公开(公告)号：CN105716704B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201610255764.4

申请日：2016-04-20

Applicant: 安徽大学

Inventor： 吕亮 ,  向荣 ,  周俊峰 ,  王德辉 ,  俞本立 ,  桂华侨 ,  刘建国 ,  王焕钦 ,  赵云坤 ,  涂郭结 ,  朱军

IPC: G01H9/00 ,  G01B11/02 ,  G01B9/00 ,  G01P3/36 ,  H01S3/08

Abstract: 本发明涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本发明提供一种微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感方法及系统，该方法基于激光自混合干涉测量原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。

公开(公告)号：CN109782298A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201910250708.5

申请日：2016-04-20

Applicant: 安徽大学

Inventor： 吕亮 ,  曹志刚 ,  俞本立 ,  向荣 ,  王德辉 ,  周俊峰 ,  桂华侨 ,  刘建国 ,  王焕钦 ,  张道信 ,  赵云坤

IPC: G01S17/48

Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。