用于半导体载体的低欧姆衬底通孔互连

    公开(公告)号:CN101410972A

    公开(公告)日:2009-04-15

    申请号:CN200780010965.7

    申请日:2007-03-16

    Abstract: 本发明描述了一种用于半导体衬底(600)上形成的电子芯片的低欧姆晶片通孔互连(TWI)。该TWI包括在衬底(600)的前表面和背表面之间延伸的第一连接部(610)。第一连接部(610)包括填充有低欧姆材料的通孔,该材料的电阻率低于多晶硅。该TWI还包括也在前表面和背表面之间延伸的第二连接部(615)。第二连接部(615)与第一连接部(610)在空间上由半导体衬底(600)的至少一部分隔开。前表面设有集成电路布置(620),其中,第一连接(610)电耦合到集成电路布置(620)的至少一个节点而不穿透集成电路布置(620)。在处理TWI期间,首先可以用非金属材料,例如多晶硅来填充通孔。当在前表面上形成集成部件(620)之后,可以减薄衬底(600),并可以用低欧姆材料,尤其是金属材料来替代非金属材料。

    用于相位对比成像的光栅
    33.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103200874B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201180053589.6

    申请日:2011-11-03

    Abstract: 本发明涉及用于X射线微分相位对比成像的箔光栅、用于生成对象的相位对比图像的探测器装备和X射线成像系统、以及制作箔光栅的方法。为了提供具有高纵横比的光栅,提供了一种用于X射线微分相位对比成像的箔光栅(40),所述箔光栅(40)具有X射线吸收材料的第一箔(42);以及X射线吸收材料的至少第二箔(44)。至少两个所述箔每个都包括由X射线透明缝隙彼此间隔的多个X射线吸收条带,其中,所述第一箔包括具有第一宽度w1(50)的第一多个(46)第一条带(48),以及以第一间距p1(58)周期性布置的具有第一开口宽度wO1(56)的第一多个(52)第一缝隙(54),并且其中,所述第二箔包括具有第二宽度w2(64)的第二多个(60)第二条带(62),以及以第二间距p2(72)周期性布置的具有第二开口宽度wO2(70)的第二多个(66)第二缝隙(68)。至少两个所述箔被布置为彼此移位,从而使所述第二条带定位于所述第一缝隙前方,从而为X射线辐射的通路提供了多个(74)形成的狭缝(76),所述多个(74)形成的狭缝(76)具有形成的狭缝宽度WR(78),所述形成的狭缝宽度WR(78)小于所述第一开口宽度wO1和所述第二开口宽度wO2。至少两个所述箔固定地附接于彼此。

    栅格以及制造用于选择性地透射电磁辐射特别是用于乳房摄影应用的X射线辐射的栅格的方法

    公开(公告)号:CN102187403B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN200980140564.2

    申请日:2009-10-07

    CPC classification number: G21K1/025 B22F3/1055 B33Y10/00 B33Y80/00 Y02P10/295

    Abstract: 本发明提出一种制造用于选择性地透射电磁辐射——特别是X射线辐射——的栅格(1)的方法。该方法包括:提供具有自支撑稳定性的支撑元件(3),其中该支撑元件(3)由基本不吸收选择性地透射通过该栅格的电磁辐射的材料制成;在该支撑元件(3)的表面上施加金属层(5);以及用吸收选择性地透射通过该栅格的电磁辐射的材料在该金属层(5)的表面上构建选择性透射结构(7),其中该透射结构是利用选择性激光烧结构建的。由于该支撑元件(3)提供足够的机械稳定性但并不吸收相应的辐射,在其上利用选择性地烧结构建的选择性透射结构(7)可能不必随后与制造基底分离,从而防止了分离/划片损失,此外其可能在结构上得以保持并且在处理栅格期间不受损害。

    带有光探测器的辐射探测器

    公开(公告)号:CN103261913A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201180059601.4

    申请日:2011-12-12

    CPC classification number: G01T1/2006 G01T1/2008

    Abstract: 本发明涉及辐射探测器(100),包括闪烁体组,所述闪烁体组具有例如两个闪烁体元件(120a、120b)用于根据特征发射光谱将入射初级光子(X,X’)转换成次级光子(λ,λ')。此外,所述探测器包括至少两个光探测器(120a、120b)用于将所述次级光子转换成电信号,其中所述光探测器具有不同的吸收光谱并且能被分别读出。根据本发明的优选实施例,所述光探测器为有机光探测器(120a、120b)。所述闪烁体元件(120a、120b)和所述光探测器优选为一个接一个地堆叠布置。由于所述至少两个光探测器(120a、120b),可以收集有关入射初级辐射(X,X’)的额外的信息。

    用于相位对比成像的光栅
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103200874A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201180053589.6

    申请日:2011-11-03

    Abstract: 本发明涉及用于X射线微分相位对比成像的箔光栅、用于生成对象的相位对比图像的探测器装备和X射线成像系统、以及制作箔光栅的方法。为了提供具有高纵横比的光栅,提供了一种用于X射线微分相位对比成像的箔光栅(40),所述箔光栅(40)具有X射线吸收材料的第一箔(42);以及X射线吸收材料的至少第二箔(44)。至少两个所述箔每个都包括由X射线透明缝隙彼此间隔的多个X射线吸收条带,其中,所述第一箔包括具有第一宽度w1(50)的第一多个(46)第一条带(48),以及以第一间距p1(58)周期性布置的具有第一开口宽度wO1(56)的第一多个(52)第一缝隙(54),并且其中,所述第二箔包括具有第二宽度w2(64)的第二多个(60)第二条带(62),以及以第二间距p2(72)周期性布置的具有第二开口宽度wO2(70)的第二多个(66)第二缝隙(68)。至少两个所述箔被布置为彼此移位,从而使所述第二条带定位于所述第一缝隙前方,从而为X射线辐射的通路提供了多个(74)形成的狭缝(76),所述多个(74)形成的狭缝(76)具有形成的狭缝宽度WR(78),所述形成的狭缝宽度WR(78)小于所述第一开口宽度wO1和所述第二开口宽度wO2。至少两个所述箔固定地附接于彼此。

    多能量X射线源
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101946299B

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN200980105033.X

    申请日:2009-02-10

    CPC classification number: H01J1/3048 H01J35/065 H01J2235/062 H01J2235/068

    Abstract: 提出了一种用于特别地由场发射碳纳米管(1,2)生成多能量X射线的源(19)。为了实现来自不同发射器的X射线束的轨迹的空间交叠,向发射的电子(28,29)供应聚焦单元(7,9)。在不同碳纳米管的发射之间的快速切换允许多个千伏的成像。由聚焦单元独立确定多个焦斑参数导致可能在不同焦斑几何形状和空间分辨率之间进行快速切换。这可以在图1中看出。

    利用像素化探测器的X射线成像

    公开(公告)号:CN103081024A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201180042736.X

    申请日:2011-08-30

    CPC classification number: G01N23/04 G21K1/025 G21K2207/00 H01J2235/068

    Abstract: 本发明涉及一种用于产生X射线图像的方法和成像系统(100)。该系统(100)包括至少一个X射线源,优选是X射线源(101a-101d)的阵列,以及具有敏感像素(103a-103e)阵列的X射线探测器(103)。在X射线源和探测器之间布置准直器(102),使得准直器(102)的两个开口(P)允许X射线通过而指向两个相邻像素(103a-103e),同时基本屏蔽所述像素之间的区域。像素之间对通常不敏感的区域的这种屏蔽减少了不必要的X射线曝光。可以利用多个小的X射线源(101a-101d)实现充分大的X射线强度。

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