公开(公告)号：CN103282748A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201180064390.3

申请日：2011-11-28

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 泽田洋平 ,  永濑正明 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介

IPC: G01F1/00 ,  G01F15/02 ,  G01F25/00

CPC classification number: G01F5/00 ,  G01F1/34 ,  G01F1/86 ,  G01F15/046

Abstract: 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定，并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成：分支管路(Lb)，其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结，并且将其出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量，该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。

公开(公告)号：CN102483180B

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201080037326.1

申请日：2010-11-05

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 泽田洋平 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: F16K31/524 ,  F16K31/04 ,  F16H25/14 ,  F16K7/16

CPC classification number: F16K7/16 ,  F16K31/047 ,  F16K31/52408

Abstract: 本发明提供了一种当向上下方向对安装了凸轮的马达进行高度调整时容易接近调整螺丝的凸轮式控制阀。该凸轮式控制阀具备：具有流体流路(2)和阀座(3)的阀箱(4)、就位于阀座(3)或离开阀座(3)而开闭流体流路(2)的阀体(5)、压下阀体(5)并使该阀体抵接于阀座(3)的阀棒(6)、作用于阀棒(6)而压下阀棒(6)的凸轮(7)、对凸轮(7)进行旋转驱动的马达(8)、保持马达(8)的马达保持器(9)、固定于阀箱(4)并以能够上下移动的方式支撑马达保持器(9)的支撑框(10)、沿着使马达保持器(9)从支撑框(10)的上边部离开的方向驱使该马达保持器的弹性部件(11)以及用于将马达保持器(9)以悬挂状支撑于支撑框(10)并调整马达保持器(9)相对于支撑框(10)的高度的高度调整螺丝(12)，该高度调整螺丝(12)以能够滑动的方式插入支撑框(10)的上边部并拧入马达保持器(9)。

公开(公告)号：CN103003766A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180037208.5

申请日：2011-06-28

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  池田信一 ,  泽田洋平 ,  平井畅 ,  森崎和之 ,  西野功二 ,  土肥亮介

IPC: G05D7/06 ,  G01F3/38 ,  G01F25/00

CPC classification number: G01F7/005 ,  G01F1/34 ,  G01F15/002 ,  G01F15/005 ,  G01F25/0053 ,  G05D7/0652 ,  Y10T137/0324

Abstract: 仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放而使设定流量的气体向校正单元（5）流入，在箱内气体压力及气体温度稳定的时刻t0，计测第1次的箱内的气体温度T0及气体压力P0，然后将校正单元（5）的出口侧开闭阀（V2）封闭而进行向箱（BT）内的气体的积累，在时刻t1将入口侧开闭阀（V1）封闭，并在该入口侧开闭阀（V1）的封闭后的时刻t2计测第2次的气体温度T2及气体压力P2，根据各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R･Δt）×（P2/T2－P0/T0）（其中，V是箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t1－t0）运算，通过设定气体流量与运算气体流量Q的对比进行流量校正。