楔形透镜大口径光学聚焦与频率转换系统的离线装校平台

    公开(公告)号:CN103235418A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310155858.0

    申请日:2013-04-28

    Abstract: 楔形透镜大口径光学聚焦与频率转换系统的离线装校平台,它涉及一种离线装校平台。本发明为了实现使用楔形透镜的大口径光学聚焦与频率转换系统的精准离线装校的问题。本发明的支撑平台和普通光学平台并列设置在实验地基上,重力补偿模块和基准模块分别设置在支撑平台的首端和末端,光学聚焦与频率转换系统的一端设置在重力补偿模块上,光学聚焦与频率转换系统的另一端与基准模块连接,第一内调焦望远镜调整座和第二内调焦望远镜调整座由左至右依次设置在普通光学平台上,第一内调焦望远镜设置在第一内调焦望远镜调整座上,第二内调焦望远镜设置在第二内调焦望远镜调整座上。本发明用于光学聚焦和频率转换系统的离线装校。

    一种大口径透镜的在线拆装快速定位锁紧机构

    公开(公告)号:CN103207436A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201310156288.7

    申请日:2013-04-28

    Abstract: 一种大口径透镜的在线拆装快速定位锁紧机构,它涉及一种透镜定位锁紧机构。本发明为了解决大口径楔形透镜在线快速更换,避免大口径光学聚焦与频率转换系统动用大型机械设备整体拆卸,效率低的问题。透镜移动框体顶板、底板和侧板围合形成透镜移动框体,透镜移动框体镶合件连接在透镜移动框体侧板上,透镜移动框体顶板和底板上设置有聚焦透镜导向板,楔形透镜定位框的棱角处设置有透镜定位角,大口径透镜通过设置在透镜卡座上的透镜卡紧座板固定在楔形透镜定位框中;楔形透镜定位框的上下侧面上设置有透镜组件拆装导向轴承组,透镜组件拆装导向轴承组与移动框体组件接触,透镜组件以聚焦透镜导向板为导向插装在移动框体组件内。本发明用于大口径透镜的在线拆装快速定位锁紧。

    一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置

    公开(公告)号:CN103197397A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310126855.4

    申请日:2013-04-13

    Abstract: 本发明提供了一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置,属于光栅拼接的调整装置技术领域。本发明为了解决现有的光栅姿态调整装置驱动刚度低、系统刚度低和整体稳定性差的问题。所述偏摆调整组件位于俯仰面内组件之上,偏摆调整组件的偏摆调整底板与俯仰面内组件的偏摆托框相固接,俯仰面内组件位于平动驱动组件之上,外框组件与平动导轨连接板一、平动导轨连接板二、平动导轨连接板三和平动导轨连接板四固接,平动驱动弯板与外框组件固接。本发明采用了三层结构实现了光栅整体的四个自由度的复合调整,解决了光栅调整架高度受限的问题。采用柔性驱动方式,各个自由度有较大的运动范围,具有结构紧凑、调整精度高和稳定性强等优点。

    高精度大口径光栅五自由度拼接精度的测量方法

    公开(公告)号:CN106932173B

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201710222479.7

    申请日:2017-04-06

    Abstract: 本发明公开了一种高精度大口径光栅五自由度拼接精度的测量方法,所述方法步骤如下:一、光栅三维转动精度的测量:将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处,根据拼接光栅产生的零级反射光和一级衍射光获得待拼接光栅的三维转动拼接精度:俯仰角θx、偏转角θy、旋转角度θz;二、光栅二维平动精度的测量:将俯仰角θx、偏转角θy以及旋转角度θz调整至合格范围,将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处,根据拼接光栅产生的零级反射光的远场焦斑能量比值测量光栅的二维平动精度。本发明具有测量精度高、各自由度间耦合度弱、操作简便、能够有效地提高光栅的拼接效率和拼接精度等优点,可用于拼接光栅的空间五自由度拼接精度测量。

    一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置

    公开(公告)号:CN106498367B

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201610920789.1

    申请日:2016-10-21

    Abstract: 一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置。属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。为了解决真空条件下CVD金刚石薄膜在微刀具上的沉积问题。壳体上下端分别与上盖和底座可拆卸密封连接构成反应室,真空计固定在上盖上,真空计的检测端紧密穿入上盖设置在壳体内,上盖上固定有与壳体内腔相通的管路,针阀固定在上盖的管路上,针阀与管路相通,上盖的观察孔一处固定有观察窗一,上盖上设有多个冷水环槽,壳体的侧壁上的两个观察孔二处各固定有一个观察窗二,电磁阀固定在底座的进气孔处,导气管一端连接于进气箱,另一端与反应室相通,导气管上安装有导气阀门,载物台设置在反应室内并固定在底座上。本发明主要用于对沉积件微刀具表面金刚石薄膜沉积。

    一种轴向充磁的真空洁净电机

    公开(公告)号:CN105871146B

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201610182738.3

    申请日:2016-03-28

    Abstract: 本发明提供了一种轴向充磁的真空洁净电机,属于真空洁净电机技术领域。本发明所述电机前端盖安装在电机机壳的前端,电机后端盖安装在电机机壳的后端,电机转子轴的大部设置在电机机壳内,电机转子轴的后端与电机后端盖之间由一个陶瓷深沟球轴承转动连接,电机转子轴的前部与电机前端盖之间由另一个陶瓷深沟球轴承转动连接,电机前端盖和电机后端盖之间的电机转子轴上设有四个转子轭和两个永磁体,每两个转子轭之间设有一个永磁体,中间的两个相邻的转子轭中间设有一个转子挡圈,最后端的转子轭的外壁与电机转子轴之间设有弹簧卡圈,电机机壳内固定有定子冲片,定子冲片由定子冲片铆钉连接为一个整体。

    大口径光学元件的悬挂式在线拆装装置及拆装方法

    公开(公告)号:CN105093466B

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:CN201510639641.6

    申请日:2015-09-30

    Abstract: 大口径光学元件的悬挂式在线拆装装置及拆装方法,它涉及一种在线拆装装置及拆装方法。本发明解决了现有的大口径光学元件的悬挂式在线拆装方法存在拆装维护时间长、装置运行效率低的问题。支撑架侧板、法兰面接口板和支撑架顶板两两相互垂直固装形成支撑架体,支撑架侧板和法兰面接口板均竖直设置,第一微调机构和第二微调机构上下对应设置在支撑架侧板上,第三微调机构固装在支撑架顶板的上端面上,第一起吊装置固装在支撑架顶板的上端面上,第二起吊装置固装在支撑架侧板的下部,且第二微调机构与第二起吊装置位于支撑架侧板的同侧。本发明用于大口径光学元件的悬挂式在线拆装。

    大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置

    公开(公告)号:CN106067327A

    公开(公告)日:2016-11-02

    申请号:CN201610352556.6

    申请日:2016-05-25

    CPC classification number: G12B5/00

    Abstract: 大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置,目的是为解决大口径光栅拼接无法实现纳米级精度多自由度解耦调整的问题。多自由度的调整由三个运动平台实现,柔性支柱与两个压电陶瓷驱动器一连接着第一、二平台,两个压电陶瓷驱动器一的伸缩各控制着第一平台的X、Y方向的转动;第二平台通过两个弹性片簧和两个压电陶瓷驱动器二与第三平台连接,第二平台内悬浮于第三平台内,两个压电陶瓷驱动器二可以调节X方向平动和Z方向转动;第三平台与大理石底座之间有一个压电陶瓷驱动器三负责Y方向平动。本发明能实现光栅在‑0.05~+0.05mm超短行程范围内的精密调整,并能实现光栅10纳米的平动拼接精度。本发明用于大口径光栅拼接的高精度多自由度解耦调整。

    一种宏微结合驱动的阵列式光栅拼接调整装置

    公开(公告)号:CN105929516A

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201610541867.7

    申请日:2016-07-11

    CPC classification number: G02B7/00

    Abstract: 一种宏微结合驱动的阵列式光栅拼接调整装置,属于光栅高精度拼接调整装置技术领域。微动组件一与二相对于YZ面对称设置,微动组件一与二与底座上表面固接,微动组件三和四与底座的回字形槽固接,宏动驱动组件一与二与底座的上表面固接,宏动驱动组件一及二与微动组件一及二固接,宏动驱动组件三及四与底座的两个安装孔固接,宏动驱动组件三及四与微动组件三及四固接,四个过渡连接板与四个微动组件中的过渡框一一对应设置且分别固接,四个过渡连接板与四个光栅一一对应,四个光栅与多个光栅压块固接,多个光栅压块通过多个连接螺钉与对应的过渡连接板可拆卸固定连接。该装置能够实现四块光栅阵列式的拼接,具有很高的刚度、定位精度和总体稳定性。

    一种轴向充磁的真空洁净电机

    公开(公告)号:CN105871146A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610182738.3

    申请日:2016-03-28

    CPC classification number: H02K21/14 H02K1/2713 H02K5/1732 H02K2213/03

    Abstract: 本发明提供了一种轴向充磁的真空洁净电机,属于真空洁净电机技术领域。本发明所述电机前端盖安装在电机机壳的前端,电机后端盖安装在电机机壳的后端,电机转子轴的大部设置在电机机壳内,电机转子轴的后端与电机后端盖之间由一个陶瓷深沟球轴承转动连接,电机转子轴的前部与电机前端盖之间由另一个陶瓷深沟球轴承转动连接,电机前端盖和电机后端盖之间的电机转子轴上设有四个转子轭和两个永磁体,每两个转子轭之间设有一个永磁体,中间的两个相邻的转子轭中间设有一个转子挡圈,最后端的转子轭的外壁与电机转子轴之间设有弹簧卡圈,电机机壳内固定有定子冲片,定子冲片由定子冲片铆钉连接为一个整体。

Patent Agency Ranking