公开(公告)号：CN102387869A

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN201080016725.X

申请日：2010-05-28

Applicant: 中外炉工业株式会社 ,  株式会社东芝

Inventor： 德本隆男 ,  夏贞雄 ,  肥田充弘 ,  岩崎聡一郎 ,  佐藤强 ,  大城健一

IPC: B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  B05C11/08

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05C13/02 ,  B05D1/002 ,  B05D1/26

Abstract: 在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。

公开(公告)号：CN100384630C

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN200510083721.4

申请日：2005-03-22

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 古矢正明 ,  大城健一

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14274 ,  B41J2002/14362

Abstract: 本发明提供一种喷墨头。第一板具有背面并具有排出油墨的孔。具有顶面和背面的第二板具有穿透该第二板并与所述孔相连通的第一油墨通道。第二板的顶面与第一板的背面可分离地接触。具有顶面和背面的隔膜板以与第二板的背面相接触的方式可分离地安装。压电元件与隔膜板的背面相连并且一激励就可操作以改变第一油墨通道的容量。