公开(公告)号：CN103019034A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210353259.5

申请日：2012-09-20

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 下野胜弘 ,  米泽裕之

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案、MEMS结构体制造方法、干及湿蚀刻方法。所述正型感光性树脂组成物即使在对所形成的图案进行烘烤后，也能形成矩形或接近矩形的轮廓。本发明使用正型感光性丙烯酸系树脂，该正型感光性丙烯酸系树脂在主链末端上含有羧基，且含有具有3元环及/或4元环的环状醚基的重复单元，在碱性显影液中为不溶或难溶性，且通过酸的作用而变得可溶于碱性显影液中。

公开(公告)号：CN102264770A

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200980148599.0

申请日：2009-12-02

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 儿玉邦彦 ,  崎田享平 ,  米泽裕之

IPC: C08F2/48 ,  C08F220/30

CPC classification number: C08F222/20 ,  B05D5/00 ,  B29C59/005 ,  B29K2033/04 ,  B29K2105/0085 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F2/48 ,  C08F220/18 ,  C08F222/14 ,  C08F222/24 ,  C09D4/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种具有良好图案化能力和耐干蚀刻性的压印用可固化组合物。公开了一种压印用可固化组合物，所述压印用可固化组合物包含：可聚合单体(Ax)和光聚合引发剂，所述可聚合单体(Ax)具有含芳族基团并且分子量为100以上的取代基。