-
公开(公告)号:CN216731893U
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202123213321.4
申请日:2021-12-20
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
IPC: B25J21/02
Abstract: 本实用新型公开了一种手套箱安全保护装置;包括安全保护装置,与手套箱主体和过渡舱分别相连,并对第一密封舱门和第二密封舱门施加使能指令,通过安全保护装置对第一密封舱门和第二密封舱门施加使能指令,使得第一密封舱门和第二密封舱门必须满足特定条件才能开启,使能指令使第一密封舱门只能在过渡舱中的氛围和手套箱主体内的氛围一致时,以及第二密封舱门处于密封关闭时才能开启;使能指令使第二密封舱门只能在第一密封舱门处于密封关闭时才能开启。防止第一密封舱门在以下两个危险情况下误开启:1、在第二密封舱门开启的情况下开启。2、在过渡舱内的气体氛围不能满足手套箱主体要求的情况下开启。确保了设备的运行安全,杜绝安全隐患。
-
公开(公告)号:CN210373846U
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201921274134.7
申请日:2019-08-07
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
IPC: F24F3/14 , F24F3/16 , F24F13/28 , F24F11/89 , F24F13/02 , F24F11/61 , F24F11/64 , F24F11/72 , F24F110/76 , F24F110/70
Abstract: 本实用新型提供一种节能干燥室,包括密闭的工作腔室,在工作腔室上设有进风口和出风口,在工作腔室外部经通风管路将进风口和出风口连接成气体循环回路,在气体循环回路上设有风机、二氧化碳过滤芯、吸湿过滤芯,还包括含氧气源,所述含氧气源经管路将氧气或含氧气体供给到气体循环回路。本实用新型相较现有技术,采用内循环的模式,通过过滤芯不断除去干燥室内工作人员呼出的水汽和二氧化碳,并通过含氧气源进行氧气补给,为干燥室内提供不包含大量水汽的人造新风。极大地降低了干燥室的能源消耗,相比现有技术中自然新风除湿技术,能耗减少85%左右。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号:CN205835428U
公开(公告)日:2016-12-28
申请号:CN201620249503.7
申请日:2016-03-29
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
Inventor: 张德龙
Abstract: 本实用新型公开了一种无尘室循环过滤装置,其包括:过滤单元,其设置于无尘室内,该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方,该板体与过滤单元之间形成第二腔室,该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本实用新型同时还公开了一种无尘室和手套箱。本实用新型与现有技术相比,在简化结构和降低成本的前提下,同样形成了高洁净度的无尘环境,使得洁净度同样可以达到ISO1级。
-
公开(公告)号:CN205796879U
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201620249022.6
申请日:2016-03-29
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
Inventor: 张德龙
Abstract: 本实用新型公开了一种除氮气净化柱,其包括:箱体,其上设置有连通其内部的第一进气口和第二出气口;填料室,其设置于箱体内,填料室的上方和/或下方设置有气流疏导部,填料室内设置有氮气吸附层。本实用新型与现有技术相比,可以解决目前现有钡铝吸气剂、海绵钛吸气剂除氮净化柱装置需要高温及冷却的问题,为一些严苛的高级的或特殊工艺研究或产品保护提供更好的无氮或低氮环境。
-
公开(公告)号:CN205506315U
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201620249021.1
申请日:2016-03-29
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
Inventor: 张德龙
Abstract: 本实用新型公开了一种手套箱手套在线检漏装置,其包括:盖体,其盖合在手套箱的手套口上,盖体与手套口内的手套之间形成腔体;检测单元,其连接腔体,该检测单元检测腔体内的压力和/或气体浓度。本实用新型还公开了一种包括该手套箱手套在线检漏装置的手套箱。本实用新型与现有技术相比,在使用过程中对于手套破漏现象可以在线、快速且便捷地进行检查。同时,手套箱不用时盖体盖在手套口上,手套箱内部压力即使为正压时,手套也不会像吹气球一样鼓在外面,节省了空间,并且在运输时盖上盖体也可以防止手套被磨破。
-
公开(公告)号:CN205495280U
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201620267945.4
申请日:2016-03-31
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
Inventor: 张德龙
Abstract: 本实用新型公开了一种在线更换吸附材料的净化柱,其包括:罐体,其内用于填充吸附材料,罐体上的一端设置为可开启;至少一卸料部,其对接于罐体上,卸料部与罐体之间安装有卸出吸附材料的启闭单元,卸料部内设置有腔室,腔室连通气体置换单元。同时本实用新型还公开了一种手套箱。本实用新型与现有技术相比,有效地解决了现有技术中净化柱更换方式所产生的效率低、制造成本和维护成本高的问题;此外,当将净化柱放在手套箱内部使用时,更换吸附材料可以保证不会泄露手套箱内部的水氧。
-
公开(公告)号:CN216749822U
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202123381140.2
申请日:2021-12-29
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本实用新型涉及了一种半导体用微工厂设备,包括:常压加工设备;常压设备箱体,所述常压加工设备设于所述常压设备箱体中;所述常压设备箱体包括内保护层机构、外保护层机构,所述内保护层机构、所述外保护层机构两者均为设有金属层的绝热保护层结构、且两者之间围设构成气流缓冲层;温度补偿单元,与所述常压加工设备所在的加工区域连接,用于补偿所述加工区域内设备功率变化引起的温度波动;灰尘过滤单元,设于所述常压设备箱体中。通过上述设置,可解决目前半导体工厂中无尘恒温厂房建设投资巨大的问题。
-
公开(公告)号:CN207562622U
公开(公告)日:2018-07-03
申请号:CN201721674250.9
申请日:2017-12-05
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
IPC: B01D53/04
Abstract: 本实用新型提供一种净化柱,包括一壳体,在所述壳体内包括至少一个净化单元,净化单元可装填不同类型净化材料,或者包括多个填充有净化材料的净化子单元,实现多种吸附功能,相当于多柱可串可并,灵活多变以满足现在使用者多样式复杂工艺需求,甚至使用者可以自行根据需求自由选择,安全性经济性更好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号:CN205497537U
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201620239537.8
申请日:2016-03-25
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
IPC: B25J21/02
Abstract: 本实用新型公布了一种可实现三个以上手套箱互联互通的手套箱互联多通仓。其解决的技术问题是目前只有可以将两个手套箱对接传递物品的T型仓,而没有将三个以上手套箱相连接的装置。本手套箱互联多通仓,包括设有三个以上连接口的过渡仓、设于过渡仓内壁上的导轨及可在导轨上移动的托盘。本手套箱互联多通仓可实现三个以上手套箱之间物品的传递,也可实现每个手套箱与外部的传递,且体积小巧、结构简单、成本较低。
-
公开(公告)号:CN216566460U
公开(公告)日:2022-05-20
申请号:CN202123201615.5
申请日:2021-12-17
Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
IPC: B25J21/02
Abstract: 本实用新型公开了一种手套箱,包括手套箱主体和过渡仓,气体纯化器或纯化气体储存装置和气体循环回收装置,与手套箱主体和/或过渡仓连接,用于气体的回收和循环利用。在利用过渡仓将中转物质时,此时过渡仓中会混入外部空气,导致过渡仓中的气体氛围不符合手套箱主体内部的实验要求,因此必须进行反复清洁,直到过渡仓中的气体氛围符合要求后,才能打开第一密封舱门。用于清洁的纯化气体,都被直接排放。因此使用成本高。本实用新型创造性的将清洁过后的高浓度低杂质的气体进行回收,在对过渡仓进行清洁时,前几次的清洁使用高浓度低杂质的回收气体进行清洁,再使用纯化气体进行最后的清洁,这样减少纯化气体的消耗,实现降本增效。
-
-
-
-
-
-
-
-
-