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公开(公告)号：CN109115720A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810833856.5
申请日：2018-07-26
Applicant: 安徽大学
IPC: G01N21/39
Abstract: 本发明提供一种多程气体吸收池有效程长与气体浓度同时测量方法，涉及吸收光谱检测技术领域。具体包括以下步骤：可调谐激光激光输出光束进入到多程气体吸收池，气体吸收池内充入待测气体；对激光器输出波长进行调谐，测量入射光强和出射光强，得到气体吸收光谱；利用谱线吸收线型与压强的关系，调节气体池内的压强，得到不同压强下的气体吸收谱线。本发明可以同时测量不同压强下气体吸收池的有效程长和气体池内的气体浓度，无需在测量前对气体吸收池有效程长做校准，避免了样气浓度误差对测量结果的影响，准确度高，同时本发明系统结构简单，易于搭建调节，操作方便。
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公开(公告)号：CN107991240A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711172585.5
申请日：2017-11-22
Applicant: 安徽大学
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明公开了一种基于石英音叉谐振原理的多功能光电探测器，包括石英音叉、蜂鸣器、高频振荡电路、信号放大检测电路，石英音叉利用其表面接收入射光信号，高频振荡电路与蜂鸣器连接，信号放大检测电路与石英音叉电连接。本发明结构简单，设计合理且易实现，体积小，操作过程简单，可作为一种带自校准功能的光声池用于石英增强型光声光谱研究，也可以作为一种光电探测器用于光电检测技术中光信号的检测，亦可用于气体压力的测量。
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公开(公告)号：CN106918303A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201710148284.2
申请日：2017-03-14
Applicant: 安徽大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光学自由曲面自适应非零位干涉检测系统，包括自由曲面非零位干涉检测系统、自适应数据处理与控制系统，其中自由曲面非零位干涉检测系统包括稳频激光器、准直系统、分束器、参考平面镜、成像镜、探测器、可变形反射镜DM、反射镜、消球差镜；自适应数据处理与控制系统包括系统光线追迹模块、理论面形分解模块、DM形变控制模块、干涉图匹配处理模块、被测波前拟合模块和回程误差校正模块。本发明利用连续可变形反射镜DM可以实现不同Zernike低阶像差的补偿，通过系统光线追迹模型指导可变形反射镜形变，使得大曲率变化自由曲面的高精度通用化检测成为现实。
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公开(公告)号：CN106596408A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201710016679.7
申请日：2017-01-10
Applicant: 安徽大学
IPC: G01N21/03
CPC classification number: G01N21/0303
Abstract: 本发明公开了一种基于三角形结构的长程光谱吸收池，包括有相互对应安装对合的三角形底座和三角形密封顶盖，三角形底座和三角形密封顶盖的中部分别设有用于安装有进出口接头的安装孔，三角形底座和三角形密封顶盖之间安装有由第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜组成的三角形反射镜，第一反射镜上设有透光孔，三角形反射镜通过其两侧的三角形密封垫片与三角形底座和三角形密封顶盖密封安装。本发明有效避免光的干涉效应,充分利用了反射镜的镜面有效面积,显著提高了光在吸收池内的反射次数,从而实现提高光的有效吸收光程；吸收池整体重量轻,体积小,采样气体消耗低,气流响应速度快,光路调节简便,成本低廉。
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公开(公告)号：CN109115720B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201810833856.5
申请日：2018-07-26
Applicant: 安徽大学
IPC: G01N21/39
Abstract: 本发明提供一种多程气体吸收池有效程长与气体浓度同时测量方法，涉及吸收光谱检测技术领域。具体包括以下步骤：可调谐激光激光输出光束进入到多程气体吸收池，气体吸收池内充入待测气体；对激光器输出波长进行调谐，测量入射光强和出射光强，得到气体吸收光谱；利用谱线吸收线型与压强的关系，调节气体池内的压强，得到不同压强下的气体吸收谱线。本发明可以同时测量不同压强下气体吸收池的有效程长和气体池内的气体浓度，无需在测量前对气体吸收池有效程长做校准，避免了样气浓度误差对测量结果的影响，准确度高，同时本发明系统结构简单，易于搭建调节，操作方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107991240B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711172585.5
申请日：2017-11-22
Applicant: 安徽大学
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明公开了一种基于石英音叉谐振原理的多功能光电探测器，包括石英音叉、蜂鸣器、高频振荡电路、信号放大检测电路，石英音叉利用其表面接收入射光信号，高频振荡电路与蜂鸣器连接，信号放大检测电路与石英音叉电连接。本发明结构简单，设计合理且易实现，体积小，操作过程简单，可作为一种带自校准功能的光声池用于石英增强型光声光谱研究，也可以作为一种光电探测器用于光电检测技术中光信号的检测，亦可用于气体压力的测量。
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公开(公告)号：CN108548499B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201810224367.X
申请日：2018-03-19
Applicant: 安徽大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种高精度、大动态范围的光学自由曲面干涉检测装置与方法。本发明采用了一种自适应检测结构，利用自适应光学元件：可变形镜（Deformable mirror，DM）承担自由曲面引入的低阶像差，并同时通过夏克哈特曼波前传感器实时监测DM形变波前；再利用特殊设计的光路结构将包含自由曲面面形误差的高阶波前相位传送至干涉仪内进行检测，既降低干涉仪的检测压力，增大了检测动态范围，又保证了高阶像差的检测精度，有效地解决了自由曲面检测中动态范围与检测精度不可兼得的矛盾。
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公开(公告)号：CN108873265A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810963764.9
申请日：2018-08-23
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明提供一种用于激光直接成像光刻的对准镜头，包括：由物面至像面依次排列的第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片和第五镜片；所述第三镜片与第四镜片之间设有光阑；物面到所述第一镜片物面的距离为97.5mm；所述第一镜片物面为凸面，曲率半径为51.988mm，所述第一镜片像面为凸面，曲率半径为‑107.583mm；所述第一镜片的中心厚度为10mm。本发明通过五片镜片的合理设置，以少量镜片实现长焦深、高分辨率和低畸变的对准镜头，并且可以适用于多种板厚光刻，解决直接成像光刻系统的对准问题。
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公开(公告)号：CN108548499A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810224367.X
申请日：2018-03-19
Applicant: 安徽大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种本高精度、大动态范围的光学自由曲面干涉检测装置与方法。本发明采用了一种新型检测结构，利用自适应光学元件：可变形镜（Deformable mirror，DM）承担自由曲面引入的低阶像差，并同时通过夏克哈特曼波前传感器实时监测DM形变波前；再利用特殊设计的光路结构将包含自由曲面面形误差的高阶波前相位传送至干涉仪内进行检测，既降低干涉仪的检测压力，增大了检测动态范围，又保证了高阶像差的检测精度，有效地解决了自由曲面检测中动态范围与检测精度不可兼得的矛盾。
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