高效温控的同时避免了冷却液对环境的热干扰,有利于光刻设备内部环境温度的均一性和稳定性,且设计结构紧凑,有利于在复杂的光刻机内部使用。
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公开(公告)号:CN114571644A
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202210161725.3
申请日:2022-02-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮。其整体由叶轮上盖和叶轮底座两部分组合而成,二者通过超声波熔融埋植的方式进行结合;叶轮上盖选用金属材料作为内部基体,外表面裹覆有氟树脂涂层,叶轮底座整体采用氟树脂材料;在埋植过程中,叶轮上盖的埋植嵌体与底座的凹槽相互贴合,二者表面的氟树脂材料通过吸收超声波机台传递的高频振动能量,迅速升温达到熔融状态,进而相互融结,形成具有全氟表面的闭式叶轮。本方案中叶轮所有表面均为氟树脂材料,满足了全氟表面的需求,提高了耐腐蚀性能,进而提升了叶轮的使用寿命与工作稳定性;整套工艺流程简单易行,针对不同形状和大小的叶轮无需重新设计开发模具,具有良好的适应性。
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公开(公告)号:CN112890790B
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN202110090080.4
申请日:2021-01-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种穿戴式无创血压动态跟踪监测方法。血压信号获取模块,获取两路血压信号发送到血压信号处理模块,对两路血压信号进行滤波去噪、放大并提取两路血压信号的时间差,得到脉搏波速度,发送到血压信号与血压值转换模块,将两路血压信号的变化转换为血压值的变化,进而实现血压的动态跟踪;血压信号获取模块接触被监测者腕部的动脉血管皮肤表面,进行初始血压标定,建立实际血压值与信号值之间的映射关系;获取脉搏波速度,获得血压指数处理获得准确真实血压。本发明可以实现穿戴式、无创、便携、动态、连续血压跟踪监测,提高用户的舒适体验度,对用户日常活动不造成干扰,并能实时反应用户的血压情况。
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公开(公告)号:CN110441543A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910650326.1
申请日:2019-07-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁饱和特性的磁芯电感式角速度传感测量装置和方法。包括至少一组由数字信号处理器、电感数字转换模块、谐振电容、磁芯电感和涡流屏蔽片构成的传感测量组件;磁芯电感主要由线圈和磁芯以粘接组合构成,涡流屏蔽片安装于定子内部,且涡流屏蔽片位于磁芯电感和永磁体转子之间;谐振电容所述磁芯电感并联连接形成LC谐振器;电感数字转换模块主要由振荡器、放大器、检波器、信号处理模块和模数转换模块构成,数字信号处理器接模数转换模块输出端;通过测量电感值的变化周期得到转子转动周期,最终获得角速度。本发明解决了磁悬浮旋转泵角速度检测问题,具有非接触,低成本,结构简单,易安装和适应环境温度变化等优点。
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公开(公告)号:CN103692431B
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201310651256.4
申请日:2013-12-09
Applicant: 浙江大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 本发明公开了一种微型步行机器人及其驱动方法,它包括前端、后端、导轨、机体和直线步进电机。前端和后端均为方块结构,加工有两个定位孔;导轨为细长圆柱,用于固定前端和后端并使得机体能沿导轨自由运动;机体整体呈方块形,加工有导轨槽和电机槽;驱动电机采用微型压电步进电机。本发明可以独立行走与各种不同的表面,对表面粗糙度,硬度有非常好的适应能力;采用压电步进电机驱动,具有很高的输出力和输出速度;结构简单,可以完全自动化3d打印加工,成本低廉。
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公开(公告)号:CN103344673B
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201310233217.2
申请日:2013-06-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N27/04 , D01D5/00 , D01F6/70 , D06M11/83 , D06M101/38
Abstract: 本发明公开了本发明提供了一种高灵敏度、低成本的基于微纳纤维的氢气传感器及其制备方法。通过静电纺丝装置喷射聚合物溶液,结合纺丝组合夹具和三维自动移动平台的进给实现密度可控有向的聚合物微纳纤维纺丝。之后,通过磁控溅射手段在微纳纤维上修饰气敏层,实现基于微纳纤维的氢传感单元制备。本发明采用静电纺丝与磁控溅射方法,结合纺丝组合夹具实现有向氢敏微纳纤维的制备;整个制备过程耗时短,耗能少,效率高;在材料方面仅用到少量的聚合物溶液与靶材,材料成本低;通过调节三维自动移动平台进给速度,可以自由控制有向微纳纤维密度;通过对溶剂参数和操作参数的调整,可以更为精确的控制有向微纳纤维的直径;通过调节溅射参数,可以实现气敏层厚度的调节。
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公开(公告)号:CN103701359A
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201310651257.9
申请日:2013-12-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电堆的压电振动冲击的旋转电机,它包括圆环形转子、Y型弹性定子、叠层压电堆和电机固定基座,其中,所述叠层压电堆固定在电机固定基座上,Y型弹性定子固定在叠层压电堆上,Y型弹性定子套装在圆环形转子内;本发明采用了将压电堆的振动冲击直接转换为电机转子的转动运动的驱动方式。相对于传统压电电机,本发明采用压电堆直接振动冲击定子产生振动,进而依靠摩擦力推动转子圆环运动。这种运动原理使得电机定子和转子的结构相对简单,有利于大批量和小批量的加工,成本低。同时这种电机的自锁性能和低噪音特性,小型化优势使得它能够应用于消费电子,微机电装备,微型医疗器件和微型机器人领域。
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公开(公告)号:CN101776495B
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201010122857.2
申请日:2010-03-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳米纤维结构的触觉传感器及其制备方法。将具有压电或压阻特性的溶质材料与溶剂相混合以配备出具有压电或压阻敏感特性的,且同时适于拉伸的粘性溶液;利用微量注射泵将该溶液从微型针头中挤出,再通过操纵三维操作平台沿垂直方向运动,以制备出具有敏感特性的微纳米级直立悬空纤维,并利用硅橡胶材料对制备出的微纳米级直立悬空纤维阵列进行封装。相对于其他微触觉感知装置所采用的传统微加工技术,制备简单,用料节省,成本低廉;其直立纤维结构使触觉感知系统更加灵敏。
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公开(公告)号:CN101787575A
公开(公告)日:2010-07-28
申请号:CN201010122870.8
申请日:2010-03-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种针对微纳米级压电纤维的制备方法。利用微量注射泵将溶有压电材料的溶液由玻璃毛细管微型针头中挤出,通过三维操作平台的移动和拉伸过程中的溶剂蒸发,制备微纳米级压电纤维,再经后续的极化处理。本发明通过控制微型针头上溶液的温度和拉伸速度,以及聚偏氟乙烯溶液系统的粘弹性和流动性,可以调整所制备的微纳米级压电纤维的结构尺度,满足传感器设计的不同需求。相对于传统的微纳米级压电纤维制备方法,本发明步骤简单,控制方便,并可以对该压电纤维的制备位置进行精确定位。
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公开(公告)号:CN211243337U
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN201920962995.8
申请日:2019-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种具备测量点位置容错性能的血压柔性传感器。柔性凸起结构薄膜层紧贴接触在刚性基座的底部,柔性凸起结构薄膜层设置有两个独立的不相互连通的薄膜腔,薄膜腔作为压力传递介质容腔;两个压力敏感单元安装于刚性基座中,刚性基座内部开设有两个导压孔,两个压力敏感单元分别安装在两个导压孔的一端并密封连接,两个导压孔的另一端连通到柔性凸起结构薄膜层的两个薄膜腔,压力传递硅油填充薄膜腔和导压孔中;刚性基座上还开设有两个注液孔和两个透气孔。本实用新型用于连续对腕部桡动脉血压进行监测,保证了血压搏动信号传入传感器高效性,能获得稳定可靠的血压信号,提高了测量精度,极大改善穿戴体验,适用于连续长时间的血压监控。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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