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公开(公告)号：CN106643539A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610936657.8
申请日：2016-10-25
Applicant: 扬州大学
IPC: G01B11/16
CPC classification number: G01B11/16
Abstract: 本发明涉及一种基于LED彩色发光阵列的结构表面应变直观评价方法，包括以下步骤：（1）在基板上制作若干组LED彩色发光单元，若干组LED彩色发光单元构成LED彩色发光阵列；（2）对若干组LED彩色发光单元构成的LED彩色发光阵列进行校正，使各个LED彩色发光单元均显现白色；（3）将基板贴合在被评价结构表面；（4）目测或利用光色测量仪器分析基板表面LED彩色发光阵列的表观光色分布及变化，定性或定量评价相应结构表面的应变状态。所述LED彩色发光单元由红、绿、蓝三种光色的LED组成。本发明利用基板表面LED彩色发光阵列的表观光色与被评价结构表面对应位置处应变之间的关系，定性或定量分析和评价相应结构表面的应变分布及变化，原理独特、操作简便易行。
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公开(公告)号：CN103824818A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201410091878.0
申请日：2014-03-13
Applicant: 扬州大学
CPC classification number: H01L2224/73253
Abstract: 本发明公开了电子元器件技术领域内的一种射频微机电器件的板级互连封装结构及其封装方法，包括射频微机电器件芯片、凸点桥、封装基板和密封材料，射频微机电器件芯片底部粘接在封装基板上，射频微机电器件芯片上侧设有芯片电极，封装基板上设有基板电极，所述凸点桥包括凸点桥高频基板，凸点桥高频基板上制作有若干射频传输线电极，各射频传输线电极两端分别设有金属凸点球，凸点桥倒置并跨接在芯片电极与基板电极之间，使金属凸点球与对应的基板电极、芯片电极相连；所述密封材料填充在凸点桥高频基板和封装基板的边缘间隙内。本发明可实现互连与封装一体化，其射频损耗小，结构简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN110360995B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201910692028.9
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明涉及一种谐振器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定于基板顶面的4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片，制作于基板顶面的1个输入导引电极、8个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作于基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线；所述4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片分别为第一偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第二偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第三偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第四偏轴双端对声表面波谐振器芯片。通过本发明，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。采用复合结构声表面波谐振器作为敏感元件的双轴陀螺，用于感测正交双轴角运动，结构简单，制作方便。
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公开(公告)号：CN111323616B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010135124.6
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面四边的空腔基板底面键合环与底板顶面四边的底板键合环金金键合，悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面四边的空腔基板顶面键合环金硅键合，使各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面四边的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用单质量块惯性敏感方式和平面平行板电容检测方式，总体结构简单、制备过程简便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN111333021A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010135105.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01C19/5656 , G01C21/18 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种单质量块平面三轴MEMS惯性传感器，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面的空腔基板底面键合环与底板顶面的底板键合环金金键合；悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面的空腔基板顶面键合环金硅键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中；顶板底面的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明总体结构简单、制备过程简便，感测灵敏度和感测精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110360994A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910692006.2
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明涉及一种滤波器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定在基板顶面的4个U形声表面波滤波器芯片，制作在基板顶面的1个输入导引电极、4个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作在基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线。通过本发明，扩展波束与主波束一样均属于沿压电基片纯模方向传播的声表面波行波，所感测到的声表面波波束的幅度相对较大，相应的输出高频信号的幅度也较大，因而相应的旋转角运动角速度的感测灵敏度和精度也较高，同时免去了为提高感测灵敏度而在第一声表面波驻波区设置的金属点阵，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。
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公开(公告)号：CN106357232B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201610865587.1
申请日：2016-09-30
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明涉及一种多相单向叉指换能器的制作方法，属于微电子器件工艺技术领域，通过本发明，在压电基片表面制作若干组相互交错的叉状指电极，组成多相单向叉指换能器的若干个叉指电极周期，各个叉指电极周期中相同位置的指电极连接到同一汇流电极组成同组叉状指电极，每个叉指电极周期中不同位置的指电极连接到不同的汇流电极组成不同组叉状指电极，与非同组汇流电极交叠的指电极相对于汇流电极隔断，隔断区覆盖绝缘隔离层，绝缘隔离层上制作重新连接被隔断指电极的跨接电极，绝缘隔离层和跨接电极的制作采用介质和金属剥离的方法，避免常规的蚀刻工艺对敏感的压电基片表面和金属电极的损伤及由此带来的对声表面波器件性能的影响。
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公开(公告)号：CN107986226A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711347091.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 扬州大学
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0027 , B81B2203/05
Abstract: 一种动态自平衡结构，属于基于微机电系统（MEMS）的自动控制技术领域，包括上基板，在上基板的顶面设置四个电阻条、四个双端固支悬挂电极和四个上基板顶面接地电极；在上基板的底面设置四个下拉电极上电极、四个分压电阻、环形直流偏置电极和上基板底面环形接地电极，在上基板的底面中央固定连接球形铰链半球形基座，在上基板上设置直流偏置金属通孔和接地金属通孔；在上基板的下方设置下基板，在下基板的顶面设置四个下拉电极下电极、直流偏置输入电极、直流接地电极、下基板顶面环形接地电极和接地电极连接导线，在下基板上固定连接球形铰链球形体。本发明实时感知并调整结构所在平面相对于水平面的偏离，实现结构的动态自平衡。
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公开(公告)号：CN107907103A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201711346349.0
申请日：2017-12-15
Applicant: 扬州大学
CPC classification number: G01C9/00 , B81B7/02 , B81B2201/02
Abstract: 一种声表面波双轴倾角感测结构，属于微机电传感技术领域。在硅单晶基片背面制作多个声表面波谐振器组，在硅单晶基片正面制作正对各个声表面波谐振器的输入/输出电极对，各个输入/输出电极对阵列上方制作双端固支悬挂电极，依据基片的倾斜角度，分别与对应的输入/输出电极对阵列中的其中一个输出电极接触，或者与对应的输入/输出电极对之间的间隙接触，连通或者不连通对应的声表面波谐振器与输出信号电极，输出或者无输出相应谐振频率的谐振信号，可得到所述声表面波双轴倾角感测结构基片所处的平面状态与水平状态的双轴倾角。
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公开(公告)号：CN106771356A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710048869.7
申请日：2017-01-23
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/09
CPC classification number: G01P15/09
Abstract: 本发明公开一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法，包括压电基片、制作于压电基片上的声表面波谐振器金属指和叠加在声表面波谐振器金属指之上的同形可浮动质量载荷指。当加速度计结构作向上或向下的加速运动时，质量载荷指因惯性产生向下或向上的位移，其与下层声表面波谐振器金属指的接触面积和作用力发生变化，声表面波谐振器金属指的等效质量发生变化，最终声表面波谐振器的谐振频率发生变化，据此可以测量加速度计结构的运动加速度。与现有技术相比，本发明采用复合指结构的声表面波谐振器作为加速度敏感元件，所包含的质量载荷指的结构、材料、加工方法与下层声表面波谐振器金属指相同或相似，结构新颖，工艺兼容性好，制作方便。
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