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公开(公告)号：CN112005086A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201880092070.0
申请日：2018-12-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 振动测量装置(10)具备：激励部(信号发生器11和振子12)，其在被检查物体中激发弹性波；照明部(所述波长稳定化激光光源13和照明光透镜14)，其使用波长稳定化激光光源(13)对被检查物体(S)的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部(剪切散斑干涉仪15)，其通过散斑干涉法或剪切散斑干涉法来一并测定所述测定区域的各点的在前后方向上的位移。通过使用波长稳定化激光光(13)，即使在被检查物(S)的表面凹凸大的情况下也能够得到干涉像。
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公开(公告)号：CN102473714B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201080031150.9
申请日：2010-06-23
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14603 , H01L27/14607 , H01L27/14609 , H01L27/1461
Abstract: 在嵌入式的光电二极管的受光面的端部隔着输送栅电极(12)形成浮动扩散区域(13)。在大致扇形形状的受光面中，设置以浮动扩散区域(13)为中心的具有放射状的延伸部的第一区域(111)和其外侧的第二区域(112)，导入导电型与第一区域(111)所收集的信号电荷相同的杂质，由此能够通过三维电场效应形成使信号电荷从放射状的延伸部朝向中心的电场。其结果是，能够缩短电荷的输送时间。另外，能够与浮动扩散区域(13)相邻地设置下一级电路元件，因此能够减小浮动扩散区域(13)的寄生电容，能够实现高灵敏度的元件。由此，在与以100万帧/秒左右以上的极高速度进行摄影相对应的固体摄像元件中，能够无损于摄影的高速性地提高检测灵敏度、信噪比。
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公开(公告)号：CN102473714A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031150.9
申请日：2010-06-23
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14603 , H01L27/14607 , H01L27/14609 , H01L27/1461
Abstract: 在嵌入式的光电二极管的受光面的端部隔着输送栅电极(12)形成浮动扩散区域(13)。在大致扇形形状的受光面中，设置以浮动扩散区域(13)为中心的具有放射状的延伸部的第一区域(111)和其外侧的第二区域(112)，导入导电型与第一区域(111)所收集的信号电荷相同的杂质，由此能够通过三维电场效应形成使信号电荷从放射状的延伸部朝向中心的电场。其结果是，能够缩短电荷的输送时间。另外，能够与浮动扩散区域(13)相邻地设置下一级电路元件，因此能够减小浮动扩散区域(13)的寄生电容，能够实现高灵敏度的元件。由此，在与以100万帧/秒左右以上的极高速度进行摄影相对应的固体摄像元件中，能够无损于摄影的高速性地提高检测灵敏度、信噪比。
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公开(公告)号：CN102346137A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110209392.9
申请日：2011-07-22
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/39
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/39
Abstract: 提供了一种利用TDLAS测量法进行测量的气体浓度测量装置，在该气体浓度测量装置中，可以通过使用整数运算装置进行数字处理来执行相敏检测。在根据本发明的气体浓度测量装置中，通过获取根据乘法器(62)的输出信号所获得的数据在与调制频率f的一个周期相对应的时间段内的移动平均，来去除输入信号中包含的与调制频率f的整数倍相对应的AC分量。结果，数字滤波器(63)的输出信号中的DC分量相对增大，从而使得更加容易利用数字低通滤波器(64)来提取DC分量，因而即使使用基于整数运算的数字处理，也可以实现充分精确的相敏检测。
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公开(公告)号：CN111323479B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201910309937.X
申请日：2019-04-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种能够迅速地检查接合体中的部件彼此的接合状态的检查装置及检查方法。检查装置(1)为在将相互重合的多个板部件(91)经由铆钉(92)接合而成的接合体(9)中检查板部件(91)彼此的接合状态的装置。该检查装置(1)具有：激振部(2)，对接合体(9)的观察面(93)赋予相位、振幅的空间分布和/或频率不同的多个振动条件的弹性波；检测部(3)，在基于激振部(91)与铆钉(92)的接合部(94)或其附近的与振动位移有关的物理量的空间分布；及处理部(4)，处理由检测部(3)检测出的物理量的空间分布。(2)的激振过程中，检测观察面(93)上的板部件
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116500034A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202211481788.3
申请日：2022-11-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种可设定适合于缺陷检测的频率的缺陷检测装置及缺陷检测方法。缺陷检测装置包括：输入受理部，受理用户输入的假定为被检查物体中产生的缺陷的种类及大小的信息；激振部，对所述被检查物体激发弹性波，且所述弹性波的频率可变；测量部，利用光学部件测量由所述弹性波产生的所述被检查物体的表面的振动状态；波长决定部，根据由所述测量部获取的振动状态，求出所述被检查物体受到激发而产生的弹性波的波长；以及频率选择部，基于通过使所述激振部激发出的弹性波的频率变化而所述波长决定部针对多个频率各者获取的波长、以及由所述输入受理部受理的缺陷的种类及大小，从所述多个频率中选择适当的频率。
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公开(公告)号：CN113227781A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880100367.7
申请日：2018-12-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)，其激发弹性波；照射部(2)，其照射激光；测定部(3)，其测定干涉光；以及控制部(4)，其基于测定部(3)的测定结果，来获取表示测定区域内的被检查物体(7)的振动状态的图像(61)，从表示振动状态的图像(61)中检测测定区域内的振动状态的不连续部来作为缺陷(73)，基于检测出的缺陷的形状(62)和缺陷部的振动状态中的至少一方来确定缺陷的种类。
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公开(公告)号：CN111323479A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910309937.X
申请日：2019-04-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种能够迅速地检查接合体中的部件彼此的接合状态的检查装置及检查方法。检查装置(1)为在将相互重合的多个板部件(91)经由铆钉(92)接合而成的接合体(9)中检查板部件(91)彼此的接合状态的装置。该检查装置(1)具有：激振部(2)，对接合体(9)的观察面(93)赋予相位、振幅的空间分布和/或频率不同的多个振动条件的弹性波；检测部(3)，在基于激振部(2)的激振过程中，检测观察面(93)上的板部件(91)与铆钉(92)的接合部(94)或其附近的与振动位移有关的物理量的空间分布；及处理部(4)，处理由检测部(3)检测出的物理量的空间分布。
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