高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置

    公开(公告)号:CN102853769B

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201210346842.3

    申请日:2012-09-19

    Abstract: 高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域;本发明采用了空间分离的参考光和测量光,并进行测量光路平衡性设计,同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号,并根据被测目标的运动方向和速度,选择性使用两测量信号来进行干涉测量;本发明不仅减小了温度变化对测量的影响,而且消除了干涉仪中的频率混叠现象,提高了外差干涉测量的测量精度;同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。

    回位补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置

    公开(公告)号:CN103528507B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201310475601.3

    申请日:2013-10-11

    Inventor: 胡鹏程 谭久彬

    Abstract: 回位补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔,四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置;标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小,标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近;微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值,对目标反射镜衍生位移进行实时回位补偿,使目标反射镜反射面上测量光束的入射位置不发生变化。

    双光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置

    公开(公告)号:CN103499285B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201310475556.1

    申请日:2013-10-11

    Inventor: 胡鹏程 谭久彬

    Abstract: 双光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔,被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处;标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小,两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布,使两条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中,保证线位移测量值的准确性。

    基于可溯源同步测尺的双纵模激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104166131A

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201410263633.1

    申请日:2014-06-14

    CPC classification number: G01S11/12

    Abstract: 基于可溯源同步测尺的双纵模激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和双纵模稳频He-Ne激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差φ1和φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾大功率、多测尺同步性与可溯源性的激光测距装置与方法的问题,具有测距精度高、测量效率高、稳定性和实时性强的特点。

    高精度同步混合外差式相位激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104155643A

    公开(公告)日:2014-11-19

    申请号:CN201410263609.8

    申请日:2014-06-14

    CPC classification number: G01S11/12

    Abstract: 高精度同步混合外差式相位激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和双纵模稳频He-Ne激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾多测尺的同步性和可溯源性的装置与方法的问题,具有测距精度高、测量效率高、稳定性和实时性强的特点。

    基于热稳频和声光移频的双纵模激光器互锁方法和装置

    公开(公告)号:CN104078831A

    公开(公告)日:2014-10-01

    申请号:CN201410308324.1

    申请日:2014-07-01

    Abstract: 基于热稳频和声光移频的双纵模激光器互锁方法和装置属于激光应用技术领域,本发明采用声光移频技术将多台基于热稳频的双纵模激光器的输出激光频率锁定于同一台参考双纵模稳频激光器的输出激光频率上,从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值,目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足,为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。

    基于热电制冷和声光移频的纵向塞曼激光锁频方法和装置

    公开(公告)号:CN104051942A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201410308252.0

    申请日:2014-07-01

    Abstract: 基于热电制冷和声光移频的纵向塞曼激光器互锁方法和装置属于激光应用技术领域,本发明采用声光移频技术将多台基于热电制冷的纵向塞曼激光器的输出激光频率锁定于同一台参考纵向塞曼稳频激光器的输出激光频率上,从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值,目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足,为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。

    基于压电效应和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置

    公开(公告)号:CN104037611A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410308376.9

    申请日:2014-07-01

    Abstract: 基于压电效应和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置属于激光应用技术领域,本发明采用声光移频技术将多台基于腔长压电调节的横向塞曼激光器的输出激光频率锁定于同一台参考横向塞曼稳频激光器的输出激光频率上,从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值,目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足,为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。

    基于压电效应和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置

    公开(公告)号:CN104037607A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410308271.3

    申请日:2014-07-01

    Abstract: 基于压电效应和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置属于激光应用技术领域,本发明采用声光移频技术将多台基于腔长压电调节的单纵模激光器的输出激光频率锁定于同一台参考单纵模稳频激光器的输出激光频率上,从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值,目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足,为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。

    抗多频混叠的可溯源同步测尺双光源激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104035088A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410263637.X

    申请日:2014-06-14

    CPC classification number: G01S11/12

    Abstract: 抗多频混叠的可溯源同步测尺双光源激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和双纵模稳频He-Ne激光器与半导体激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了超长波长和超短波长的不能同步产生,激光测尺不可直接溯源和非线性周期误差和频率混叠的问题,具有测量效率高、精度高、稳定性和实时性强的特点。

Patent Agency Ranking