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公开(公告)号：CN109990732A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910316312.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学 , 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种横向相减激光差动共焦曲率半径测量方法。该方法将差动共焦探测器中焦前焦后两路探测器探测到的光斑分别采用不同大小虚拟针孔进行横向相减得到锐化后的横向相减共焦响应曲线，将两路横向相减共焦响应曲线差动相减后得到横向相减差动共焦响应曲线，根据横向相减差动共焦响应曲线的过零点精确确定被测球面的“共焦”位置和“猫眼”位置，得到被测球面曲率径的精确值。本发明中横向相减激光差动共焦的光强响应曲线过零点附近的斜率大于传统的差动共焦光强响应曲线，因而定焦灵敏度高，测量精度得到提高，并且抗环境干扰能力强。本方法测量精度高，抗表面散射和环境干扰能力强。
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公开(公告)号：CN109959344A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201910176046.1
申请日：2019-03-08
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的激光差动共焦原子力核聚变靶丸表面轮廓测量方法与装置，属于共焦显微成像、原子力显微成像及激光惯性约束核聚变技术领域。本发明将激光差动共焦技术与原子力探针扫描探测技术结合，利用激光差动共焦技术对激光聚变靶丸表面和球心位置进行精密定焦获得靶丸外径，利用原子力探针对靶丸表面轮廓进行横向高分辨的扫描，通过激光差动共焦技术监测原子力探针的轴向位置从而实现对靶丸表面轮廓的高分辨探测，并进一步通过正交回转驱动技术对靶丸进行三维回转驱动获得靶丸的表面三维高度分布，实现核聚变靶丸表面轮廓的高分辨探测。本发明能够在激光惯性约束核聚变、高能物理和精密检测领域有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109883342A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910319379.5
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/14
Abstract: 本发明公开的横向相减差动共焦镜组间隙测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测镜组间隙测量时各顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿计算精确得到镜组间隙，实现镜组间隙的高精度测量。本发明与镜组间隙测量方法相比，具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109883340A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910316789.4
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开的横向相减差动共焦透镜中心厚度测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测透镜中心厚度测量顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿精确得到透镜的中心厚度，实现透镜中心厚度的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109444110A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811344960.4
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及差动共焦Raman-LIBS光谱探测的飞秒激光加工监测融合方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工制造技术领域。本发明将高轴向分辨的激光差动共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用差动共焦系统曲线零点对样品轴向位置进行纳米级原位监测和样品轴向加工尺寸测量，解决了测量过程中的漂移问题和高精度在线检测问题；利用差动共焦拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109211873A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811343472.1
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及后置分光瞳激光差动共焦拉曼光谱测试方法及装置，属于显微光谱成像技术领域。本发明通过共焦拉曼光谱探测系统中遗弃的瑞利散射光构建分光瞳差动共焦显微成像系统，实现样品几何形貌的高空间分辨探测；利用分光瞳差动共焦显微成像系统获得的焦点位置来精确获取样品焦点处的拉曼光谱信息，进而实现“图谱合一”的分光瞳差动共焦拉曼光谱高空间分辨成像与探测。本发明具有定位精确，高空间分辨以及光谱探测灵敏度高等优点，可广泛引用于生物医学、物理化学、精密测量、飞秒激光加工等领域中。
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公开(公告)号：CN109187729A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811344875.8
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及后分光瞳共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域，可用于复杂微细结构的飞秒激光加工与形态性能综合参数原位检测。本发明将后置分光瞳激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用后置分光瞳共焦系统对样品轴向位置进行高精度原位在线监测和样品轴向加工尺寸测量；利用拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块和质谱仪对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。
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公开(公告)号：CN109187728A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811344627.3
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的分光瞳共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域，分光瞳共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测用于飞秒激光加工与在线监测和物性综合参数在线检测。本发明将分光瞳激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用分光瞳共焦系统对样品轴向位置进行高精度原位在线监测和样品轴向加工尺寸测量；利用拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块和质谱仪对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量。
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公开(公告)号：CN109187725A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811344180.X
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工制造技术领域。本发明将激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用差动共焦系统曲线峰值点对样品轴向位置进行高精度原位监测和样品轴向加工尺寸测量，解决了测量过程中的样品漂移问题和高精度在线检测问题；利用拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块和质谱仪对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。
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公开(公告)号：CN109187722A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811343403.0
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的后置分光瞳激光共焦拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置，属于共焦显微成像、光谱成像及质谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光共焦显微成像技术与光谱、质谱探测技术结合，利用经超分辨技术处理的后置分光瞳共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用光谱探测系统对聚焦光斑激发拉曼光谱进行微区光谱探测，利用质谱探测系统对样品微区带电分子、原子等进行质谱探测，利用激光多谱探测的优势互补和结构融合实现样品微区完整组分信息与形貌参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。本发明可为生物医学、材料科学等领域物质组分及形态成像探测提供一条全新的有效技术途径。
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