公开(公告)号：CN1207593C

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：CN03102321.5

申请日：2003-01-30

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通媒体器件株式会社

Inventor： 曾根田弘光 ,  上田知史 ,  奥田久雄 ,  佐脇一平 ,  壺井修 ,  水野义博 ,  高马悟觉 ,  中村义孝 ,  山岸文雄

IPC: G02B6/35 ,  G02B6/12 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/4232 ,  G02B26/0841 ,  Y10S359/904

Abstract: 一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。