一种硅片表面研磨装置
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110911314A

    公开(公告)日:2020-03-24

    申请号:CN201911199415.5

    申请日:2019-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种硅片表面研磨装置,属于表面处理技术领域,包括等离子体喷枪、伺服电机和激光测距组件;所述伺服电机与等离子体喷枪连接;所述等离子体喷枪包括喷嘴和位于等离子体喷枪内的等离子体喷枪控制系统、等离子体发生器和等离子体通道;所述等离子体喷枪控制系统与等离子体发生器和伺服电机通信连接;所述等离子体发生器依次与等离子通道和喷嘴连接;所述激光测距组件与等离子体喷枪连接;所述喷嘴与等离子体通道的连接处,设置有等离子体通道出口。本发明可对硅片进行自动化表面研磨,同时减少对环境的污染。

    一种金属表面纳秒脉冲等离子体制备纳米颗粒的溶液及制备方法

    公开(公告)号:CN106757263B

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201611157802.9

    申请日:2016-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种金属表面纳秒脉冲等离子体制备纳米颗粒的溶液,包括以下组分且各组分的重量份数为:碳酸盐40~50份,金属盐20~40份,含碳有机物10~15份,余量为水。本发明还公开了一种金属表面纳秒脉冲等离子体制备纳米颗粒的方法,包括以下步骤:将金属放入上述配制的溶液中,以金属为阳极,石墨为阴极,施加纳秒脉冲电压,在金属表面制备纳米颗粒。本发明研究的金属表面制备纳米颗粒工艺运用纳秒脉冲等离子体根据金属电离能选区氧化分离,处理效率高,时间短,纳米颗粒均匀。本发明降低了成本,且其适合几乎所有的金属表面制备纳米颗粒。

    一种阴极表面纳秒脉冲等离子体制备催化纳米多孔膜的溶液及制备方法

    公开(公告)号:CN106480482B

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201611157803.3

    申请日:2016-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种阴极表面纳秒脉冲等离子体制备催化纳米多孔膜的溶液,包括以下组分且各组分的重量份数为:硝酸盐40~50份,导电高分子单体20~40份,卤化物10~15份,余量为水。本发明还公开了一种阴极表面纳秒脉冲等离子体制备催化纳米多孔膜的方法,包括以下步骤:将金属放入上述配制的溶液中,以金属为阴极,石墨为阳极,施加纳秒脉冲电压,在金属表面即可制备催化纳米多孔膜。该处理方法处理速度快,时间短,无需后处理,降低了成本。

    一种对螺柱焊T型接头抗拉强度测试的电子式测量工具

    公开(公告)号:CN108709814A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810210269.0

    申请日:2018-03-14

    Abstract: 本发明公开了一种对螺柱焊T型接头抗拉强度测试的电子式测量工具,包括带夹头的螺纹杆、固定夹座、旋柄、应力应变片和数据采集与测量值转换系统,带夹头的螺纹杆包括螺纹杆和夹头,两者一体成型,固定夹座包括圆柱体夹座和固定座本体,圆柱体夹座上开有开口矩形槽,圆柱体夹座设置在固定座本体一端,且两者一体成型,旋柄包括旋转杆和圆柱体旋转夹座,圆柱体旋转夹座设置在旋转杆一端,且两者一体成型,圆柱体旋转夹座中心开有同心螺纹通孔,且与螺纹杆配合连接,两个应力应变片对称设置在夹头外壁面上,两个应力应变片分别通过数据传输线连接数据采集与测量值转换系统。本发明可对螺柱焊焊接接头的抗拉强度进行测试,提高测量精度和效率,用于螺柱焊焊后的质量检测。

    PDM工作模式的高压电源激励DBD反应器供电能量的检测系统和方法

    公开(公告)号:CN108333424A

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201810055196.2

    申请日:2018-01-19

    Abstract: 本发明公开一种PDM工作模式的高压电源激励DBD反应器供电能量的检测系统和方法,系统包括可编程电源、PDM高压电源、被测DBD阵列、电气参数检测模块、光纤光谱仪、和上位机。在检测时,通过上位机和可编程电源控制PDM高压电源的输出,对DBD阵列进行激励放电,同时对DBD的放电参数进行采集,上位机根据获取到的供电电压、积分电容电压和放电电流,计算DBD的供电能量。在计算时,针对采集到的放电参数,本发明借助李萨如图形,对DBD的供电能量、等效参数等放电参数进行分析计算,可准确的获得经过DBD反应器的能量转换效率。

    PDM工作模式下的高压激励电源驱动体积DBD空气净化装置的供电频率调控系统和方法

    公开(公告)号:CN108283868A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201810055270.0

    申请日:2018-01-19

    Abstract: 本发明公开一种PDM工作模式下的高压激励电源驱动体积DBD空气净化装置的供电频率调控系统和方法,系统包括控制单元、可编程电源、PDM电源、体积DBD反应器、电气参数检测单元和光谱检测单元;体积DBD反应器的地线上串接有积分电容Cm;电气参数检测单元检测体积DBD反应器的供电电压信号、放电电流信号、积分电压信号,光谱检测单元检测体积DBD反应器反应区域的发射光谱强度信号,分别传输至控制单元;可编程电源控制PDM电源的供电电压峰值输出,控制单元根据接收到信号计算体积DBD反应器的供电能量和相对光量子产率能效比,进而根据计算结果控制PDM电源对体积DBD反应器的供电频率,使得体积DBD反应器在PDM电源的激励下放电,并工作在设定的相对光量子产率能效比范围内。

    大气压等离子体射流协同超声与催化的水处理装置

    公开(公告)号:CN108217819A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201810055651.9

    申请日:2018-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种大气压等离子体射流协同超声与催化的水处理装置,包括气液两相反应单元、超声辐射单元、气体流量调整单元、液体流量调整单元、气液分离单元、光学检测单元、水质分析单元、驱动单元,所述气液两相反应单元内部设置有光催化单元。本发明利用大气压等离子体射流(APPJ)在气相中产生等离子体的活性物质注入水处理反应器用于降解液相有机废水中的污染物分子,并与超声辐射单元的超声作用和光催化单元的光催化作用产生协同效应,增强气相放电产生的活性物质处理有机废水,有效地提高了废水处理的效率。

    滚筒式介质阻挡放电水雾双氧水制备装置

    公开(公告)号:CN108128755A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201810055198.1

    申请日:2018-01-19

    CPC classification number: C01B15/027

    Abstract: 本发明公开了一种滚筒式介质阻挡放电水雾双氧水制备装置,具体为,气体通过进气单元与由供水单元进入的水在双氧水产生单元中的水雾产生单元中混合形成水雾射流进入传动与放电单元,传动与放电单元中的DBD单元对传动薄膜上的水膜进行放电,产生双氧水,还包括电机控制单元、电机驱动单元、传动与放电单元中的电机传动机构、气体回收单元、双氧水收集单元、光谱检测单元、可编程AC/DC电源、PDM高压激励电源和辅助电源。本发明采用介质阻挡放电原理制取双氧水,采用滚筒履带式一体化生产模式,实现通过氧气和水获取到产物双氧水收集的全自动生产方式,实现了快速制取双氧水的功能。

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