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公开(公告)号：CN103208282A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201210590296.8
申请日：2012-12-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村友亮
CPC classification number: G03B42/06 , B06B1/0629 , G10K9/125 , G10K11/32
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器、超声波探测器、诊断设备及电子设备。该超声波换能器的特征在于，包括：具有可挠性的第一基板；设置在上述第一基板上、进行超声波的发送和接收的多个超声波元件；以及具有使上述第一基板在第一方向上挠曲的第一基板变形部、以及使上述第一基板在与第一方向交叉的第二方向上挠曲的第二基板变形部的基板变形装置。
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公开(公告)号：CN102243371A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110228932.8
申请日：2008-01-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种执行机构、光学扫描器及图像形成装置，其可以实现小型化、缓和或防止对环境温度的影响，并可发挥希望的振动特性。执行机构包括可动板，能够绕转动中心轴转动；一对连接部，连接所述可动板；支持部，支持所述连接部；以及压电元件，转动驱动所述可动板，所述各连接部包括：轴部件，从所述可动板延伸出来；驱动部件，连接所述轴部件；以及一对弹性部件，可弹性变形，并且连接所述驱动部件和所述支持部，其中，通过所述轴部件和所述一对弹性部件的热膨胀，前述驱动部件沿所述轴部件的延伸出来的方向向离开所述可动板方向的位移。
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公开(公告)号：CN107773271B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201710709559.5
申请日：2017-08-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了超声波的发送接收效率高的超声波器件、超声波组件以及超声波测定装置。超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支撑膜，设置在所述基板上，所述支撑膜将所述第一开口和所述第二开口堵塞；发送用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第一开口重叠的位置，在所述基板的厚度方向上被一对电极夹着；以及接收用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第二开口重叠的位置，在与所述基板的厚度方向交叉的交叉方向上被一对电极夹着，相对于所述基板的厚度方向的所述接收用压电膜的膜厚尺寸小于所述发送用压电膜的膜厚尺寸。
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公开(公告)号：CN107174281B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201710135408.3
申请日：2017-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村友亮
IPC: A61B8/00
Abstract: 本发明提供超声波器件、超声波模块及超声波测定装置。超声波器件(22)具备：超声波换能器(45)，具有振动膜(412)，从振动膜(412)的第一面(412A)一侧发送超声波；声匹配层(43)，设置于振动膜(412)的第一面(412A)一侧；以及声透镜(44)，设置于声匹配层(43)的与振动膜(412)相反的一侧，声匹配层(43)由包括第一层(431)和第二层(432)的偶数层构成，第二层(432)的声阻抗小于第一层(431)和声透镜(44)的声阻抗，在声匹配层(43)中，从振动膜(412)朝声透镜(44)依次配置有第一层(431)和第二层(432)，在将超声波的波长设为λ时，第一层(431)和第二层(432)具有λ/4的奇数倍的厚度。
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公开(公告)号：CN106175827B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201610361700.2
申请日：2016-05-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供压电器件、探测器、电子设备及超声波图像装置，压电器件(47)具备：压电体膜(51)，具有与振动膜(48)接触的第一面(51a)和位于该第一面的相反侧的第二面(51b)；第一电极(52)和第二电极(53)，设置于压电体膜(51)的第二面(52b)，配置于彼此分开的位置，且在与压电体膜(51)分开的位置彼此短路；以及第三电极(54)，在压电体膜(51)的第二面(51b)设置于在第一电极(52)与第二电极(53)之间，并配置在与第一电极(52)和第二电极(53)分开的位置。第一电极(52)和第二电极(53)的端部(52a)、(53a)的轮廓被限定为至少局部地平行于第三电极(54)的侧部(54b)、(54b)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106923861B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201610856572.9
申请日：2016-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了压电元件、探测器以及超声波测定装置，压电元件(50)包括：振动膜(56)；压电体(58)，配置在所述振动膜(56)的一面侧；以及水平电极构造，在所述压电体(58)上隔开规定间隔而配置有电极，所述振动膜(56)俯视时在与所述规定间隔相对应的部分具有凹部(第一凹部(64))。
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公开(公告)号：CN104665871B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201410670627.8
申请日：2014-11-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
Abstract: 本发明涉及超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置。该超声波装置的特征在于，具备：基板，具有包含被配置为阵列状的多个超声波换能器元件的元件阵列；以及支撑部件，在包含上述元件阵列的区域具有被固定在上述基板的面，在被固定在所述基板的面的相反侧，所述支撑部件具有被形成为关于所述元件阵列中相邻的两个所述超声波换能器元件、从被固定于所述基板的所述面到所述相反侧的面的距离不同的表面形状。
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公开(公告)号：CN106964531B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201710088584.6
申请日：2013-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0629 , A61B8/4427 , A61B8/4488 , A61B8/4494 , B06B1/0622 , H01L41/053
Abstract: 本发明提供了超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备，该超声波换能器元件芯片具备：隔壁部，位于基部的第一面，隔开多个开口；可挠膜，覆盖多个所述开口；以及超声波换能器元件，位于覆盖所述可挠膜的所述开口的区域，所述隔壁部的厚度小于所述隔壁部的高度。
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公开(公告)号：CN109196881A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201780025741.7
申请日：2017-04-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H04R17/00 , A61B8/14 , H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113
Abstract: 提供超声波的收发效率高的超声波器件、超声波模块和超声波测量装置。该超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支承膜，设在基板上，并堵塞第一开口及第二开口；发送用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第一开口重叠的位置，发送用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及接收用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第二开口重叠的位置，接收用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，在基板的厚度方向上，发送用压电膜的厚度尺寸比接收用压电膜的厚度薄。
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公开(公告)号：CN107039577A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201610949882.5
申请日：2016-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/29 , H01L41/297 , B06B1/06
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/4472 , A61B8/54 , B06B1/0622 , G01S7/5208 , G01S7/52082 , G01S15/8913 , G01S15/8925 , H01L27/20 , H01L41/047 , H01L41/081 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H01L41/1876 , H01L41/27 , H01L41/29 , H01L41/318 , H01L41/319 , H01L41/332 , H01L41/0471 , H01L41/297
Abstract: 提供一种具有高压电特性的压电体的压电元件、压电模块、电子设备以及压电元件的制造方法。接收用换能器(52)具备：挠性部(412D)；压电膜(423)，设置于挠性部(412D)；第一电极(422)，设置于挠性部(412D)的设置有压电膜(423)一侧的第一面(412B1)和压电膜(423)的与挠性部(412D)相反一侧的面的第二面(423A)之间；以及第二电极(424)，设置于第一面(412B1)和第二面(423A)之间，在从挠性部(412D)的厚度方向观察的俯视下，与第一电极(422)隔着间隙相对。
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