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公开(公告)号：CN103580550A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310303640.5
申请日：2013-07-18
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 末吉智
Abstract: 本发明提供一种制动装置、驱动系统以及机器人，其能够提高对臂等的保持的可靠性。实施方式的制动装置具备制动盘、多个电枢、移动机构、多个被卡定部以及多个卡定部。制动盘随着旋转电机所具有的轴的旋转而旋转。多个电枢与制动盘对置地配置。移动机构使多个电枢相对于制动盘相对移动。多个被卡定部在制动盘的电枢侧的板面以预定的间距设置。多个卡定部在多个电枢的制动盘侧的板面以能够与被卡定部卡合的间距设置。并且，在多个电枢中的至少一个电枢形成的卡定部的相位与在其他电枢形成的卡定部的相位不同。
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公开(公告)号：CN102528803A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110403061.9
申请日：2011-12-07
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种能够检测基板的位置偏离的基板搬运用手、基板搬运用机器人系统、基板位置偏离检测方法。另外，提供基板位置修正方法。基板搬运用机器人系统具备：基板搬运用机器人，具有设有接触基板下面的接触部及用于检测接触于接触部的基板的重心位置的多个传感器的基板搬运用手：及第1控制装置，具有差分运算部与第1判断部，差分运算部分别运算基板被支撑在基板搬运用手上的成为基准的位置时的各传感器的检测值即基准值与现在的各传感器的检测值的差分，第1判断部根据各差分而判断基板的位置偏离方向。
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公开(公告)号：CN101863015B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201010188559.3
申请日：2007-06-15
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/06 , B25J18/00 , B25J19/00 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/042 , B25J18/04 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。
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公开(公告)号：CN101471274B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200810176589.5
申请日：2008-12-25
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种基板搬运系统及利用其的半导体制造装置，其防尘效果高，即使成为多个臂部也可以对应。其为，具备：在支撑装载基板的臂部的同时，通过设置在支柱外面的直线状开口部连接在设置于所述支柱内的导向机构，并按照所述导向机构在所述开口部的开口移动的支撑构件；及封闭所述开口部并隔离所述支柱的内部与外部的密封皮带，构成为即使所述支撑构件由于所述导向机构而移动，所述支柱的内部也由于所述密封皮带而不暴露于外部，所述密封皮带的两端固定在所述支柱内部的同时，卷装在可转动地支撑于所述支撑构件的滚轮上，并张架成封闭所述开口部。
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公开(公告)号：CN101484281A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780025598.8
申请日：2007-06-15
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J19/00 , B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J19/0029 , B25J9/042 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种提高了生产效率将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人(1)，具备：载置搬运物的手部(8)；与所述手部(8)连接，具备至少2个以上的旋转关节(3)、(4)、(5)，使所述手部(8)向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上相对的多关节臂(1)；对所述多关节臂(1)和上下移动的移动机构(11)进行连接的支撑构件(10)；及安装于所述移动机构(11)具有旋转功能的台座(13)，其为，在至少一个所述旋转关节(3)、(4)、(5)的旋转中心具有中空连接孔(23)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1543673A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN02816173.4
申请日：2002-08-15
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: H01L21/67259 , B25J15/0023 , B25J19/0008 , B25J19/0091 , B25J19/063 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供了一种机械手，其在机械手与外围设备等碰撞时通过检测碰撞而停止机器人，其还能吸收碰撞的冲击从而减少因为碰撞而引起的损坏。该机械手(2)包括安装在机械臂(1)前端上的基座(21)，和一对平行地安装于所述基座(21)的支撑构件(22)，用于在所述支撑构件(22)上放置和运送大型基板(3)。填充有流体的可膨胀/可收缩的中空构件(41)安装于所述支撑构件的前端(22)。
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公开(公告)号：CN203936920U
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201420334572.9
申请日：2014-06-20
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 根据本实用新型的驱动机构及机器人，能够保持洁净环境的清洁度的同时冷却驱动源。本实用新型实施方式涉及的驱动机构具备驱动源、内部空间、供气扇、以及排气扇。所述内部空间容纳所述驱动源。所述供气扇向所述内部空间供气。所述排气扇从所述内部空间排气。另外，所述驱动机构利用由所述供气扇和所述排气扇产生的气流，将所述内部空间的内压维持得比所述内部空间外的气压低。
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