Patent search ap:("株式会社东芝" OR "芝浦机械电子株式会社") AND inv:"西部幸伸" Page 6

51.

发明公开
处理装置及处理方法无效

公开(公告)号：CN104037108A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410080006.4

申请日：2014-03-06

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 佐佐木真一 , 添田胜之 , 西部幸伸

IPC: H01L21/67 , H01L21/02

CPC classification number: B08B3/022 , B08B3/041

Abstract: 本发明的一个实施方式，为具备用冲刷液冲洗处理物的表面的处理液的冲刷部、以及使上述处理物的表面干燥的干燥部的处理装置，上述干燥部具有：腔室；设置在上述腔室的内部、朝上述处理物的表面喷射气体的喷嘴；设置在上述冲刷部与设置有上述喷嘴的上述腔室内部的空间之间的气流控制部；以及沿上述处理物的搬送方向排列的多个搬送辊。并且，上述气流控制部具有设置在上述处理物搬入一侧的第1开口部和设置在上述处理物搬出一侧的第2开口部，上述第2开口部的开口面积比上述第1开口部的开口面积小。

Patent Agency Ranking