公开(公告)号：CN104081304B

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201280068410.9

申请日：2012-10-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 西野功二 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  平田薰 ,  森崎和之

IPC: G05D7/06 ,  G05D11/03

CPC classification number: G05D7/0641 ,  G05D7/0664 ,  Y10T137/2544

Abstract: 一种半导体制造装置的气体分流供给装置，具备：操纵阀(3)，其形成压力式流量控制部(1a)；气体供给主管(8)，其连通于操纵阀(3)的下游侧；节流孔(6)，其设于操纵阀(3)下游侧的气体供给主管(8)；多个分支管路(9a、9n)，其并列状地连接于气体供给主管(8)的下游侧；分支管路开闭阀(10a、10n)，其间置于各分支管路(9a、9n)；压力传感器(5)；分流气体出口(11a、11n)，其设于各分支管路(9a、9n)的出口侧；以及运算控制部(7)，其中，对阀驱动部(3a)输出使所述操纵阀(3)朝运算流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作的控制信号Pd，并且对分支管路开闭阀(10a、10n)输出使各分支管路开闭阀(10a、10n)各自依次打开一定时间之后使其封闭的开闭控制信号(Oda、Odn)，利用压力式流量控制部(1a)进行流通过节流孔(6)的过程气体的流量控制，并且通过分支管路开闭阀(10a、10n)的开闭来分流供给过程气体。

公开(公告)号：CN106537275A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201580020604.5

申请日：2015-07-09

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  Y10T137/776

Abstract: 本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口制用控制阀(5)，其以水平姿势固定于主体(4)并对流体通路(3)进行开关；开关阀(6)，其以垂直姿势固定于主体(4)并对压力控制用控制阀(5)的下游侧的流体通路(3)进行开关；流孔(7)，其设置于开关阀(6)的上游侧的流体通路(3)；以及压力传感器(8)，其固定于主体(4)并检测压力控制用控制阀(5)和流孔(7)之间的流体通路(3)的内压，所述流体通路(3)具有：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿势的第一通路部(3a)、连接第一通路部(3a)和流孔(7)的垂直姿势的第二通路部(3b)、以及连接第二通路部(3b)和压力传感器(8)的水平姿势的第三通路部(3c)。(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控

公开(公告)号：CN105814410A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201480054854.6

申请日：2014-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土肥亮介 ,  安本直史 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F1/42 ,  F16L19/02 ,  G05D16/06

CPC classification number: F16L15/008 ,  F16L55/027 ,  G01F1/42 ,  G01F15/005 ,  G05D7/0635

Abstract: 本发明涉及流路密封构造，能够省略将孔板或者过滤板对作为母材的孔座或者过滤器座进行焊接或者敛缝的工序，并且能够实现进一步的小型化。其具备：主体块体(1)，形成有主体流路(1a，1b)；凹部(12，13)，形成于主体块体(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于所述凹部的深处，且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有能够与主体流路(1a，1b)连通的内部流路和扩径部，且抵接于所述垫圈；紧固螺丝(22)，外插于所述按压配管，并且螺旋拧入所述雌螺纹，抵接于所述扩径部而对所述按压配管进行按压。

公开(公告)号：CN105659178A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480049538.X

申请日：2014-10-21

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  日高敦志 ,  杉田胜幸

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/34

CPC classification number: G05D7/0647 ,  F16K31/004 ,  F16K31/06 ,  G01F1/34 ,  G01F1/363 ,  G01F1/42 ,  G01F1/6847 ,  G01F15/002 ,  G01F15/005 ,  G01F15/04

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可扩大监测流量范围并提高监测精度和流量控制精度的流量计及流量控制装置。本发明的流量计及流量控制装置具备大流量用测量部和小流量用测量部，所述大流量用测量部将从入口侧开闭切换阀(PV1)的出口侧到控制阀(CV)的入口侧的流路内部容积作为衰减容积进行流量运算，所述小流量用测量部将从出口侧切换阀(PV2)的出口侧到控制阀(CV)的入口侧的流路内部容积作为衰减容积来计算流量。

公开(公告)号：CN103718275B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201280038133.7

申请日：2012-06-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  日高敦志 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/4485

Abstract: 本发明通过能够将加热固体原料或液体原料而生成的原料蒸汽一边使用压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室稳定地供给，实现原料的气化供给装置的小型化和半导体产品的品质提高，并且能够容易地进行原料的剩余量管理。本发明的原料气化供给装置由以下部分构成：原料箱，储存原料；原料蒸汽供给路，从原料箱的内部空间部将原料蒸汽向处理腔室供给；压力式流量控制装置，夹设在该供给路中，控制向处理腔室供给的原料蒸汽流量；和恒温加热部，将上述原料箱、供给路和压力式流量控制装置加热到设定温度；将在原料箱的内部空间部中生成的原料蒸汽一边通过压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室供给。

公开(公告)号：CN105393031A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201480031742.9

申请日：2014-05-12

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 篠原努 ,  山路道雄 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  铜敏男

IPC: F16K37/00 ,  F16K7/12 ,  F16K7/17

CPC classification number: F16K37/0083 ,  F16K7/17 ,  G01N27/20 ,  Y10T137/5994

Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其结构简单，并且能够在隔膜断裂之前切实地检测出隔膜的损伤。隔膜(5)由多层隔膜层(21)(22)(23)形成。在最上层的隔膜层(23)上施加有配线(24)。通过检测配线(24)的切断来检测出隔膜(5)的异常。

公开(公告)号：CN103649367B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201280033804.0

申请日：2012-04-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  日高敦志 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/448 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/52 ,  Y10T137/86485

Abstract: 本发明包括：液体原料气体供给源；源储罐，其储存所述液体原料气体；气体流通路，其从所述源储罐的内部上方空间部向处理腔供给为液体原料气体蒸汽的原料气体；自动压力调整器，其间置于该气体流通路的上游侧，且将向处理腔供给的原料气体的供给压力保持为设定值；供给气体切换阀，其间置于所述气体流通路的下游侧，且对向处理腔供给的原料气体的通路进行开闭；节流孔，其设于该供给气体切换阀的入口侧和出口侧中的至少一方，且调整向处理腔供给的原料气体的流量；以及恒温加热装置，其将所述源储罐、所述气体流通路和供给气体切换阀以及节流孔加热至设定温度，在本发明中，将自动压力调整器下游侧的原料气体的供给压力控制为所期望的压力，并且向处理腔供给设定流量的原料气体。

公开(公告)号：CN103649367A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280033804.0

申请日：2012-04-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  日高敦志 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/448 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/52 ,  Y10T137/86485

Abstract: 本发明包括：液体原料气体供给源；源储罐，其储存所述液体原料气体；气体流通路，其从所述源储罐的内部上方空间部向处理腔供给为液体原料气体蒸汽的原料气体；自动压力调整器，其间置于该气体流通路的上游侧，且将向处理腔供给的原料气体的供给压力保持为设定值；供给气体切换阀，其间置于所述气体流通路的下游侧，且对向处理腔供给的原料气体的通路进行开闭；节流孔，其设于该供给气体切换阀的入口侧和出口侧中的至少一方，且调整向处理腔供给的原料气体的流量；以及恒温加热装置，其将所述源储罐、所述气体流通路和供给气体切换阀以及节流孔加热至设定温度，在本发明中，将自动压力调整器下游侧的原料气体的供给压力控制为所期望的压力，并且向处理腔供给设定流量的原料气体。

公开(公告)号：CN101922566B

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN200910171113.7

申请日：2003-12-18

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  永濑正明 ,  土肥亮介 ,  西村龙太郎

IPC: F16K7/17 ,  G05D16/02

CPC classification number: F16K47/02 ,  F16K47/023 ,  F16L55/043 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/86389 ,  Y10T137/86461

Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。

公开(公告)号：CN102483180A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080037326.1

申请日：2010-11-05

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 泽田洋平 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: F16K31/524 ,  F16K31/04 ,  F16H25/14 ,  F16K7/16

CPC classification number: F16K7/16 ,  F16K31/047 ,  F16K31/52408

Abstract: 本发明提供了一种当向上下方向对安装了凸轮的马达进行高度调整时容易接近调整螺丝的凸轮式控制阀。该凸轮式控制阀具备：具有流体流路(2)和阀座(3)的阀箱(4)、就位于阀座(3)或离开阀座(3)而开闭流体流路(2)的阀体(5)、压下阀体(5)并使该阀体抵接于阀座(3)的阀棒(6)、作用于阀棒(6)而压下阀棒(6)的凸轮(7)、对凸轮(7)进行旋转驱动的马达(8)、保持马达(8)的马达保持器(9)、固定于阀箱(4)并以能够上下移动的方式支撑马达保持器(9)的支撑框(10)、沿着使马达保持器(9)从支撑框(10)的上边部离开的方向驱使该马达保持器的弹性部件(11)以及用于将马达保持器(9)以悬挂状支撑于支撑框(10)并调整马达保持器(9)相对于支撑框(10)的高度的高度调整螺丝(12)，该高度调整螺丝(12)以能够滑动的方式插入支撑框(10)的上边部并拧入马达保持器(9)。