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公开(公告)号：CN110137791A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201810135385.0
申请日：2018-02-09
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: H01S3/08 , H01S3/117 , H01S3/0941 , H01S3/16 , G02B27/09
Abstract: 本发明涉及一种采用4f像传递系统的长脉宽激光器，包括：泵浦源、增益介质、泵浦光整形系统、4f像传递系统、声光Q开关和平面输出耦合镜；所述增益介质、4f像传递系统、声光Q开关和平面输出耦合镜位于谐振腔中；泵浦源激发出的泵浦光，经整形系统进行泵浦光的光斑大小调整后，入射到增益介质产生激光，增益介质产生的激光通过4f像传递系统进行像传递，再经声光Q开关，入射到平面输出耦合镜，由平面输出耦合镜输出。本发明提供的采用4f像传递系统的长脉宽激光器，利用4f像传递系统作为光束传输系统，改善了现有技术中光束在长距离传输过程中尤其是谐振腔内有透镜时容易产生畸变的缺陷。
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公开(公告)号：CN103715595B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201310686590.3
申请日：2013-12-16
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 本发明提供了一种KHZ单纵模脉冲激光器反馈控制电路，该控制电路构成包括：微分电路，限幅电路，比例缩放控制电路；高压MOSFET晶体管，直流电源，限流电阻构成高压反向放大电路。本发明对脉冲激光器未调Q之前的激光进行测量，并对其进行反馈控制，具有幅度实时调节的作用，对输出激光脉冲的模式具有很好的选择功能。
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公开(公告)号：CN105014240A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201410175593.5
申请日：2014-04-29
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明提供了一种LED晶圆激光切割装置，包括：激光光源、四轴平台、多个45°分光镜、显微CCD、同轴光源、成像镜组、Z轴直线运动支架；四轴平台包括：X/Y轴直线运动平台、设置在X/Y轴直线运动平台上的旋转平台、设置在旋转平台上的吸附盘；吸附盘上方依次固定着多个45°分光镜，各个45°分光镜分别对准横向设置的显微CCD、同轴光源和激光光源，Z轴直线运动支架上固定成像镜组；各个45°分光镜使得显微CCD、同轴光源、成像镜组的主光轴和激光光源分别对准吸附盘的中心。本发明还提供了一种LED晶圆激光切割调水平方法。本发明实现了LED晶圆激光切割计算机自动调水平，从而提高了速度和精度。
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公开(公告)号：CN102946043A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210475871.X
申请日：2012-11-22
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: H01S3/0941 , H01S3/127
Abstract: 本发明提供电光及旋光热效应补偿复合功能硅酸镓晶体调Q激光器。该激光器包括激光晶体Nd:YAG，谐振腔、LGS晶体组件，激光泵浦系统,高压脉冲调Q电源组成，激光泵浦系统由两个相同的半导体泵浦源和脉冲激光电源组成，谐振腔由全反镜、偏振片、LGS晶体组件和输出镜组成。该激光器克服现有高重频脉冲激光器由于热致双折射效应严重导致激光功率降低光束恶化的缺陷，得到结构紧凑高质量高功率高重频脉冲激光器。
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公开(公告)号：CN102581495A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210032833.7
申请日：2012-02-14
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明公开一种应用于激光切割的双CCD成像系统，属光电子领域，可应用于激光切割，激光钻孔等激光加工方面。本发明包括三个成像镜组和两个CCD相机，上高倍成像镜组和低倍成像镜组在不同波长的照明光源下工作，并共用一个CCD相机。本发明的目的在于公开一种新的CCD成像系统，不仅能满足LED晶圆激光切割高精度的成像要求，同时降低了设备成本以及图像处理负担，对于提高设备厂家的经济效益具有重要的意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102528277A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210031247.0
申请日：2012-02-13
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明一种用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统，涉及一种应用于LED晶圆切割紫外激光精密加工设备的光学传输设计方法，属于激光精密加工领域。本发明的目的在于提出一个新的紫外激光传输设计方案，减少紫外激光器衍射光束对LED芯片的辐射强度，提高LED芯片的寿命，并实现对激光器功率的方便调节和实时监控，对于整体提高晶圆切割设备的加工性能，具有重要的实际意义。
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公开(公告)号：CN102354904A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110347861.3
申请日：2011-11-07
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明提供了一种1064nm双脉冲灯泵固体激光器，该激光器包括由单个脉冲氙灯泵浦，电光Q开关，1/4波片、偏振片，单个Nd:YAG激光晶体组成的正支虚共焦非稳腔。其特征在于双脉冲输出由一个电光Q开关实现，通过给电光Q开关可调节的阶梯形高压来调整双脉冲间隔及输出能量。该发明的激光器，重复频率1-50Hz可调，双脉冲间隔5-100us，1064nm单脉冲能量大于100mJ。
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公开(公告)号：CN101635428A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200810071454.2
申请日：2008-07-25
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明涉及采用激光加热镜片实时补偿激光介质热效应的固体激光器。本发明在谐振腔内插入一片可吸收泵浦激光同时高透起振激光的介质镜，并利用另外一个泵浦光对其进行加热。该泵浦光源输出的光束横向分布呈环状，所插入的介质镜受热后温度发生变化。当条件适当时可以补偿晶体中废热带来的热畸变，从而改善输出光束质量。由于泵浦光源的光斑形状可以通过耦合透镜组进行调整，随着激光器泵浦功率的变化，可以对晶体中不同的废热产生的效应进行实时补偿，使输出光束保持好的光束质量。
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公开(公告)号：CN115459041B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202211165890.2
申请日：2022-09-23
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明公开了光学频率梳产生装置、应用系统及方法。本发明通过集成增益波导结构的空间复用锁模产生光学频率梳阵列，脉冲重复频率可以达到GHz量级，可以解决现有光学频率梳结构复杂，使用场景有限等技术问题，实现光学频率梳系统的集成度和功能性。
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公开(公告)号：CN109656092B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN201910012410.0
申请日：2019-01-07
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: G03B39/00
Abstract: 本申请公开了一种紫外中继分幅光学系统和紫外分幅相机。紫外中继分幅光学系统，包括第一镜片组、滤光片、第二镜片组、角锥反射棱镜、反射镜、成像面；第一镜片组、滤光片、第二镜片组、角锥反射棱镜沿第一方向依次设置；反射镜沿第二方向分别位于角锥反射棱镜的两侧；成像面与反射镜相对；第一镜片组沿第一方向依次包括第一负透镜、第一正透镜、第二正透镜；第二镜片组沿第一方向依次包括第三正透镜、第二负透镜、第四正透镜、第五正透镜、第三负透镜、第四负透镜、第六正透镜。该系统保证了190～350nm紫外波段的成像质量和灵敏度。
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