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公开(公告)号：CN102249240A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110152194.3
申请日：2011-06-08
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B33/023
Abstract: 本发明公开了一种利用硅藻土制备高纯单质硅的制备方法。通过简单的两个步骤：首先通过酸处理去除硅藻土中的杂质，随后通过金属热反应将其中的SiO2还原成为单质硅。由于硅藻土呈多孔状，结构松散，其中的杂质易于去除，因此所得单质硅的纯度在99%以上，有利于直接应用或进行进一步加工处理。本发明提出的利用硅藻土制备高纯单质硅的方法，原材料来源广泛，工艺流程简单，具有极强的经济价值和应用前景。
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公开(公告)号：CN102229496A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110152183.5
申请日：2011-06-08
Applicant: 浙江大学
IPC: C04B35/565 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种从农业废弃物制备SiC/磁性金属纳米轻质复合材料及其方法，其核心层为多孔SiC，包覆层为磁性金属纳米微粒。通过简单的几个步骤：首先将农业废弃物通过热解或酸碱处理成为以SiO2和碳为主要成分的硅碳粉；随后将硅碳粉通过金属热或高温反应得到SiC；最后在SiC上原位包覆一层磁性金属纳米微粒，得到SiC/磁性金属纳米复合材料。这种材料具有纳米多孔结构以及较高的比表面积，从而兼具优异的吸附性能、催化性能及电磁波吸收性能，在难降解废水处理、吸波材料等领域具有潜在的用途。本发明提出的从农业废弃物中制备SiC/磁性金属纳米轻质复合材料的方法，工艺流程简单，原材料成本低廉，材料潜在用途广泛，是一项经济有效的利用农业废弃物的方法。
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公开(公告)号：CN113810018B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111003699.3
申请日：2021-08-30
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: H03H3/02 , H03H9/17 , H10N30/04 , H10N30/072
Abstract: 本发明公开一种激光剥离方式制备单晶薄膜体声波谐振器的方法，该方法通过离子注入的方式，仅对单晶压电薄膜生长衬底进行处理或者对已经沉积单晶压电薄膜层后的单晶压电薄膜生长衬底进行处理，从而使单晶压电薄膜生长衬底表面形成缺陷层，然后再通过退火工艺，使所述缺陷层表面形成衬底修复层；最后在器件制备过程中，通过激光辐照，使所述缺陷层分解，从而实现衬底与器件的分离。本发明的方法可以解决单晶FBAR制备过程中衬底机械减薄带来的单晶薄膜损伤而严重影响器件性能的问题，且能够回收利用衬底，降低制备成本。
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公开(公告)号：CN114496746A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111483162.1
申请日：2021-12-07
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: H01L21/18 , H01L21/60 , H01L23/488 , C23C14/18 , C23C14/35 , C23C16/24 , C23C16/50 , C23C16/56 , C30B25/02 , C30B29/40
Abstract: 本发明公开了一种异质外延薄膜外延层的表面处理方法，包括提供外延衬底，在所述外延衬底上表面制备一外延层，提供待键合层；键合所述外延层和所述待键合层；机械减薄抛光所述外延衬底下表面，当所述外延衬底的厚度减薄至20‑40μm时停止抛光，在减薄后的外延衬底下表面旋涂一层含Si抗反射涂层/有机碳层的光刻胶三层结构掩膜；对所述光刻胶三层结构掩膜表面加热后进行化学机械减薄抛光，得到三层结构掩膜平坦化的外延衬底；干法刻蚀CMP抛光后的外延衬底表面直至所述外延层外漏得到异质外延薄膜外延层。该方法能够使得转移剥离露出的外延层的厚度均匀性较好。
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公开(公告)号：CN114421909A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111483158.5
申请日：2021-12-07
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: H03H3/02 , H03H9/17 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明公开了一种优化FBAR空腔平坦化工艺缺陷的方法，包括：基底表面具有空腔，在所述空腔内沉积牺牲层；平坦化牺牲层以使得所述牺牲层表面碟形坑为正值得到平坦化器件；将平坦化器件加热至1000℃‑1200℃退火30min‑60min得到热处理器件；在热处理器件表面溅射一层TaN，利用化学机械抛光法抛光TaN层至基底表面得到第二平坦化器件；在所述第二平坦化器件表面沉积压电振荡堆和金属pad层，去除牺牲层得到空腔型FBAR。该方法能够使得FBAR谐振器具有较为电极稳定的结构，较高Q值。本发明还公开了采用该方法制备的FBAR谐振器，以及该FBAR谐振器在制备圆晶片上的应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112311347A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011109253.4
申请日：2020-10-16
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种可提高薄膜体声波谐振器品质因子Q值的结构，包括衬底、压电振荡堆、第一空腔、第二空腔；还可包括有终止层；所述的压电振荡堆包括下电极、压电层和上电极，其中所述第二空腔的宽度与第二空腔距第一空腔边缘的最短距离相等。本发明通过增加空腔结构或结合改变部分结构，可以优化FBAR压电振荡堆的状态，从而较好的改善边界声阻抗条件，抑制寄生横波的存在，进而达到提高器件的Q值的目的，产品的良率也得到较大的提升，可大大增强产品的市场竞争力。
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公开(公告)号：CN103420387B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201310350002.9
申请日：2013-08-13
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B33/40
Abstract: 本发明公开了一种管状粘土矿物-磁性金属纳米复合材料及其制备方法。磁性金属纳米微粒位于粘土矿物的天然纳米管内部。首先将管状粘土矿物通过有机改性使其纳米管内部呈疏水性；随后将管状粘土矿物与一定比例的金属有机物混合；通过高温热分解在粘土矿物纳米管内原位合成金属氧化物纳米微粒；将金属氧化物还原后即得到管状粘土矿物-磁性金属纳米复合材料。这种新型的纳米复合材料具有结构稳定、粒径均一等特点，在难降解废水处理、电磁波吸收、药物载体及缓释剂、磁性共振成像等领域具有潜在的用途。本发明提出的管状粘土矿物-磁性金属纳米复合材料及其制备方法，工艺流程简单，材料结构新颖，潜在用途广泛，具有很强的应用价值。
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公开(公告)号：CN103170011B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201310122725.3
申请日：2013-04-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种生物陶瓷原位包覆的镁人工骨及其制备方法。铸造成型的镁人工骨表面原位包覆有磷酸三钙生物陶瓷。制备方法步骤如下：将铸造成型的镁人工骨清洗干净，去除表面油污；将草酸配制成醇溶液；将清洗过的镁人工骨吊挂并浸泡在配制好的草酸的醇溶液中反应；然后浸泡在浓度为5-10%的钙盐溶液中反应；将磷酸配制成醇溶液，将与钙盐溶液反应后的镁人工骨吊挂并浸泡在磷酸的醇溶液中反应；与磷酸的醇溶液反应后的镁人工骨先在60-80°C烘干，然后煅烧1至3小时，即得到生物陶瓷原位包覆的镁人工骨。本发明具有良好的生物相容性；内部是铸造成型的镁骨骼，机械强度远高于人类骨骼和生物陶瓷材料；制备方法简便、技术可靠，成本低。
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公开(公告)号：CN103063725A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210538149.6
申请日：2012-12-13
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N27/333 , C25D9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于导电聚苯胺的固体铵离子电极及其制备方法。它包括金属丝、导电聚苯胺、可溶性导电聚苯胺、铵离子敏感膜、热缩管，金属丝下部表面电镀一层导电聚苯胺，在导电聚苯胺的外表面包覆一层可溶性导电聚苯胺，在可溶性导电聚苯胺的外表面又包覆有铵离子敏感膜，金属丝中部和离铵离子敏感膜端部0.5～1厘米以上部分外侧包覆有热缩管。本发明具有机械强度高，韧性大，灵敏度高，体积小，探测响应快，检测下限极低，使用寿命长等优点，它和固体参比电极配套使用，适用于对海水、养殖用水和化学、化工水介质中的铵离子含量进行在线探测和长期原位监测。
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公开(公告)号：CN103063718A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210538249.9
申请日：2012-12-13
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明公开了一种基于导电聚苯胺的固体硝酸根离子电极及其制备方法。它包括金属丝、导电聚苯胺、可溶性导电聚苯胺、硝酸根离子敏感膜、热缩管，金属丝下部表面电镀一层导电聚苯胺，在导电聚苯胺的外表面包覆一层可溶性导电聚苯胺，在可溶性导电聚苯胺的外表面又包覆有硝酸根离子敏感膜，金属丝中部和离硝酸根离子敏感膜端部0.5～1厘米以上部分外侧包覆有热缩管。本发明具有机械强度高，韧性大，灵敏度高，体积小，探测响应快，检测下限极低，使用寿命长等优点，它和固体参比电极配套使用，适用于对海水、养殖用水和化学、化工水介质中的硝酸根离子含量进行在线探测和长期原位监测。
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