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公开(公告)号：CN113167767A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201880099763.2
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分。控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。
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公开(公告)号：CN103630638A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310328976.7
申请日：2013-07-31
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 畠堀贵秀
CPC classification number: G01N21/0303 , G01N21/05
Abstract: 本发明提供一种流通室。该流通室不使用光波导管等对保持有试样液体流动的毛细管的两端部的保持构件的抵接部位进行迂回，即使使光直接地入射或射出，也能够通过抑制折射率效果而不产生基线变动地进行准确的吸光度测定等。该流通室通过将用于保持毛细管（1）的两端部的保持构件（2a、2b）的、至少与毛细管（1）的外周面相接触的部位的全部或一部分的折射率设为1.31以下或者1.40以上，并且将从光源向毛细管（1）入射的测定光的入射NA设为0.22以下，即使在毛细管（1）内流动的试样液体变化为水和乙腈时，保持构件（2a、2b）的与毛细管（1）相接触的部分中的反射率也为固定的值，从而抑制因折射率效果引起的基线变动。
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公开(公告)号：CN111323479B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201910309937.X
申请日：2019-04-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种能够迅速地检查接合体中的部件彼此的接合状态的检查装置及检查方法。检查装置(1)为在将相互重合的多个板部件(91)经由铆钉(92)接合而成的接合体(9)中检查板部件(91)彼此的接合状态的装置。该检查装置(1)具有：激振部(2)，对接合体(9)的观察面(93)赋予相位、振幅的空间分布和/或频率不同的多个振动条件的弹性波；检测部(3)，在基于激振部(91)与铆钉(92)的接合部(94)或其附近的与振动位移有关的物理量的空间分布；及处理部(4)，处理由检测部(3)检测出的物理量的空间分布。(2)的激振过程中，检测观察面(93)上的板部件
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公开(公告)号：CN116500034A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202211481788.3
申请日：2022-11-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种可设定适合于缺陷检测的频率的缺陷检测装置及缺陷检测方法。缺陷检测装置包括：输入受理部，受理用户输入的假定为被检查物体中产生的缺陷的种类及大小的信息；激振部，对所述被检查物体激发弹性波，且所述弹性波的频率可变；测量部，利用光学部件测量由所述弹性波产生的所述被检查物体的表面的振动状态；波长决定部，根据由所述测量部获取的振动状态，求出所述被检查物体受到激发而产生的弹性波的波长；以及频率选择部，基于通过使所述激振部激发出的弹性波的频率变化而所述波长决定部针对多个频率各者获取的波长、以及由所述输入受理部受理的缺陷的种类及大小，从所述多个频率中选择适当的频率。
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公开(公告)号：CN113227781A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880100367.7
申请日：2018-12-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)，其激发弹性波；照射部(2)，其照射激光；测定部(3)，其测定干涉光；以及控制部(4)，其基于测定部(3)的测定结果，来获取表示测定区域内的被检查物体(7)的振动状态的图像(61)，从表示振动状态的图像(61)中检测测定区域内的振动状态的不连续部来作为缺陷(73)，基于检测出的缺陷的形状(62)和缺陷部的振动状态中的至少一方来确定缺陷的种类。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111323479A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910309937.X
申请日：2019-04-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种能够迅速地检查接合体中的部件彼此的接合状态的检查装置及检查方法。检查装置(1)为在将相互重合的多个板部件(91)经由铆钉(92)接合而成的接合体(9)中检查板部件(91)彼此的接合状态的装置。该检查装置(1)具有：激振部(2)，对接合体(9)的观察面(93)赋予相位、振幅的空间分布和/或频率不同的多个振动条件的弹性波；检测部(3)，在基于激振部(2)的激振过程中，检测观察面(93)上的板部件(91)与铆钉(92)的接合部(94)或其附近的与振动位移有关的物理量的空间分布；及处理部(4)，处理由检测部(3)检测出的物理量的空间分布。
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公开(公告)号：CN107462581B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201710398492.8
申请日：2017-05-31
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/88
Abstract: 提供一种能够一次检查目标物体的测量区域并且在测量区域内没有不一致发生的缺陷检测装置。缺陷检测装置(10)包括：用于在目标物体S内产生弹性波的产生单元(信号发生器11和振动器12)；用于在目标物体S的表面的测量区域上进行频闪照明的照明单元(脉冲激光光源13和照明光透镜14)；以及用于通过控制弹性波的相位以及频闪照明的定时，集中地测量关于弹性波的至少三个相互不同的相位在测量区域内每个点处的法线方向上的位移的位移测量单元(散斑剪切干涉仪15)。测量区域内的缺陷基于通过位移测量单元被获取的关于至少三个相位的在测量区域的每个点处的法线方向上的位移被检测。还包括一种缺陷检测方法。
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公开(公告)号：CN108760878A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810270116.5
申请日：2018-03-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N29/04
CPC classification number: G01B9/02096 , G01B9/02098 , G01B11/2441 , G01H9/00 , G01M7/025 , G01N21/1717 , G01N21/45 , G01N21/8806 , G01N29/00 , G01N29/043 , G01N29/045 , G01N29/2418 , G01N2021/1706 , G01N2021/8809 , G01N2201/0697 , G01N2291/263
Abstract: 本发明提供能均匀地检查被检查物体的测定区域的振动测定装置，具备：对对象物体激发振动的激振部；激光源；将激光源的光照射到测定区域的一部分区域、并使照射区域在测定区域内移动的扫描部；对测定区域的各点依次照射将照明时间宽度设为了振动的周期的1/3以下的激光的照射控制部；位移测定部，其对将来自对象物体的物体光分割成两份而得的两个光束设置角度差而使它们发生干涉，对测定区域的各点测定由此得到的干涉光，测定照射区域内的接近的2点间的相对前后方向的位移；及振动状态决定部，其基于测定区域的各点的与相位同步的时刻的振动的1个周期内的不同的3点以上的时刻的接近2点间的前后方向的位移，决定测定区域整体的振动状态。
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公开(公告)号：CN105527202A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510624113.3
申请日：2015-09-25
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明提供一种装置，无须使用现有装置所使用的光谱仪或阵列型检光器，而能够以低成本对载置于网上的粒子的量进行测定。对形成有周期结构的网(43)照射平行的单色光(L)，通过掩模(56)等，仅阻挡因该周期结构而形成的衍射光(D0、D1、…)的行进。由该网(43)所捕捉(载置)的粒子会使所述平行的单色光(L)朝各个方向散射，因此利用检光器(58)仅选择性地检测该散射光(S)。
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公开(公告)号：CN103674844A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310328601.0
申请日：2013-07-31
Applicant: 株式会社岛津制作所
CPC classification number: G01N21/05
Abstract: 本发明提供一种流通室。与以往的流通室相比，其不会使光量降低，不会产生光轴上的位置关系等的问题就能使光路长度彼此不同的流通室安装于同一光学系统。该流通室在供试样液体流动的直线状毛细管（1）的一端装有用于将测定光导入到毛细管（1）内的光导入构件，在其另一端装有将透过在毛细管（1）内流动的试样液体并利用该毛细管（1）传输的光导出到外部的光导出构件，将光导入构件作为插入于毛细管（1）内的光波导管（5）、光导出构件作为安装于毛细管（1）另一端开口部的窗构件（8），从而抑制毛细管（1）的透光量的损耗且不会在吸光度检测装置等光学系统上产生位置关系的问题就能在上述光学系统上安装光路长度不同的流通室（10）。
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