公开(公告)号：CN108225621A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201810003688.7

申请日：2018-01-03

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 于军胜 ,  庄昕明 ,  张大勇 ,  侯思辉

IPC: G01L1/14 ,  G01L1/16 ,  H01L41/113 ,  H01L41/22 ,  H01L51/05

Abstract: 本发明公开了一种基于有机场效应管压力传感器及其制备方法，包括位于最底层的衬底，衬底表面设置有栅电极，衬底与栅电极上面设置有介电层，介电层上面设置有半导体层，半导体层上分别设置有源电极和漏电极，在衬底上还设置有封装层将栅电极，介电层，半导体层，源电极和漏电极包裹其中，其中介电层为竹纤维素与生物介电材料的混合材料，竹纤维素含量为50％～75％，半导体层为竹纤维与可溶性生物半导体材料的混合材料，纤维素含量为5％～15％。本发明传感器中竹纤维素能高灵敏高响应探测压力，掺杂竹纤维素的介电层和有机半导体层使器件稳定性更高，更加环保，制备方法工艺易实现，能最好地兼容生物材料功能层，及减少制备过程对环境的污染。