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公开(公告)号:CN110978306A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201911339983.0
申请日:2019-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于KDP晶体专用卧式飞切机床的油液冷却机构,它属于机械设备领域,具体涉及一种油液冷却装置。本发明的目的是要解决传统的KDP飞切机床在使用过程中没有冷却系统,导致使用干式切削加工KDP晶体时降低工件的表面质量的问题。油液冷却机构包括机床基体保护装置和冷却油输送装置;所述机床基体保护装置包括上油箱防护体、下油箱防护体、2个“L”形上连接板和2个“L”形下连接板;所述冷却油输送装置包括挡油板、储油腔和固定板。优点:实现油润辅助飞切加工KDP晶体,提高加工效率与加工质量。本发明主要用于加工KDP晶体。
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公开(公告)号:CN109341889A
公开(公告)日:2019-02-15
申请号:CN201811340196.3
申请日:2018-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的环抛加工中光学元件内部温度的测量方法涉及一种光学元件的温度测量方法,目的是为了克服环抛加工过程中光学元件内部温度分布无法准确获得的问题,具体步骤如下,步骤一、预先设置温度采集孔;步骤二、开启环形抛光机床并测量温度。本发明针对环抛加工中难以测量加工面温度的难题,根据玻璃元件内部温度单一方向均匀分布的特点,得到完整的矩形玻璃元件内部温度分布数据;通过本发明方法获得玻璃元件尤其时矩形玻璃元件的内部温度分布,进而可以推测加工时玻璃元件受热的形状变化过程,从而可以对环抛工艺参数加以调整来实现矩形玻璃元件的确定性控制。
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公开(公告)号:CN105108649B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201510523227.9
申请日:2015-08-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种非接触式金属基圆弧砂轮的圆弧廓形及半径在位检测方法及实现该方法的装置,涉及磨削加工领域中的金属基圆弧砂轮廓形和半径的在位检测技术。它为了解决常规的接触式检测方法在检测过程中会对砂轮造成接触干扰,导致检测结果不准确的问题。本发明采用步进电动机控制电涡流传感器沿平行于金属基圆弧砂轮的旋转轴线方向匀速运动,电涡流传感器在运动过程中测量其测头与金属基圆弧砂轮表面的距离,并将检测数据通过数据采集卡发送给计算机,计算机对数据进行计算处理得到金属基圆弧砂轮的廓形和半径。本发明的检测方法属于非接触检测,不会对砂轮造成接触干扰,检测结果精确,且耐油污、尘埃及湿度,对磨削液沾湿的砂轮也可检测,检测迅速、方便。
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公开(公告)号:CN106316468A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201610629882.7
申请日:2016-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01Q60/24 , C04B41/5346 , C04B41/91 , G01Q70/16
Abstract: 采用AFM金刚石探针对陶瓷材料进行纳米条纹阵列加工的方法,它涉及一种对超硬陶瓷材料局部进行超细纳米条纹阵列结构加工的方法。本发明是为了解决超硬陶瓷材料化学惰性高、硬度大,难加工的技术问题。本方法如下:一、制备AFM金刚石针尖;二、AFM金刚石针尖对超硬陶瓷材料(SiC单晶)表面刻划。本发明是一种对超硬陶瓷材料进行超细纳米条纹阵列结构加工的方法,能直观地观察金刚石晶体对超硬陶瓷材料的刻划情况,在超硬陶瓷材料表面刻划出超细纳米条纹阵列(条纹宽度低至15nm),具有重复性好、效率高等优点。本发明属于对超硬陶瓷材料进行超细纳米条纹阵列结构加工的领域。
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公开(公告)号:CN103481106B
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201310282090.3
申请日:2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超精密飞切加工机床的压电陶瓷式微进给装置,本发明涉及一种压电陶瓷式微进给装置。本发明为解决现有的KDP晶体超精密飞切加工机床刀架进给分辨率不足、调节不便、严重影响加工精度以及目前普遍使用的柔性铰链元件刚度低不适用于高速飞切机床的问题。本发明的进给轴加工有薄壁空腔,在其底部形成弹性薄膜,压电陶瓷致动器通过两个半圆体钢球安装在预紧螺钉与弹性膜之间,并通过滑环与驱动电源连接。粗调螺母安装在螺母安装孔内,进给轴依次穿过轴孔和粗调螺母,预紧螺钉插入进给轴的盲孔内与内螺纹螺纹连接,进给轴的位于薄壁空腔的一端外壁上安装有刀具基座。本发明用于KDP晶体超精密飞切加工机床上刀具的微进给。
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公开(公告)号:CN105522237A
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201610081907.4
申请日:2016-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种反应烧结SiC陶瓷磨削过程中的金属基砂轮在线电火花修锐方法,本发明涉及工程陶瓷精密磨削加工领域,具体涉及反应烧结SiC陶瓷镜面精密成形磨削过程中的金属基砂轮修锐方法。本发明目的是要解决现有在线修锐方法需要专用修锐装置,安装时需要对机床进行改造,且腐蚀性的工作液对机床维护与保养不利的问题。在线电火花修锐方法:以金属基砂轮和反应烧结SiC陶瓷作为火花放电的两个电极,以脉冲电源作为火花放电的电源,以乳化溶液作为电火花放电的介质溶液,通过脉冲电源的脉冲电流在介质溶液中的火花放电作用,实现反应烧结SiC陶瓷磨削过程中的金属基砂轮在线电火花修锐。本发明主要用于反应烧结SiC陶瓷的精密磨削加工。
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公开(公告)号:CN103522190B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201310532718.0
申请日:2013-10-31
IPC: B24B53/06
Abstract: 一种圆弧金刚石砂轮电火花与机械复合修整装置,它涉及一种金刚石砂轮修整装置,以解决现有的圆弧金刚石砂轮用修整设备功能单一,修整效率较低以及修整成本较高的问题,它包括第一电机、第一蜗轮蜗杆减速机、第二电机、第二蜗轮蜗杆减速机、机座、支座、丝杠、固定架、砂轮轴、第三电机、绝缘垫木、带轮、传动带、第一旋拧件、第二旋拧件、弹簧、碳刷、高频脉冲电源和修整轮;第一蜗轮蜗杆减速机安装在机座上,支座的上端安装有第二蜗轮蜗杆减速机,第一旋拧件穿设在第二旋拧件内且第一旋拧件能沿第二旋拧件的轴向往复运动,第一旋拧件与弹簧的一端连接,碳刷与弹簧的另一端连接。本发明用于圆弧金刚石砂轮的修整。
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公开(公告)号:CN103335783B
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201310268076.8
申请日:2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/14
Abstract: 一种超精密直驱式静压主轴动平衡方法,它涉及一种静压主轴动平衡方法。为解决现有方法不能实现超精密静压主轴转子的精密动平衡问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面,将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准,采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与高精度位移传感器之间的位移变化,通过传感器信号放大器放大成0-10V的信号后输入动平衡仪,同时将光电测速仪测得的主轴转速信息输入动平衡仪,通过动平衡仪对所测得的信息进行处理得到转子不平衡质量和相位,在动平衡盘上根据动平衡仪指示的相位加入所需的平衡质量块。保证了主轴旋转中心同测量基准球的旋转中心能够很好重合,消除了安装误差对测量结果造成的影响。
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公开(公告)号:CN104992900A
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201510354321.6
申请日:2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/033 , H01L33/20
CPC classification number: H01L21/0337 , H01L33/20
Abstract: α-Al2O3单晶表面SiO2掩膜的制作方法,它涉及一种单晶表面SiO2掩膜的制作方法。本发明是要解决光刻工艺制备SiO2掩膜步骤复杂,成本高,导致现有α-Al2O3单晶表面SiO2掩膜难以在α-Al2O3上制备的问题。方法:一、预处理;二、将分散了SiO2球的无水乙醇滴加于α-Al2O3单晶表面;三、将经步骤二处理后的α-Al2O3单晶置于室温下5min,然后放置于管式炉中处理,即完成α-Al2O3单晶表面SiO2掩膜的制作。本发明的能简单地在α-Al2O3单晶表面制备SiO2掩膜,且可得到微米级六边形SiO2掩膜和纳米级半球形SiO2掩膜,该制备方法重复性好。制备的SiO2掩膜设备简单,操作方便,易于掌握,过程安全、无污染。本发明属于掩膜的制备领域。
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公开(公告)号:CN103331829B
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201310282108.X
申请日:2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于KDP晶体超精密飞切加工机床的机械式微进给刀架,本发明涉及一种机械式微进给刀架,本发明为解决现有KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给装置进给分辨率不足,不能精确调节进给量而影响加工精度,以及其它机械式微量进给装置亦不适用于KDP晶体超精密飞切加工机床的问题。本发明粗调部分和精调部分串联设置,粗调采用丝杆螺母机构,精调采用微分头驱动斜面机构。进给轴小端由精密外螺纹同粗调螺母配装,主动楔和从动楔分别设置于大端通槽和盲孔内,主动楔由微分头和回复弹簧在两端将其压紧;从动楔和夹刀块固接,支承弹簧套装在其外一同置于大端盲孔内由端盖压紧。本发明用于实现KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给。
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