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公开(公告)号：CN104858121A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510235735.7
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，中心磁轭上设有补偿线圈，所通电流与工作线圈中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一定比例，形成的补偿磁场可对电枢反应的影响进行跟踪补偿；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104849006A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510235706.0
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 涡流补偿的双永磁管两端对称励磁圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，两圆筒形永磁管对称安装在磁路结构两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104848936A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510236218.1
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H17/00
Abstract: 磁场跟踪补偿的双排永磁体向心励磁矩形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧表面且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称的闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，在与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，可同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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公开(公告)号：CN104848930A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510235674.4
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H17/00
Abstract: 涡流补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，在与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN103047344B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210574688.5
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103047343B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210574672.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062319B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210578281.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 二维柔性铰链角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062318B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210577110.5
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN103062304B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210574843.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , G03F7/20
Abstract: 柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁浮推力轴承进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062300B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210574757.2
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关与控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维近似零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
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