公开(公告)号：CN102054499B

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN201010614553.8

申请日：2010-12-30

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  范继良 ,  刘惠森 ,  杨杨 ,  刘彤 ,  陈贵青

IPC: G11B7/26

Abstract: 本发明公开了一种蓝光光盘母盘制造系统，包括清洗装置、旋涂装置、硬烘烤装置、冷却装置、软烘烤装置、激光刻录装置、显影装置、电镀装置、水平直线传输装置、机械手及两水平平行设置的直线导轨，水平直线传输装置与两导轨滑接，电镀装置、显影装置、清洗装置及旋涂装置沿直线导轨依次排列设置在直线导轨的一侧，硬烘烤装置、软烘烤装置及冷却装置沿直线导轨依次设置排列在直线导轨的另一侧，激光刻录装置排列设置于直线导轨远离硬烘烤装置的一端，机械手抓取母盘，水平直线传输装置带动机械手沿直线导轨传送母盘至相应装置中，本发明的蓝光光盘母盘制造系统布局合理、能提高成品质量、优化生产线，本发明同时公开了一种蓝光光盘母盘的制造方法。

公开(公告)号：CN101643186B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN200910040587.8

申请日：2009-06-26

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  范继良 ,  郭业祥 ,  王曼媛 ,  王勇

IPC: B66F3/10 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种自动升降机构，包括支撑箱、工作台、支柱、传动装置、驱动装置及控制装置，支撑箱呈中空结构，中空结构形成安置腔，支柱的一端穿过支撑箱的顶壁并与工作台连接，支柱的另一端与传动装置连接，传动装置容置于安置腔内，驱动装置与传动装置连接，控制装置与驱动装置电连接，控制装置控制驱动装置，驱动装置驱动传动装置，传动装置驱动支柱做直线往复运动，传动装置包括螺杆、螺母及托板，螺母贯通安装于托板中心位置处，螺杆的一端穿过螺母并与螺母啮合，螺杆的另一端与驱动装置连接，驱动装置驱动螺杆转动，托板的侧壁上设有具有凹槽的滑块，支撑箱的侧壁上具有与滑块相对应的且与螺杆相平行的导轨，导轨与滑块的凹槽卡合连接。本发明的目的在于提供一种传动精度高、高清洁度、低噪音、结构简单紧凑的适用于对真空环境行业中生产线上的成品或半成品进行升降的自动升降机构。

公开(公告)号：CN101988191B

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201010568448.5

申请日：2010-12-01

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  郭业祥 ,  刘惠森 ,  范继良 ,  王曼媛 ,  王勇

IPC: C23C14/58

Abstract: 本发明公开了一种基板卸载装置，其具有腔内传输机构及腔外传输机构，在腔内传输机构的两端分别安装有腔内感应系统，腔外传输机构的两端分别安装有腔外感应系统，且真空腔体及腔内传输机构上均设置有冷却水管，因此，在镀膜生产线上的高温基板经过腔内传输机构传输的同时，真空腔体及腔内传输机构上的冷却水管对基板进行有效冷却，避免现有技术中基板与冷却板直接接触的方式，不易损坏基板，提高生产的良品率，冷却后的基板经腔外传输机构进行卸载，实现在真空环境下对高温基板进行卸载的同时对其有效冷却，使操作精度高。另，本发明还公开了使用基板卸载装置卸载基板的方法。

公开(公告)号：CN101783152B

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN200910215493.X

申请日：2009-12-30

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  范继良 ,  谢威武 ,  王勇

IPC: G11B7/26

Abstract: 本发明公开了一种光盘固定装置，包括转盘、传动轴及吸附管路系统，传动轴的下端与外界驱动装置连接，传动轴的上端穿过转盘的中心孔并与转盘密封固定连接，吸附管路系统包括相互连通的若干侧路真空管道及中心真空管道，中心真空管道穿设于传动轴内且一端穿过传动轴的上端形成中心吸口并以传动轴为中心等径地均匀分布，中心真空管道的另一端穿过传动轴形成中心接口并与外界抽真空装置连通，侧路真空管道穿设于转盘内且一端与中心真空管道连通，侧路真空管道的另一端穿过转盘的上表面形成侧吸口并以传动轴为中心分级地等径均匀分布，侧吸口与中心吸口位于同一平面。本发明的目的在于提供一种吸附力强、安全可靠、便于制造和维护、结构简单的适用于在光盘制造过程中对光盘进行固定的装置。

公开(公告)号：CN102394226A

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201110318253.X

申请日：2011-10-19

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 林寿才 ,  杨明生 ,  范继良 ,  刘惠森

IPC: H01L21/677 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供了一种太阳能电池板传送缓存设备，包括机架、托架升降装置及太阳能电池板传输装置。机架开设有具有太阳能电池板输入口和太阳能电池板输出口的升降腔；托架升降装置包括托架驱动组件及若干托架，托架容于升降腔内并沿竖直方向呈相互平行的设置，相邻的托架固定连接，每一托架具有输送区和位于输送区正上方的承载区，托架驱动组件驱使托架升降；太阳能电池板传输装置包括太阳能电池板传送组件及太阳能电池板驱动器，太阳能电池板传送组件位于输送区内且伸出承载区并与外界输送太阳能电池板的设备传输对接，太阳能电池板驱动器的输出端与太阳能电池板传送组件相连接。本发明对安装有接线盒的太阳能电池板进行传送和缓存以提高经济效率。

公开(公告)号：CN102380712A

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN201110337015.3

申请日：2011-10-31

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 蓝劾 ,  叶健 ,  覃海 ,  杨明生

IPC: B23K26/067 ,  G02B27/09 ,  G02B27/10

Abstract: 本发明公开了一种多级等能量分光系统，包括激光头、第一扩束系统、全反系统、分光系统、第二扩束系统及至少两光阑，光阑设置于一条直线上，第二扩束系统与光阑一一对应设置，分光系统、全反系统相间隔地与第二扩束系统相对应设置，且全反系统与分光系统相对应，第一扩束系统的出光端与分光系统相对应，入光端与激光头相对应，激光头发出的激光经第一扩束系统中心扩束后进入分光系统，经分光系统分光及全反系统的反射后，每一路激光都进入第二扩束系统再次扩束，再经光阑出射，二次扩束使每一路激光的能量和光斑都大小一致，分光误差小，提高产品质量；采用一个激光头进行多次分光，调整快速简单、且精确稳定，同时也使多级等能量分光系统的结构简单、布局紧凑合理。

公开(公告)号：CN102117756B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201010568417.X

申请日：2010-12-01

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  范继良 ,  刘惠森 ,  余超平 ,  王曼媛 ,  王勇

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明公开一种直线往复传动装置，包括：主体结构及直线往返机构，主体结构包括固定板、电机安装板及电机安装支撑轴，直线往返机构包括电机、偏心轮、旋转轴、移动座及移动轴，移动座的下表面与固定板呈直线滑动连接，移动座的上表面开设有滚动槽，所述移动轴安装于所述移动座上并与所述固定板平行，且所述移动轴凸伸出所述移动座，电机安装在电机安装板上，电机的输出轴与偏心轮连接，旋转轴的上端与偏心轮连接，旋转轴的下端伸入滚动槽内，电机驱动偏心轮转动，偏心轮的转动通过旋转轴带动移动座在固定板上作直线往复运动，移动座带动移动轴作直线往复运动。本发明直线往复传动装置结构简单、维护方便及成本低廉能够广泛应用于半导体行业内。

公开(公告)号：CN101876063B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201010131967.5

申请日：2010-03-23

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  雷振宇 ,  刘惠森 ,  范继良 ,  王曼媛 ,  王勇 ,  张华

IPC: C23C14/52 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明实施例公开了一种遮光板机构，用于遮挡提供真空环境的真空腔体上的观察窗，包括转轴、挡板、把手及两轴座，所述轴座固定于所述腔体上且位于所述观察窗的两侧，所述轴座上开有轴孔，所述转轴旋转地插设于所述轴孔内，并且所述转轴至少一端开设有把手孔并伸出至相应轴孔外，所述把手滑动地插设于所述把手孔内，所述挡板位于两所述轴座之间并固定于所述转轴上，转动所述把手使所述挡板对所述观察窗呈遮挡或敞开状。遮光板机构安装于真空腔体的观察窗位置上，挡板在关闭状态时遮盖住整个观察窗，防止观察窗内的强光或带辐射光线射出，保证了真空腔体工作人员的安全和健康；另，本发明还公开了一种具有该遮光板机构的真空腔体。

公开(公告)号：CN101876057B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201010131979.8

申请日：2010-03-23

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  叶宗锋 ,  郭远伦 ,  刘惠森 ,  范继良 ,  王曼媛 ,  王勇 ,  张华

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明公开了一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本发明蒸镀腔体强度高，成本低并且轻便；另，本发明还提供了一种具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。

公开(公告)号：CN102054502B

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN201010614572.0

申请日：2010-12-30

Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司

Inventor： 杨明生 ,  范继良 ,  刘惠森 ,  杨杨 ,  陈贵青 ,  邢三军 ,  蓝海锋

IPC: G11B17/022

Abstract: 本发明公开了一种碟片抓取装置，包括相互配合的定位机构和抓取机构，其中，抓取机构包括基座、顶针、弹性元件、固定座、活塞及三个卡爪，基座位于托盘正上方，基座开设有安装槽，固定座固定在安装槽内，活塞容置在安装槽内，卡爪呈60度均布枢接安装在固定座内，卡爪具有形成杠杆的按钮臂与爪臂，爪臂具有抓取碟片的钩部，活塞底部与按钮臂抵触，活塞与安装槽之间形成气压腔，活塞与卡爪之间以及固定座与卡爪之间设有弹性元件，放下碟片时，通入气压，活塞下移，弹性元件被压缩，三个爪臂收拢；拿取碟片时，撤去气压，弹性元件恢复伸长，活塞上移，三个爪臂张开。本发明的碟片抓取装置具有较高洁净度，能有效提高成品率及生产效率。