四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN101881785A

    公开(公告)日:2010-11-10

    申请号:CN201010205116.0

    申请日:2010-06-22

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明属于微机电系统领域,涉及一种四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器及其制备方法。由可动质量块、成对的弹簧折叠梁、插指状下电极和微加速度传感器外框组成;在外部载荷的作用方向上,可动质量块的前端和后端通过弹簧折叠梁连接在加速度传感器外框上,可动质量块、弹簧折叠梁、加速度传感器外框为一体结构;在可动质量块的下表面制作有上电极,上电极与插指状下电极间具有一定的空隙,从而组成平板差分电容,上电极通过加速度传感器外框与插指状下电极键合在一起。本发明所述的传感器结构,明显地解决了变间隙结构存在的非线性问题,利于后续检测电路的制作,同时使振动模态更好的分离,提高了器件的抗干扰能力并增加传感器的灵敏度。

    静电驱动的光波导和F-P腔可调谐光滤波器及制备方法

    公开(公告)号:CN101666907A

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200910067600.9

    申请日:2009-09-29

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于SOI光波导和F-P腔的静电梳状电极驱动的可调谐光滤波器及其制备方法。利用梳状电极带动两个对称的DBR移动,通过调整F-P腔的等效腔长实现可调谐滤波功能。该结构的可调谐滤波器具有调谐范围宽、调谐精度高、调谐速度快、结构紧凑新颖、便于和其它光学、电学元件集成的优点。采用两个DBR同时移动的对称调谐方式,可以增加波长调谐范围。充分利用(110)硅片的结晶学特征,通过感应耦合等离子体刻蚀工艺和各向异性湿法腐蚀工艺相结合的方法,制作DBR和F-P腔,DBR和F-P的表面为硅晶体的{111}面,使DBR镜面垂直且表面光滑,增加DBR的反射率,提高滤波器的性能。

    一种厘米波/毫米波超宽带信号产生装置

    公开(公告)号:CN113489551B

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202110756005.7

    申请日:2021-07-05

    Applicant: 吉林大学

    Inventor: 董玮 都聪 张歆东

    Abstract: 一种基于微波光子外部调制技术结合上变频技术的厘米波/毫米波超宽带信号产生装置,属于微波光子学技术领域。由激光源、耦合器1、耦合器2、偏振控制器1、偏振控制器2、双平行马赫曾德尔调制器、马赫曾德尔调制器、任意波形发生器、微波信号源、直流稳压源1、直流稳压源2、直流稳压源3、直流稳压源4、掺铒光纤放大器、可调光滤波器、可调光延迟线、平衡光电探测器、频谱分析仪和示波器构成。该装置能生成厘米波超宽带信号和毫米波超宽带信号,适用于室内超宽带通信系统也适用于室外超宽带雷达系统。本发明基于单边带调制实现上变频技术的方法相较于其他方法具有更好的灵活性、稳定性,且更适用于超宽带信号在长距离光纤中传输。

    一种新型电磁流量计及其测量方法

    公开(公告)号:CN112229457B

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN202011302168.X

    申请日:2020-11-19

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种新型电磁流量计及其测量方法,属于精密仪表测量技术领域。一种新型电磁流量计,包括流量传感器、励磁电路、信号分析电路、励磁信号采集电路、计算控制模块、人机交互系统及液体管道。励磁电路又是由一个仪表放大器与两个通用运算放大器组成,结构简单可靠。本发明还包括该流量计的新型流量测量方式:励磁对比测量法。即根据经过流速信号分析电路得到的流速信号波形与根据励磁信号采集电路获得的励磁波形的对应关系,找到流速信号的最大值,从而提高液体流速测量精度。

    一种基于有机无机杂化双钝化层的钙钛矿光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109585660B

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN201811491140.8

    申请日:2018-12-07

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种基于有机无机杂化双钝化层的钙钛矿光电探测器及其制备方法,属于光电探测技术领域。所述器件由下至上,依次由ITO阳极、PTAA空穴传输层、CH3NH3PbI3钙钛矿有源层、非富勒烯IEICO有机材料层、C60层、BCP阴极缓冲层、Cu阴极组成。CH3NH3PbI3钙钛矿有源层,主要吸收紫外至可见波段部分的光;IEICO有机材料层和C60层形成异质结,利用其对近红外波段的响应钙钛矿互补,进而形成宽带响应的探测器;并且作为双钝化层对CH3NH3PbI3钙钛矿层的缺陷起到了钝化作用,有效的减少钙钛矿层的陷阱密度,从而减少了器件噪声电流,提高了探测性能,展现出了良好的敏感特性。

    基于受激布里渊散射效应和光频梳的微波信号产生方法及装置

    公开(公告)号:CN107065390B

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201710504291.1

    申请日:2017-06-28

    Applicant: 吉林大学

    Inventor: 董玮 王悦 张歆东

    Abstract: 一种基于高非线性光纤中的受激布里渊散射效应和光频梳的微波信号产生方法及装置,属于微波光子学技术领域。由可调谐激光器、第一耦合器、第二耦合器、第一环行器、第二环行器、第一高非线性光纤、衰减器、第四耦合器、第一光电探测器、功分器、强度调制器、第四直流稳压源、第一双平行马赫曾德尔调制器、第五直流稳压源、第六直流稳压源、第七直流稳压源、第三环行器、第二高非线性光纤、第三耦合器、第二光电探测器、微波放大器、第二双平行马赫曾德尔调制器、第一流稳压源、第二直流稳压源、第三直流稳压源、隔离器、第五耦合器、第三光电探测器和频谱分析仪组成。光电振荡器的选模和正反馈优点,使得输出的微波信号频谱纯度好、噪声低。

    一种宽带近红外光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109713128A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201811607541.5

    申请日:2018-12-27

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种宽带近红外光电探测器及其制备方法,属于光电探测技术领域。由ITO导电玻璃衬底、PTAA空穴传输层、钙钛矿CH3NH3PbI3有源层、PTB7-Th/F8IC有机异质结层、C60电子传输层、BCP阴极缓冲层和Cu阴极组成。本发明通过将有机给体材料PTB7-Th与有机受体材料F8IC共混形成异质结,进一步与有机无机杂化钙钛矿CH3NH3PbI3相结合,从而实现探测器的300~1000nm超宽波长探测并且拥有1ns以下的超快速响应,解决了有机无机杂化钙钛矿材料自身光吸收波段局限于紫外到可见光区域,应用受到诸多方面的限制的问题。

    一种基于有机无机杂化双钝化层的钙钛矿光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109585660A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811491140.8

    申请日:2018-12-07

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种基于有机无机杂化双钝化层的钙钛矿光电探测器及其制备方法,属于光电探测技术领域。所述器件由下至上,依次由ITO阳极、PTAA空穴传输层、CH3NH3PbI3钙钛矿有源层、非富勒烯IEICO有机材料层、C60层、BCP阴极缓冲层、Cu阴极组成。CH3NH3PbI3钙钛矿有源层,主要吸收紫外至可见波段部分的光;IEICO有机材料层和C60层形成异质结,利用其对近红外波段的响应钙钛矿互补,进而形成宽带响应的探测器;并且作为双钝化层对CH3NH3PbI3钙钛矿层的缺陷起到了钝化作用,有效的减少钙钛矿层的陷阱密度,从而减少了器件噪声电流,提高了探测性能,展现出了良好的敏感特性。

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