公开(公告)号：CN101075088B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200710102553.8

申请日：2007-05-14

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/14 ,  B29C41/00 ,  B29C41/12

Abstract: 本发明提供一种防护薄膜框架，在贴附到光掩模之后，可容易地进行剥离；进一步提供一种装置，可将光掩模所贴附的防护薄膜组件加以无损伤地剥离。本发明的防护薄膜组件的特征为：至少一边的边长在300mm以上的防护薄膜组件，且在贴附在光掩模2的状态中，在防护薄膜框架1的外侧全周80％以上的区域，光掩模2及防护薄膜框架1二者间设有宽2mm以上、高0.5mm以上的间隙。本发明的防护薄膜组件剥离装置的特征为：包含：剥离具7，下部具有平板状部15；及升降机构12，将该剥离具7保持与光掩模2平行的状态下，而往上方升高。并且，通过把剥离具7的平板状部15加以插进防护薄膜框架1及光掩模2两者的间隙，以将光掩模2及防护薄膜组件二者分开。

公开(公告)号：CN101164835A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710162591.2

申请日：2007-10-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏 ,  野崎聪

IPC: B65D81/02 ,  B65D85/30

Abstract: 一种防护薄膜组件包装用缓冲体，本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体(1)于防护薄膜组件的输送容器(6)内，设置凹凸部(2)于配置在防护薄膜组件壳体(3)的底面的该缓冲体(1)的表面，而该表面是接触防护薄膜组件壳体(3)。通过使用此缓冲体(1)的防护薄膜组件的包装方法，相较于现有所用的平板状缓冲体，可大幅提高缓冲效果。因此，能减少运送时的振动、撞击，且可在防护薄膜组件上未附着异物而不受污染的状态下，将其保持洁净状态而输送。

公开(公告)号：CN105883122A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610076428.3

申请日：2016-02-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: B65D1/00

CPC classification number: B65D1/0207

Abstract: 本发明的目的是提供一种在虽随时间的经过而发生的尺寸变化小，即使长期使用其内部的清洁度也不降低的，适宜于收纳至少一个的边长超过1000mm的大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。本发明为的防尘薄膜组件收纳容器10，由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体11和由用JIS K7209，A法，材料厚3mm，24小时的方法测定的吸水率为0.2％以下的树脂材料来构成盖体12来构成。本发明优选使用JIS K7209，A法，材料厚3mm的方法测定的30日经过后的吸水率为0.5％以下的树脂材料，防尘薄膜组件收纳容器本体11用金属材料来代替树脂材料。

公开(公告)号：CN103389617B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201310167125.9

申请日：2013-05-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/64 ,  G03F1/62

Abstract: 提供用1次成膜工程就可以进行多个的防尘薄膜组件的制造的方法，以及使防尘薄膜的张力均一化，从而在进行防尘薄膜组件制造时，可以防止框架的挠曲和防尘薄膜的折皱的发生的方法。该防尘薄膜组件的制造方法是在被暂时贴附于暂用框21的1张防尘薄膜3上，结合分割框41贴附后，将防尘薄膜3切断，将分割框41分离，在框架上贴附后，将分割框41取掉。

公开(公告)号：CN103359356B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201310106835.0

申请日：2013-03-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/66 ,  B65D85/86 ,  B65D85/38

Abstract: 提供一种重量轻且刚性高的防尘薄膜组件收纳容器，其为在随时间变化的树脂制的容器本体上安装最小限度的加固构件而成。所述防尘薄膜组件收纳容器(10)，具备：载置防尘薄膜组件(12)的方形的树脂制的容器本体(14)；以及以其周缘部进行嵌合卡定从而覆盖防尘薄膜组件(12)的树脂制的盖体(16)，沿着容器本体(14)的外周缘形成的凸状拱肋(18)的突出面(18a)形成为防尘薄膜组件(12)的载置面。安装于容器本体(14)的外侧底面且在其外周缘与凸状拱肋(18)之间的加固构件为：框形体，其包含沿所述外周缘的各边固定的直棒状体(26a)在内的大小可以调整；或L字形体，其相互独立地固定于容器本体(14)的各角部。

公开(公告)号：CN103086071B

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201210421116.3

申请日：2012-10-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/66

Abstract: 提供一种防尘薄膜组件收纳容器，防尘薄膜组件在容器本体的规定位置固定，用盖体进行覆盖，以防止异物附着，运送中所述固定状态可以确实地被维持，并且所述固定状态可以简单地解除，将防尘薄膜组件取出。该防尘薄膜组件收纳容器，由载置防尘薄膜组件(16)的容器本体(12)和盖体(14)构成，其特征在于：设置多个防尘薄膜组件固定部(18)，该固定部(18)包括在防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)，前端部(28a)插入的状态下转动可能的针(28)，在容器本体(12)设置的可以从防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)将前端部(28a)拔出可能地将针(28)装设的针装设部(32)，从装于容器本体(12)的盖体(14)的外侧将针装设部(32)的针(28)转动的盖体(14)的开口部(14a)，开口部(14a)的闭塞板(40)。针装设部(32)具有其装设的针(28)以规定角度转动时，针(28)被保持的突起部(30)和切口部(32b)。

公开(公告)号：CN103359356A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310106835.0

申请日：2013-03-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: B65D6/34

Abstract: 提供一种重量轻且刚性高的防尘薄膜组件收纳容器，其为在随时间变化的树脂制的容器本体上安装最小限度的加固构件而成。所述防尘薄膜组件收纳容器(10)，具备：载置防尘薄膜组件(12)的方形的树脂制的容器本体(14)；以及以其周缘部进行嵌合卡定从而覆盖防尘薄膜组件(12)的树脂制的盖体(16)，沿着容器本体(14)的外周缘形成的凸状拱肋(18)的突出面(18a)形成为防尘薄膜组件(12)的载置面。安装于容器本体(14)的外侧底面且在其外周缘与凸状拱肋(18)之间的加固构件为：框形体，其包含沿所述外周缘的各边固定的直棒状体(26a)在内的大小可以调整；或L字形体，其相互独立地固定于容器本体(14)的各角部。

公开(公告)号：CN102201352B

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：CN201110071334.4

申请日：2011-03-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: H01L21/673 ,  B65D25/24 ,  B65D61/00

Abstract: 一种可收纳大型防尘薄膜组件且能安全运送的防尘薄膜组件收纳容器及防尘薄膜组件收纳容器的运送用台车。防尘薄膜组件收纳容器10包括：防尘薄膜组件收纳容器本体11，用以承载防尘薄膜组件；盖体12，通过其外缘嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体11的开口部，可将防尘薄膜组件收纳于盖体12与防尘薄膜组件收纳容器本体11之间；以及6个脚部13，它们被设置在防尘薄膜组件收纳容器本体11的底部。脚部13具有如下构成：其可嵌合于运送防尘薄膜组件收纳容器的运送装置的可转动的载置台。

公开(公告)号：CN102126586B

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201110002473.1

申请日：2008-05-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: B65D85/30 ,  G03F1/66

Abstract: 本发明的目的在于提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器，其是以片材成形，且未使用其它补强体，便具有能承受保管、输送中的外力冲击，防止异物附着于内部收纳的防护薄膜组件的足够刚性。为达成上述目的，本发明的容器本体以及盖体，是由树脂片材所成形的构件，其外周长边与外周短边的连接部，从平面方向观察时，与长边形成的角度在30°以上且未达到60°，而且形成长度50mm以上的直线形状，或形成半径40mm以上的圆弧形状。再者，容器本体互相平行的2边，从侧面方向观察时，外周部亦可形成至少具有2段直立面的形状。

公开(公告)号：CN101930163B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201010171048.0

申请日：2010-04-28

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 关原一敏

IPC: G03F1/48

CPC classification number: G03F1/64

Abstract: 本发明涉及薄膜，课题是在薄膜框架上设有气压调整用的贯通孔，并且在该贯通孔上安装有过滤部件的薄膜中，提高其通气性，使过滤部件的安装变得容易，抑制从过滤部件产生灰尘，而且在薄膜处理时防止过滤部件的接触、破损。贯通孔包括：(1)向薄膜外部开口并容纳过滤部件的凹形状的外侧阶梯部；(2)向上述外侧阶梯部的底面开口的凹形状的内侧阶梯部；以及(3)一端向上述内侧阶梯部的底面开口且另一端向薄膜内部开口的通气孔。