一种基于静电刚度的谐振式微加速度计

    公开(公告)号:CN202562949U

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN201220188370.9

    申请日:2012-04-27

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于静电刚度的谐振式微加速度计。所述微加速度计的机械结构包括:两个质量块系统、两个驱动梳齿对、一个音叉谐振子,音叉谐振子包括两根双端固支音叉梁,驱动梳齿对与音叉谐振子构成驱动电容。所述微加速度计利用检测端加载不同的直流电压来调节微加速度计的灵敏度,减小了灵敏度对工艺制造误差依赖性;采用以滑动阻尼为主的振动结构设计,阻尼小,封装品质因数大,检测信号容易拾取;检测极板信号引线和驱动梳齿极板信号引线分开布置,大大减小驱动端到检测端的同频干扰;驱动电极采用梳齿电容对,减少了静电驱动力的非线性。

    一种水含量测量装置
    42.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205607913U

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201620467883.1

    申请日:2016-05-20

    Abstract: 本实用新型公开了一种水含量测量装置,包括依次相连的水含量测量探头、接口电路、嵌入式控制器和PWM驱动电路,还包括均与嵌入式控制器相连的电阻电压转换电路、智能交互仪器和云端接收与存储模块,PWM驱动电路和电阻电压转换电路均与水含量测量探头相连,智能交互仪器和云端接收与存储模块相连。水含量测量装置的测量灵敏度高、精度高,而且其中的恒温控制结构对称性好、易实现。

    带有验钞功能的面积测量仪

    公开(公告)号:CN204373623U

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201520066003.5

    申请日:2015-01-29

    Abstract: 本实用新型公开了带有验钞功能的面积测量仪,包括GPS模块、按键输入模块、显示模块、电源模块、验钞灯模块和处理器模块;其中,GPS模块、按键输入模块、显示模块、电源模块、验钞灯模块分别与处理器模块连接,电源模块与GPS模块、显示模块分别连接。本测量仪具有精度高的显著特点,长度测量的误差小于2米;面积测量,小于10亩,测量误差小于0.1亩;大于10亩,测量误差小于1%;显示模块可以实时显示被测量的土地形状,并且图形数据可以存储和查看;本实用新型带有验钞功能,可以快速鉴别钱币的真伪,方便农田作业的收费结算。

    一种微机械振动式电场传感器

    公开(公告)号:CN204256053U

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201420804567.X

    申请日:2014-12-18

    Abstract: 本实用新型公开了一种微机械振动式电场传感器,包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层;所述结构层包括第一至第十锚点区、第一至第四支撑梁、质量块、第一至第四固定驱动电容极板、第一力放大杠杆、第二力放大杠杆,所述金电极层包括第一至第八电极。本实用新型对应的微机械电场传感器结构简单,通过一级微机械杠杆对静电驱动力进行放大,通过两级回型梁取代典型直梁,交叉耦合小,提高微机械振动式电场传感器的灵敏度。

    Z轴电容式微机械加速度计
    45.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203759053U

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201320802344.5

    申请日:2013-12-09

    Abstract: 本实用新型公开了Z轴电容式微机械加速度计,属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域,包括:玻璃基座,键合在玻璃基座上的扭转结构层,溅射在玻璃基座上的金电极层,扭转结构层包括结构相同四个子单元,任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本实用新型通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度,完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大,减小了输出信号的零点偏移。

    一种Z轴电容式微机械加速度计

    公开(公告)号:CN203825034U

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201420151300.5

    申请日:2014-04-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种Z轴电容式微机械加速度计,包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层以及设置于玻璃基座上的金电极层,所述结构层包括由一个质量块、附着在所述质量块上的梳齿、设置于所述质量块上且用于支撑质量块悬空的折叠梁、与所述折叠梁相连的锚点区、一端通过键合固定在玻璃基座上的固定检测梳齿,其中当加速度计受到Z轴方向的加速度时,所述质量块、梳齿及折叠梁形成可动结构,且所述固定检测梳齿和可动结构中梳齿形成检测电容。所述梳齿、折叠梁、锚点区、固定检测梳齿均为四组且分别布置于质量块四周。本加速度计具有灵敏度高、结构对称性好,能大大减小后续接口电路对微弱变化电容提取的困难。

    一种扭转谐振式微加速度计

    公开(公告)号:CN203216497U

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN201320149299.8

    申请日:2013-03-28

    Abstract: 本实用新型涉及一种扭转谐振式微加速度计。所述扭转谐振式微加速度计包括玻璃基座,键合在玻璃基座上的机械结构层,溅射在玻璃基座上的金电极层。机械结构层包括:分别与Y轴支撑梁连接的第一质量块、第二质量块。第一质量块、第二质量块上开有均匀分布且尺寸一致的阻尼孔。金电极层中,驱动电极与检测电极之间设有接地电极。本实用新型具有扭转谐振阻尼小、同频干扰小的优点。

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