扩片方法、半导体装置的制造方法、以及粘合片

    公开(公告)号:CN111886673A

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201980017581.0

    申请日:2019-03-05

    Abstract: 本发明提供一种扩片方法,该方法包括:贴合工序,将多个被粘附物贴合于粘合片(10)的第一粘合剂层(12)或第二粘合剂层(13);扩片工序,使粘合片(10)伸展,以扩大所述多个被粘附物的间隔;以及能量射线照射工序,对第一粘合剂层(12)及第二粘合剂层(13)照射能量射线,以使第一粘合剂层(12)及第二粘合剂层(13)固化,所述粘合片(10)具有含有第一能量射线固化性树脂的第一粘合剂层(12)、含有第二能量射线固化性树脂的第二粘合剂层(13)、以及基材(11)。

    长条层叠片的卷料
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111629892A

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN201980009705.0

    申请日:2019-01-22

    Abstract: 本发明的目的在于防止在由包含带树脂膜形成层的支撑片和长条的剥离片的长条层叠片卷绕成卷状而成的卷料中的树脂膜形成层上产生卷绕痕迹,该带树脂膜形成层的支撑片具有大致矩形的支撑片和形成于支撑片的大致矩形的树脂膜形成层,且具有用于将环形框架保持在俯视下围绕树脂膜形成层的区域的大致矩形的环形框架保持构件,在剥离片剥离处理面上短边方向的两端连续层叠长条辅助片,多个带树脂膜形成层的支撑片沿剥离片长边方向可剥离且独立地暂时粘着于剥离片剥离处理面上短边方向内侧。该长条层叠片中,将从去除剥离片后的树脂膜形成层侧俯视图中树脂膜形成层与辅助片外侧端的距离设为W1、将该俯视图中辅助片最宽部分的辅助片宽度设为W2时,W2/W1≤1.6。

    半导体装置的制造方法
    45.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111295739A

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201880070770.X

    申请日:2018-11-07

    Abstract: 本发明涉及一种半导体装置的制造方法,该方法依次具有下述工序(1)~(3),且在工序(3)之后使粘合片(A)的膨胀性粒子膨胀而将粘合片(A)从被粘附物分离。工序(1):将具有基材(Y2)及粘合剂层(X2)的粘合片(B)拉伸而扩大载置于粘合片(B)的粘合剂层(X2)上的多个芯片彼此间的间隔的工序;工序(2):将粘合片(A)的粘合剂层(X1)粘贴于所述多个芯片的与和粘合剂层(X2)相接触的面相反侧的面的工序;工序(3):将粘贴于粘合片(A)的所述多个芯片与粘合片(B)分离的工序。

    半导体装置的制造方法及双面粘合片

    公开(公告)号:CN110476241A

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201880022512.4

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 本发明提供具有下述工序(1)~(4)的半导体装置的制造方法、以及该制造方法所使用的双面粘合片,所述半导体装置的制造方法是使用双面粘合片制造半导体装置的方法,所述双面粘合片依次具有第1粘合剂层、包含膨胀性粒子且为非粘合性的基材、以及第2粘合剂层。工序(1):将硬质支撑体粘贴于第2粘合剂层的粘合表面的工序。工序(2):将半导体芯片放置于第1粘合剂层的粘合表面的一部分的工序。工序(3):用密封材料包覆所述半导体芯片、以及第1粘合剂层的粘合表面中所述半导体芯片的周边部,使该密封材料固化,得到所述半导体芯片被固化密封材料密封而成的固化密封体的工序。工序(4):使所述膨胀性粒子膨胀,从所述固化密封体剥离所述双面粘合片的工序。本发明可以抑制扇出型的封装的制造工序中半导体芯片发生位置偏移,生产性优异,得到的半导体装置的再布线层形成面的平坦性优异。

Patent Agency Ranking