公开(公告)号：CN104203109A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380016098.3

申请日：2013-03-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中村友亮 ,  鹤野次郎 ,  清濑摄内

IPC: A61B8/00 ,  H04R17/00

CPC classification number: B06B1/0629 ,  A61B8/4427 ,  A61B8/4444 ,  A61B8/4494 ,  A61B8/461 ,  A61B8/5207 ,  B06B1/0622 ,  G01S15/8934 ,  G03B42/06 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/22

Abstract: 一种超声波换能器元件芯片，其特征在于，具备：基板，阵列状地配置有开口；超声波换能器元件，在所述基板的第一面设置于各个所述开口；增强部件，固定于与所述基板的所述第一面相反一侧的所述基板的第二面，用于增强所述基板；以及通气路径，使所述开口的内部空间和所述基板的外部空间相互连通。