半导体激光装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1992454A

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200610110844.7

    申请日:2006-08-15

    Abstract: 本发明公开了半导体激光装置及其制造方法。目的在于:能够在形成在同一衬底上的多波长半导体激光装置中,再现性良好地获得可高温动作且具有低噪音特性的自振动型激光。在红外激光区域中,在衬底10上依次叠层有下侧覆盖层12、活性层13、第一上侧覆盖层14、蚀刻停止层15、以及成为脊部的第二上侧覆盖层16。在红色激光区域中,在衬底10上依次叠层有下侧覆盖层22、活性层23、第一上侧覆盖层24、蚀刻停止层25、以及成为脊部的第二上侧覆盖层26。红外激光的蚀刻停止层15的厚度与红色激光的蚀刻停止层25的厚度不同。

    氮化物半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1765036A

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN200480007918.3

    申请日:2004-03-09

    Abstract: 本发明的氮化物半导体元件的制造方法,其中包括:工序(A),其准备:作为被分割成多个芯片用基板的氮化物半导体基板,分割后具有起着各芯片用基板作用的多个元件部分,和将所述元件部分结合的元件间部分,所述元件间部分的平均厚度比所述元件部分厚度小的氮化物半导体基板;工序(B),其在氮化物半导体基板的上面形成在所述元件部分上具有条状开口部分的掩模层;工序(C),其在所述氮化物半导体基板的上面,在通过所述掩模层的所述开口部分露出的区域上,使氮化物半导体层选择性生长;和工序(D),其将所述氮化物半导体基板从所述氮化物半导体基板的元件间部分劈开,形成具有被分割成单个芯片用基板的多个氮化物半导体元件的。

    半导体激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1245788C

    公开(公告)日:2006-03-15

    申请号:CN03106059.5

    申请日:2003-02-19

    CPC classification number: H01S5/028

    Abstract: 一种半导体激光器,它包括在衬底上形成的活性层和将活性层夹在中间的一对包层。在半导体激光器的谐振器端面102、104的至少一个面上有添加氢的第一介质膜109,在第一介质膜和谐振器端面之间设有防止氢扩散的第二介质膜108。这样当半导体激光器暴露于高温状态时,即使端面镀膜层中有添加氢的膜,端面镀膜脱离和端面镀膜变质的现象也能得到抑制。

Patent Agency Ranking