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公开(公告)号：CN101741343A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910168371.X
申请日：2009-08-31
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
Abstract: 本发明涉及谐振器、滤波器、以及电子装置。该谐振器包括：基板；下电极；压电薄膜，设置在所述下电极上；以及上电极，设置在所述压电薄膜上。所述下电极包括设置在所述基板上的第一薄膜、以及设置在第一薄膜上并且比重大于第一薄膜的比重的第二薄膜。所述压电薄膜设置在第二薄膜上。所述上电极包括设置在所述压电薄膜上的第三薄膜、以及设置在第三薄膜上的第四薄膜，第三薄膜的比重大于第四薄膜的比重。第三薄膜比第二薄膜厚。
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公开(公告)号：CN100594675C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200510105173.0
申请日：2005-09-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/54
CPC classification number: H03H9/564 , H03H7/18 , H03H7/46 , H03H9/0571 , H03H9/706
Abstract: 本发明提供了具有改进特性的紧凑双工器。双工器包括：第一和第二滤波器，包括按梯型形式布置的多个膜体声学谐振器；第一和第二集成无源器件，置于公共端子与第一和第二滤波器之间；以及基板，第一和第二滤波器以及第一和第二集成无源器件安装在其上。该基板包括用于实现连接在第一和第二滤波器与地之间的电感的导电图案。第一和第二集成无源器件包括连接到第一和第二滤波器的电感器。
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公开(公告)号：CN100576737C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200710154066.6
申请日：2007-09-13
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0222 , H03H9/02574
Abstract: 本发明涉及声波器件、谐振器和滤波器。该声波器件包括压电基板；形成在所述压电基板上的梳状电极；以及设置为覆盖所述梳状电极的第一介电膜，并且所述第一介电膜设置为使得：在所述第一介电膜中形成空隙并且该空隙接触所述梳状电极的指。
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公开(公告)号：CN100542022C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200510063776.9
申请日：2005-03-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02094 , H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/0428
Abstract: 谐振器、滤波器以及谐振器的制造。该谐振器包括：设置在基板主表面上的压电薄膜；设置在压电薄膜的第一表面上的第一电极膜；设置在压电薄膜第二表面上的第二电极膜；设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜其中之一上的频率调整膜；所述频率调整膜包括膜叠层，该膜叠层包括设置在第一电极膜和第二电极膜其中之一上的第一调整膜，以及设置在第一调整膜上的第二调整膜。第一调整膜用于Δf调整，第二调整膜用于校正滤波器制造工艺中生成的频率偏移。由此，可以准确地控制其中连接有多个谐振器的滤波器的中心频率。
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公开(公告)号：CN100499366C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200510076089.0
申请日：2005-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器，其包括：具有平面的器件基板；以及层状体，设置在所述器件基板上，并由下电极、上电极，以及夹在该上电极和下电极之间的压电膜构成。该层状体具有膜部分，其中所述上电极通过所述压电膜与所述下电极彼此重叠，在所述器件基板和所述下电极之间形成向上拱起的穹顶形的间隙，并且该间隙位于该膜部分的下方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100492900C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN02824505.9
申请日：2002-09-05
Applicant: 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H03H9/6469 , H03H9/0071 , H03H9/14535 , H03H9/6436 , H03H9/6476 , H03H9/6483
Abstract: 提供了一种能获得低插入损耗和宽带宽特性的表面声波滤波器。该表面声波滤波器包括压电基板；形成于压电基板之上的一对反射电极；和形成于压电基板上的反射电极对之间的多个梳状电极，其中，对于这多个梳状电极中的相邻两个梳状电极，对一个梳状电极的电极间距进行设定，以在与另一个相邻梳状电极的最外面的指状电极相对的间隙处获得由这两个梳状电极分别产生的表面声波的连续变化的相位。
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公开(公告)号：CN100490321C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200510076095.6
申请日：2005-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0076 , H03H9/14541 , H03H9/6476 , H03H9/725
Abstract: 表面声波器件。一种表面声波器件，包括具有双层结构电极的至少一个交叉指型转换器，在该双层结构中层叠有上层膜和底层膜。其中，所述上层膜具有主要成分Al以及添加到该主要成分中的第一金属Ti。所述底层膜具有主要成分Ti。
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公开(公告)号：CN101207370A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710198855.X
申请日：2007-12-14
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/173
Abstract: 本发明提供了薄膜体声波谐振器和滤波器。该薄膜体声波谐振器包括：下电极，其形成在基板的空腔上或以在该下电极和所述基板之间形成空腔的方式形成；压电薄膜，其形成在所述下电极上；上电极，其形成在所述压电薄膜上以获得隔着所述压电薄膜与所述下电极相对的谐振区；支撑区，其设置在所述谐振区的周围，该支撑区的宽度为沿横向传播的波的波长的0.35倍到0.65倍，并透射所述波；以及相邻区，其设置在所述支撑区的周围并阻挡所述波。
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公开(公告)号：CN101064500A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710107701.5
申请日：2007-04-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种滤波器和双工器，该滤波器包括：压电薄膜谐振器，所述压电薄膜谐振器具有基板、由所述基板支承的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜、以及设在所述压电膜上的上部电极。所述压电薄膜谐振器中的至少一个压电薄膜谐振器具有其中所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。上述部分的形状与其他压电薄膜谐振器的相应部分的形状不同，从而所述压电薄膜谐振器中的上述至少一个压电薄膜谐振器中的寄生成分在与所述其他压电薄膜谐振器中出现寄生成分的频率不同的频率处出现。
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公开(公告)号：CN101030764A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710085821.X
申请日：2007-02-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02559 , H03H9/14541 , H03H9/6483
Abstract: 本发明公开了一种弹性边界波器件、谐振器以及滤波器。所述弹性边界波器件包括：LiNbO3基板；设置在所述基板上并激励弹性波的电极；以及设置在所述基板上以覆盖所述电极的二氧化硅膜，并且所述弹性边界波器件的参数具有范围中的任意一个，其中，“θ”为所述基板的旋转Y切割角，“a”为铜密度与用作所述电极的材料的密度之比，“λ”为由所述电极激励的弹性波的波长，“h”为所述电极的膜厚度，“H”为所述二氧化硅膜的厚度。
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