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公开(公告)号：CN110291426B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201880011606.1
申请日：2018-02-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01T7/00 , A61B6/00 , A61B6/06 , G01N23/20008 , G21K1/06
Abstract: 金属网格包括：具有弯曲的主面的部件、在该部件的主面上形成的阳极氧化覆膜、和包含在阳极氧化覆膜上周期性地形成的凹凸形状的栅格结构。此外，金属网格的制造方法包括：在部件的主面上形成阀金属膜的工序；在主面弯曲的状态下进行阀金属膜的阳极氧化处理而形成阳极氧化覆膜的工序；和通过在阳极氧化覆膜的表面上形成具有周期性的开口的蚀刻掩模并经开口对阳极氧化覆膜进行蚀刻，在阳极氧化覆膜上形成包含周期性的凹凸形状的栅格结构的工序。
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公开(公告)号：CN115485548A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032076.0
申请日：2021-04-15
Applicant: 浜松光子学株式会社 , 大阳日酸株式会社 , 国立大学法人福岛大学
Abstract: 试样支承体(1)是用于试样的成分的离子化的试样支承体，并且具备：基板(2)，其具有第一表面(2a)、和与第一表面相反侧的第二表面(2b)、以及在第一表面和第二表面开口的多个贯通孔(2c)；导电层(5)，其至少设置于第一表面；以及衍生化剂(6)，其设置于多个贯通孔，并且用于将成分衍生化。
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公开(公告)号：CN111095478B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN201880060549.6
申请日：2018-07-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供一种质量分析装置，其包括：形成抽成真空的空间的腔室；支承部，其在包括形成有在彼此相对的第1表面和第2表面开口的多个贯通孔的基板和至少在第1表面设置的导电层的试样支承体的第2表面与试样接触的状态下，在腔室内的空间里，至少支承试样和试样支承体；激光照射部，其对第1表面照射激光；电压施加部，其向导电层施加电压；离子检测部，其在试样的成分因毛细管现象而通过多个贯通孔移动至第1表面侧的状态下，在腔室内的空间，通过向导电层施加电压并同时对第1表面照射激光而检测电离出的成分；第1光照射部，其从基板侧对试样照射第1光；和摄像部，其取得由第1光产生的试样的反射光像。
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公开(公告)号：CN115053129A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202080095562.2
申请日：2020-12-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明的试样支承体具备：具有形成有多个贯通孔的测量区域的绝缘性的基板；框架，在该框架以与测量区域对应的方式形成了在第1面和第2面开口的开口部，该框架以在从基板的厚度方向观察时开口部与测量区域重叠的方式形成在第1表面上；粘接基板和框架的、具有相比于开口部的内表面更向测量区域侧突出的突出部的粘接层；和导电层，其具有：沿开口部的内表面设置的第1部分；沿测量区域的第1表面设置的第2部分；和以连接第1部分和第2部分的方式沿突出部的表面设置的第3部分。
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公开(公告)号：CN110383056B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN201880016091.4
申请日：2018-03-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的一个方面所涉及的质量分析装置(200)包括试样台(1)、激光照射部(201)和检测器(203)，试样台(1)以如下方式构成：包括载置试样(10)并且设置有从一个面(21a)贯通至另一个面(21b)的多个贯通孔(S)的基板(21)和至少覆盖在一个面(21a)上未设置贯通孔(S)的部分的导电层(23)的试样支承体(2)以另一个面(21b)与试样(10)相对的方式载置，激光照射部(201)以向一个面(21a)上的成像对象区域(R1)照射激光(L)的方式控制激光(L)的照射，检测器(203)在维持成像对象区域(R1)上的试样(10)的位置关系的状态下对通过激光(L)的照射而离子化的试样(10)进行检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114072667A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202080049154.3
申请日：2020-04-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N27/62
Abstract: 试样支撑体是用于将试样电离的试样支撑体。试样支撑体具备：膜部，其具有第一表面及第一背面，形成有在第一表面及第一背面开口的多个贯通孔；支撑部，其针对膜部划定用于将试样电离的测定区域，且支撑膜部。支撑部包含：内侧部分，其具有第二表面及第二背面，固定有膜部；外侧部分，其具有第三表面及第三背面，沿着内侧部分的外缘延伸。在膜部的厚度方向上在第一表面的位置和第三表面的位置之间产生的差小于膜部的厚度。
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公开(公告)号：CN111406211A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201880076606.X
申请日：2018-10-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 激光解吸电离法包括：准备包括形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)开口的多个贯通孔的基板(2)和至少设置于第1表面的导电层的试样支承体(1)的第1工序；向多个贯通孔导入试样(S)和在真空中具有不易挥发性的溶剂(81)的第2工序；和通过向导电层施加电压且对第1表面照射激光而使试样的成分被电离的第3工序。
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公开(公告)号：CN111095478A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880060549.6
申请日：2018-07-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供一种质量分析装置，其包括：形成抽成真空的空间的腔室；支承部，其在包括形成有在彼此相对的第1表面和第2表面开口的多个贯通孔的基板和至少在第1表面设置的导电层的试样支承体的第2表面与试样接触的状态下，在腔室内的空间里，至少支承试样和试样支承体；激光照射部，其对第1表面照射激光；电压施加部，其向导电层施加电压；离子检测部，其在试样的成分因毛细管现象而通过多个贯通孔移动至第1表面侧的状态下，在腔室内的空间，通过向导电层施加电压并同时对第1表面照射激光而检测电离出的成分；第1光照射部，其从基板侧对试样照射第1光；和摄像部，其取得由第1光产生的试样的反射光像。
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公开(公告)号：CN111094964A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880060435.1
申请日：2018-08-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 试样支撑体(1)包括基板(2)、电离基板(3)和支撑部(5)。电离基板(3)在第2表面(3b)上具有用于滴落试样的多个测量区域(R)。在电离基板(3)的至少各测量区域(R)形成有在第1表面(3a)和第2表面(3b)开口的多个贯通孔(3c)。至少在第2表面(3b)上的贯通孔(3c)的周缘部设置有导电层(4)。支撑部(5)具有第1支撑部(5b)，该第1支撑部(5b)以从基板(2)与电离基板(3)相对的方向观察划分多个测量区域(R)的方式设置于第1表面(3a)上的各测量区域(R)的周缘部与基板(2)之间。
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公开(公告)号：CN110736784A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201911035872.0
申请日：2016-08-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N27/64
Abstract: 本发明的一个方面所涉及的表面辅助激光解吸电离法包括：第一工序，其准备具有设置有从一个面(21a)贯通到另一个面(21b)的多个贯通孔(S)的基板(21)、和至少覆盖一个面(21a)的导电层(23)的试样支撑体(2)；第二工序，其将试样(10)载置于试样台(1)，且以另一个面(21b)与试样(10)相对的方式将试样支撑体(2)配置于试样(10)上；和第三工序，其通过向一个面(21a)照射激光(L)，使利用毛细管现象从另一个面(21b)侧经由贯通孔(S)而移动至一个面(21a)侧的试样(10)电离。
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