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公开(公告)号：CN117203894A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202280031220.3
申请日：2022-05-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制插入损耗的增大并且能够改善IMD的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备：支承基板(3)；中间层(4)，设置在支承基板(3)上；压电体层(9)，设置在中间层(4)上；接合层(7)，设置在支承基板(3)与压电体层(9)之间；低电阻率层(8)，设置在支承基板(3)与压电体层(9)之间；和IDT电极(13)，设置在压电体层(9)上，具有1对汇流条和多个第1电极指(18)以及多个第2电极指(19)。低电阻率层(8)设置在比接合层(7)靠压电体层(9)侧，并且低电阻率层(8)以Al为主成分。
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公开(公告)号：CN111183584B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201880063298.7
申请日：2018-09-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 多工器(1)的第1滤波器(11)具有由多个弹性波谐振器(110)构成的梯型滤波器构造。通过将各谐振器(110)所具有的一对梳齿状电极(32a、32b)之中的一个梳齿状电极(32a)中包含的多个电极指(322a)的另一端(e2)彼此连结而得到的虚拟线(L1)与作为沿着弹性波传播方向(D1)的直线的基准线(L0)交叉。在将第1串联谐振器(111s)的虚拟线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第1倾斜角(α1)，将并联谐振器(111p)的虚拟线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第2倾斜角(α2)，将弹性波谐振器(112s～114s、113p、114p)的虚拟线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第3倾斜角(α3)的情况下，第1倾斜角(α1)和第2倾斜角(α2)的至少一者比第3倾斜角(α3)小。
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公开(公告)号：CN115989637A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202180052339.4
申请日：2021-08-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制带外杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；压电膜(5)，设置在支承基板(2)上；以及IDT电极(6)，设置在压电膜(5)上，在将由IDT电极(6)的电极指的周期决定的弹性波的波长设为λ时，压电膜(5)的膜厚设为1λ以下，压电膜(5)在压电膜(5)的厚度方向上具有第1区域(5a)和第2区域(5b)，作为第1区域(5a)中的密度的第1密度与作为第2区域(5b)中的密度的第2密度不同。
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公开(公告)号：CN110036564B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201780071170.0
申请日：2017-10-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及第一电介质膜(4)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖IDT电极(3)，且由氧化硅构成。IDT电极(3)具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)为欧拉角(0°±5°，‑90°≤θ≤‑70°，0°±5°)，将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，将通过波长λ进行了归一化的第一金属膜的膜厚设为hm/λ(％)，此时，第一金属膜的金属以及膜厚hm/λ(％)为表1所示的任一组合。【表1】
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公开(公告)号：CN115428333A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029093.9
申请日：2021-04-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够更加可靠地抑制横模。本发明的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)以及设置在压电性基板(2)上且具有多个电极指的IDT电极(7)。IDT电极(7)的相邻的电极指在弹性波传播方向上重叠的部分是交叉区域(A)。交叉区域(A)具有位于多个电极指延伸的方向上的中央侧的中央区域(C)以及配置在中央区域(C)的多个电极指延伸的方向两侧的第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)。在第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)中，还具备设置在压电性基板(2)与多个电极指之间的电介质膜(15A、15B)。电介质膜(15A、15B)包括从由氧化铪、氧化铌、氧化钨及氧化铈构成的组中选择的至少一种电介质。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114982129A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202080092557.6
申请日：2020-12-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够提高耐电力性且能够抑制损耗的增大的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电体层(6)上设置有IDT电极(8)，IDT电极(8)具有多根第1、第2电极指(12、13)，多根第1、第2电极指(12、13)由合金膜构成，该合金膜包含Al和从由Cu、Mg、Ag以及Nd构成的组选择的至少一种，在弹性波传播方向上观察多根第1、第2电极指(12、13)时相互重叠的区域为交叉区域(K)，交叉区域(K)具有中央区域(C)和位于中央区域(C)的第1、第2电极指(12、13)延伸的方向两外侧的第1、第2边缘区域(E1、E2)，在多根第1、第2电极指(12、13)之中的至少一根第1、第2电极指(12、13)中，第1、第2边缘区域(E1、E2)的至少一部分中的Cu、Mg、Ag以及Nd的至少一种的浓度比中央区域(C)中的该浓度高。
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公开(公告)号：CN114731147A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080080738.7
申请日：2020-12-02
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 抑制极化反转的发生。在弹性波装置(1)中，多个第1电极指(61)及多个第2电极指(62)设置在压电体层(5)上。多个第3电极指(63)及多个第4电极指(64)设置在压电体层(5)上。连接部包含第2汇流条(82)和第3汇流条(83)。第2汇流条(82)设置在压电体层(5)上，与多个第2电极指(62)的一端连接。第3汇流条(83)设置在压电体层(5)上，与多个第3电极指(63)的一端连接。应力缓解层(9)设置在连接部与压电体层(5)之间。在从支承基板(2)的厚度方向(D0)的俯视下，应力缓解层(9)不到达多个第1电极指(61)与第2汇流条(82)之间的缝隙(102)和多个第4电极指(64)与第3汇流条(83)之间的缝隙(103)。
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公开(公告)号：CN108292913B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201680069692.2
申请日：2016-12-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种能够减小IDT电极的交叉区域中的膜厚的偏差的影响并且能够充分地抑制横模乱真的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1质量附加膜(5a)，被设置在第1电介质膜(4)上以使得在俯视的情况下与IDT电极(3)的多根第1以及第2电极指(3a2、3b2)重叠，沿着各第1以及第2电极指(3a2、3b2)延伸的方向延伸，并且被设置于中央区域(A1)；和第2以及第3质量附加膜(5b、5c)，被设置在第1电介质膜(4)上，并且被设置于第1以及第2边缘区域(A2a、A2b)，一部分在俯视的情况下与第1以及第2电极指(3a2、3b2)之中的至少一方重叠。第2以及第3质量附加膜(5b、5c)的沿着弹性波传播方向的尺寸比第1质量附加膜(5a)的沿着弹性波传播方向的尺寸长。
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公开(公告)号：CN111758219A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201980014467.2
申请日：2019-03-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供能够对横模纹波和阻带上端处的响应这两者进行抑制的弹性波装置。弹性波装置(1)具有：串联臂谐振器(S1～S4)，具有第1IDT电极；和并联臂谐振器(P1～P3)，具有第2IDT电极，在第1IDT电极中，作为通过将多个第1电极指的顶端相连而形成的虚拟线的第1包络线相对于弹性波传播方向而倾斜地延伸，作为通过将多个第2电极指的顶端相连而形成的虚拟线的第2包络线相对于弹性波传播方向而倾斜地延伸，第2IDT电极具有：中央区域；第1低声速区域，声速低于中央区域中的声速；第2低声速区域，声速低于中央区域中的声速；第1高声速区域，声速高于中央区域中的声速；和第2高声速区域，声速高于中央区域中的声速。
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公开(公告)号：CN111656685A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201980007835.0
申请日：2019-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供能够更加可靠地抑制横模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备反向速度面为凸的压电性基板(2)、设置在压电性基板(2)上的IDT电极(7)、以及层叠于IDT电极(7)的质量附加膜(8)。IDT电极(7)具有中央区域(B)、第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)、位于这两个边缘区域的外侧的第一间隙区域(Da)、第二间隙区域(Db)、第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)、第一外侧汇流条区域(Ha)、第二外侧汇流条区域(Hb)。质量附加膜(8)至少层叠在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)及第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)。
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