公开(公告)号：CN204544839U

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201390000748.0

申请日：2013-10-31

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 三品贤二 ,  鉴继薰

IPC: B08B3/02

CPC classification number: B08B3/022 ,  C03C23/0075

Abstract: 平板玻璃清洗装置一边搬运平板玻璃(G)一边清洗该平板玻璃(G)，沿着平板玻璃(G)的搬运方向具备多个清洗区(2～6)。在各清洗区(2～6)中配置有向平板玻璃(G)喷吹清洗液(W)的喷雾器(8)、和回收清洗液(W)的储液槽(9)。各储液槽(9)对同一清洗区所含有的喷雾器(8)、以及在其上游侧邻接的清洗区所含有的喷雾器(8)分别供给已回收的清洗液(W)。

公开(公告)号：CN222325880U

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202290000729.7

申请日：2022-11-02

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 鉴继薰

IPC: B08B1/12 ,  B08B1/34 ,  B08B1/20 ,  B08B1/40 ,  B08B3/02 ,  C03C23/00 ,  B08B3/04 ,  H01L21/304

Abstract: 一种玻璃板的清洗装置(1)，其具备：旋转清洗体(W)，其具有与玻璃板(G)的上表面(Ga)接触的清洗构件(9)以及连结于清洗构件(9)而与清洗构件(9)一起旋转的旋转轴(8)；以及支承台(5)，其支承旋转轴(8)。支承台(5)具备将旋转轴(8)支承为能够沿轴向移动的滑动支承构造(S)。

公开(公告)号：CN221412461U

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202290000526.8

申请日：2022-06-22

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 中塚弘树 ,  山本好晴 ,  鉴继薰

IPC: B01D35/02 ,  B08B3/02 ,  B01D35/027

Abstract: 本实用新型防止设置于贮存罐内的网式过滤器的堵塞。供液装置具备：贮存罐(10)，其贮存清洗液(液体)(W)；吸引泵(30)，其对贮存于贮存罐(10)的清洗液(液体)(W)进行吸引；配管构件(20)的第二配管构件(22)，其将贮存罐(10)与吸引泵(30)连通；网式过滤器(50)，其设置于作为贮存罐(10)与第二配管构件(22)连接的连接部的贮存罐侧流出口(10b)；以及框架(60)，其保持网式过滤器(50)以抑制网式过滤器(50)向吸引泵(30)侧变形。

公开(公告)号：CN215480583U

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN201990000578.3

申请日：2019-03-20

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 中塚弘树 ,  鉴继薰

IPC: C03C23/00 ,  B08B1/02 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

Abstract: 玻璃板的清洗装置具备搬运玻璃板(G)的搬运机构、以及包括在与玻璃板(G)的搬运方向(Y)交叉的宽度方向上隔开间隙(S)地配置的多个清洗构件(10)的清洗列(8a～8c)。清洗列(8a～8c)在搬运方向(Y)上隔开间隔地设置有三列。三列清洗列(8a～8c)的间隙(S)在宽度方向上的位置彼此不重叠。

公开(公告)号：CN211275818U

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN201921419548.4

申请日：2019-08-28

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 鉴继薰 ,  中塚弘树 ,  山本好晴

IPC: B08B11/04 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型提供一种玻璃基板清洗装置，其能够抑制齿轮彼此的磨损而实现齿轮的长寿命化，防止由于磨损粉末的附着而产生玻璃基板的品质缺陷。对玻璃基板(G)的玻璃面进行清洗的玻璃基板清洗装置(1)包括多个清洗构件(2)、分别支承多个清洗构件(2)的多个旋转轴(5)、分别设置在多个旋转轴(5)上的多个齿轮(7)、以及驱动多个旋转轴(5)中的至少一个的旋转驱动机构(马达M)，多个齿轮(7)中的相邻的齿轮(7)间相互啮合，所述玻璃基板清洗装置(1)还具有向相邻的齿轮(7)彼此啮合的啮合部(8)赋予液体(L)的液体赋予机构(9)。

公开(公告)号：CN211045383U

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201922113113.3

申请日：2019-11-28

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 鉴继薰 ,  中塚弘树 ,  山本好晴

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型提供一种玻璃基板的制造装置，该玻璃基板的制造装置能够防止尘埃附着于玻璃基板并制造具有高表面品质的玻璃基板。一种玻璃基板(G)的制造装置(1)，其对在上游被加工的玻璃基板(G)进行清洗并干燥，其中，所述玻璃基板(G)的制造装置(1)具有：对玻璃基板(G)进行清洗的接触清洗部(2)；针对由接触清洗部(2)进行了清洗的玻璃基板进行漂洗工序的冲洗部(3)；以及对在冲洗部(3)中进行了漂洗的玻璃基板(G)进行干燥的干燥部(4)，在干燥部(4)设置用于喷出洁净空气的清洁空气导入单元(34)。

公开(公告)号：CN210084436U

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201920657659.2

申请日：2019-05-08

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 鉴继薰 ,  星野爱信

IPC: B65G49/07 ,  B65G49/06 ,  H01L21/304

Abstract: 本实用新型提供一种能够充分地抑制从齿轮产生的粉尘的输送装置。干燥用输送装置(输送装置)(5A)具备将套设于中间轴(52)的多个第一齿轮(53、53…)设在内部的槽状构件(56)，槽状构件(56)具有向内部供给水(W)的供给口(56a)和能够使从供给口(56a)供给的水(W)的水位变化的水位变更部件(56b)。多个第一齿轮(53、53…)在槽状构件(56)内能够浸没水(W)中。