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公开(公告)号：CN110360994B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201910692006.2
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明涉及一种滤波器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定在基板顶面的4个U形声表面波滤波器芯片，制作在基板顶面的1个输入导引电极、4个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作在基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线。通过本发明，扩展波束与主波束一样均属于沿压电基片纯模方向传播的声表面波行波，所感测到的声表面波波束的幅度相对较大，相应的输出高频信号的幅度也较大，因而相应的旋转角运动角速度的感测灵敏度和精度也较高，同时免去了为提高感测灵敏度而在第一声表面波驻波区设置的金属点阵，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。
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公开(公告)号：CN111272162B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010135342.X
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5663 , G01C19/5656 , B81B3/00 , B81C1/00 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS陀螺，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层和顶板；空腔结构层的底面与底板顶面的底板键合环金硅键合，质量块与悬臂梁结构层中悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面的空腔基板键合环金硅键合，各个S形悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，采用单一质量块和组合S形悬臂梁结构，交叉耦合小、灵敏度高，总体结构简单、制备工艺简便。
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公开(公告)号：CN107819448B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201710897205.8
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明公开一种频率可调声表面波谐振器，包括压电基片(1)、依次叠合在压电基片(1)之上的金属结构层、中间介质层和电压调控电极层；所述金属结构层包括叉指换能器(2)、分置于叉指换能器(2)两侧的第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)；所述金属结构层的叉指换能器(2)通过高频输入电极(41)和高频输出电极(42)与外界电路相连，通过直流接地电极(45)接地，通过直流偏置电极(44)与调节谐振频率的直流偏置电源相连，所述第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)均通过各自的高频接地电极(43)和直流接地电极(45)接地。本发明的频率可调声表面波谐振器,频率调节灵活、方便。
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公开(公告)号：CN111323616A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN202010135124.6
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面四边的空腔基板底面键合环与底板顶面四边的底板键合环金金键合，悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面四边的空腔基板顶面键合环金硅键合，使各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面四边的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用单质量块惯性敏感方式和平面平行板电容检测方式，总体结构简单、制备过程简便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN111289772A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010135345.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；底板与空腔结构层通过底板键合环键合，空腔结构层与悬臂梁固支边框通过空腔基板键合环键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，悬臂梁固支边框与顶板通过顶板键合环键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用低深宽比的质量块和空腔结构层，总体结构简单、制备工艺简化、制作方便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110426122A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910692008.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及一种表面声波波束散射检测芯片，包括压电基片，制作于压电基片表面的第一输入叉指换能器、第二输入叉指换能器、第三输入叉指换能器、第四输入叉指换能器、第一输出叉指换能器、第二输出叉指换能器、第一短路反射器、第二短路反射器、第三短路反射器、第四短路反射器、内吸声胶胶膜、第一外吸声胶胶膜、第二外吸声胶胶膜以及第一输入电极、第二输入电极、第一输出电极、第二输出电极和若干个接地电极；本发明通过在输入叉指换能器的一侧设置与之偏轴的短路反射器和输出叉指换能器，构成一个复合谐振器结构，用于检测输入叉指换能器所发射的表面声波波束中因波束偏向、衍射而形成的散射波束。
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公开(公告)号：CN107986226B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201711347091.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 扬州大学
Abstract: 一种动态自平衡结构，属于基于微机电系统（MEMS）的自动控制技术领域，包括上基板，在上基板的顶面设置四个电阻条、四个双端固支悬挂电极和四个上基板顶面接地电极；在上基板的底面设置四个下拉电极上电极、四个分压电阻、环形直流偏置电极和上基板底面环形接地电极，在上基板的底面中央固定连接球形铰链半球形基座，在上基板上设置直流偏置金属通孔和接地金属通孔；在上基板的下方设置下基板，在下基板的顶面设置四个下拉电极下电极、直流偏置输入电极、直流接地电极、下基板顶面环形接地电极和接地电极连接导线，在下基板上固定连接球形铰链球形体。本发明实时感知并调整结构所在平面相对于水平面的偏离，实现结构的动态自平衡。
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公开(公告)号：CN106771356B
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201710048869.7
申请日：2017-01-23
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明公开一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法，包括压电基片、制作于压电基片上的声表面波谐振器金属指和叠加在声表面波谐振器金属指之上的同形可浮动质量载荷指。当加速度计结构作向上或向下的加速运动时，质量载荷指因惯性产生向下或向上的位移，其与下层声表面波谐振器金属指的接触面积和作用力发生变化，声表面波谐振器金属指的等效质量发生变化，最终声表面波谐振器的谐振频率发生变化，据此可以测量加速度计结构的运动加速度。与现有技术相比，本发明采用复合指结构的声表面波谐振器作为加速度敏感元件，所包含的质量载荷指的结构、材料、加工方法与下层声表面波谐振器金属指相同或相似，结构新颖，工艺兼容性好，制作方便。
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公开(公告)号：CN106646184B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201610870654.9
申请日：2016-09-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01R31/28
Abstract: 本发明涉及一种集成封装多信道声表面波滤波器组的测试结构和方法，通过本发明，包括测试基板、射频接头，测试基板正面中部为若干组测试插孔，每组测试插孔包括1个接地插孔对和分置于接地插孔对上下两侧的若干个信号插孔对，对应于集成封装多信道声表面波滤波器组的各个电极插脚对，各个插孔对的左、右插孔沿上下方向呈左、右两列排布，各组测试插孔沿左右方向相间排布，且从左到右依次向上错开一个孔位，测试插孔两侧为连接测试插孔和射频接头的金属膜信号导线，测试基板背面为金属膜接地面。测试时，通过对待测器件的插取、平移、旋转等一系列操作，完成对集成封装多信道声表面波滤波器组各个滤波信道的直接测试，测试结构紧凑，测试操作方便。
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公开(公告)号：CN108768333A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810535998.3
申请日：2018-05-30
Applicant: 扬州大学
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/02661 , H03H9/0547 , H03H2003/023 , H03H2003/026
Abstract: 本发明涉及一种浮置复合叉指结构及其制备方法，包括基片、第一复合指条组、第二复合指条组、第一汇流电极、第二汇流电极；第一复合指条组包含若干第一复合指条，所述第二复合指条组包含若干第二复合指条；所述各个第一复合指条的金属指外端汇接于第一汇流电极，各个第一复合指条的金属连接指外端汇接于第二汇流电极；所述各个第二复合指条的金属指外端汇接于第二汇流电极，各个第二复合指条的金属连接指外端汇接于第一汇流电极。本发明利用介质延长指替代常规叉指换能器中叉指指条的指端间隙，并使各个复合指条浮置于压电基片表面之上，构成一种复合指条结构，既形成可用于激发或接收声表面波的叉指结构，又便于改变叉指结构中叉指指条的排列周期。
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