公开(公告)号：CN100499366C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200510076089.0

申请日：2005-05-31

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 谷口真司 ,  西原时弘 ,  坂下武 ,  横山刚 ,  岩城匡郁 ,  上田政则 ,  宫下勉

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/54 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/568 ,  H03H3/02 ,  H03H9/173

Abstract: 压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器，其包括：具有平面的器件基板；以及层状体，设置在所述器件基板上，并由下电极、上电极，以及夹在该上电极和下电极之间的压电膜构成。该层状体具有膜部分，其中所述上电极通过所述压电膜与所述下电极彼此重叠，在所述器件基板和所述下电极之间形成向上拱起的穹顶形的间隙，并且该间隙位于该膜部分的下方。

公开(公告)号：CN101064500A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710107701.5

申请日：2007-04-27

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 西原时弘 ,  谷口真司 ,  岩城匡郁 ,  横山刚 ,  坂下武 ,  上田政则 ,  斋藤康之

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/54 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/564 ,  H03H9/568

Abstract: 本发明提供了一种滤波器和双工器，该滤波器包括：压电薄膜谐振器，所述压电薄膜谐振器具有基板、由所述基板支承的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜、以及设在所述压电膜上的上部电极。所述压电薄膜谐振器中的至少一个压电薄膜谐振器具有其中所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。上述部分的形状与其他压电薄膜谐振器的相应部分的形状不同，从而所述压电薄膜谐振器中的上述至少一个压电薄膜谐振器中的寄生成分在与所述其他压电薄膜谐振器中出现寄生成分的频率不同的频率处出现。

公开(公告)号：CN1756076A

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN200510105173.0

申请日：2005-09-28

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 岩城匡郁 ,  堤润 ,  西原时弘 ,  坂下武 ,  谷口真司 ,  横山刚 ,  上田政则 ,  宫下勉

IPC: H03H9/54

CPC classification number: H03H9/564 ,  H03H7/18 ,  H03H7/46 ,  H03H9/0571 ,  H03H9/706

Abstract: 双工器包括：第一和第二滤波器，包括按梯型形式布置的多个膜体声学谐振器；第一和第二集成无源器件，置于公共端子与第一和第二滤波器之间；以及基板，第一和第二滤波器以及第一和第二集成无源器件安装在其上。该基板包括用于实现连接在第一和第二滤波器与地之间的电感的导电图案。第一和第二集成无源器件包括连接到第一和第二滤波器的电感器。

公开(公告)号：CN100505531C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200510117007.2

申请日：2005-10-28

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 堤润 ,  横山刚 ,  坂下武 ,  谷口真司 ,  岩城匡郁 ,  西原时弘 ,  上田政则

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/15 ,  H03H9/54

CPC classification number: H03H9/02149 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/132 ,  H03H9/174 ,  H03H2003/0428

Abstract: 压电薄膜谐振器及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。一种压电薄膜谐振器，其包括：基板；形成在该基板上的下电极；形成在该下电极和基板上的压电薄膜；以及形成在该压电薄膜上的上电极，该压电薄膜部分地插入在彼此相对的下电极和上电极之间。在这种压电薄膜谐振器中，插入在该上电极和下电极之间的压电薄膜的外部周边的至少一部分与由彼此相对的上电极和下电极形成的区域的外部周边相交叠。

公开(公告)号：CN101083460A

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200710105462.X

申请日：2007-05-31

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 谷口真司 ,  横山刚 ,  原基扬 ,  坂下武 ,  堤润 ,  岩城匡郁 ,  西原时弘 ,  上田政则 ,  江原永典

IPC: H03H9/54

CPC classification number: H03H9/605 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02141 ,  H03H9/132 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H2003/021

Abstract: 本发明提供具有多个压电薄膜谐振器的滤波器。所述多个压电薄膜谐振器各自具有：基板、形成在所述基板上的下电极、形成在所述下电极上的压电膜、以及隔着所述压电膜与所述下电极彼此相对地设置在所述压电膜上的上电极。所述多个压电薄膜谐振器包括如下的第一谐振器：所述第一谐振器的所述压电膜的外侧曲部的至少一部分比所述上电极和所述下电极隔着所述压电膜而彼此相对的区域的外侧曲部更靠外。所述多个压电薄膜谐振器包括如下的第二谐振器：所述第二谐振器的所述压电膜的外侧曲部的至少一部分与所述上电极和所述下电极隔着所述压电膜而彼此相对的区域的外侧曲部基本一致，或者比所述区域的外侧曲部更靠内。

公开(公告)号：CN1805276A

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN200610000593.7

申请日：2006-01-11

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 谷口真司 ,  横山刚 ,  坂下武 ,  堤润 ,  岩城匡郁 ,  西原时弘 ,  上田政则

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/132 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/173 ,  H03H2003/021

Abstract: 压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。压电薄膜谐振器包括形成在器件基板上的膜叠层，所述膜叠层包括下电极、设置在器件基板和下电极上的压电膜、以及设置在压电膜上的上电极。上电极和下电极具有从上电极隔着压电膜与下电极交叠处的隔膜延伸的电极引出部分，上电极和下电极的电极引出部分中的至少一个的宽度比该隔膜的宽度窄。