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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103017946A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210518572.X
申请日：2012-12-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式多轴力传感器及其制备方法。本发明的多轴力传感器包括：衬底、悬臂梁和压阻条；其中，悬臂梁的一端通过锚点固定在衬底，另一端悬空；压阻条设置在悬臂梁的垂直面和平行面上，为一体的压阻条。本发明由于采用斜注入的方法制备压阻条，在悬臂梁的垂直面和水平面同时制备形成一体的压阻条，使得在施加一定微作用力时，悬臂梁通过横向和垂向的敏感弯曲，弯曲时电阻值的变化间接反映了来自于垂直方向和水平方向的微作用力的情况。从而在系统体积比较小的情况下可以测量较精确的多方向的微作用力，是一种体积相对较小、灵敏度高的传感器，在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN102298073A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201110145926.6
申请日：2011-06-01
Applicant: 北京大学
IPC: G01P15/097 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种MEMS微加速度传感器及其应用，属于半导体制造技术领域。本发明微加速度传感器包括：敏感质量块、横梁、横梁上的压阻、金属连线、亚焊点及硅衬底，敏感质量块与横梁固定，横梁作为敏感质量块的支撑臂位于加速度传感器的中轴位置，该横梁的底部固定在衬底上。根据本发明设计的微加速度传感器，由于敏感质量块位于横梁两端，使得在施加一定加速度a时，系统通过敏感质量块上下振动，间接增大了敏感质量块的质量M，使得灵敏度S提高，从而在系统体积V比较小的情况下可以测量较高的g值，实现高灵敏度加速度传感器的测量。
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公开(公告)号：CN101148427B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200710175915.6
申请日：2007-10-16
Applicant: 北京大学
IPC: C07C303/14 , C07C309/24 , C07C309/19
Abstract: 本发明提供了一种取代牛磺酸的制备方法：以邻氨基醇为原料经硫酸酯化和亚硫酸盐或亚硫酸氢盐取代得到取代牛磺酸。该制备方法原料简单易得，操作方便，特别适合于大规模的工业化生产，并可用于光学活性取代牛磺酸的制备。所得到的化合物可以作为营养物质、药物、酶抑制剂、抗菌剂、表面活性剂、植物生长调节剂、制备磺酰肽的原料等。
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公开(公告)号：CN1431470A
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：CN03104785.8
申请日：2003-02-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明的提供了一种压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法。芯片周边为硅框架，中心为一带穿通图形的硅膜片，膜片中心的多孔区构成了一个网状结构拉住四块应变膜片，四块应变膜片用于设置两对垂直摆放的应变电阻。芯片制备方法是以常规压阻式压力计的芯片为基片，一次光刻制备出穿通膜片图形的掩膜，之后在进行高深宽比硅刻蚀来形成穿通的膜片结构。本发明还提供了采用所述芯片的微型气体流量计，是将芯片粘片在衬底打孔的TO管壳封装后作为流量计使用，或者采用专用的塑料封装方式。由于采用了MEMS技术，本发明的微型气体流量计具有体积小、结构简单、精度高、输出信号处理容易、适合于大批量低成本的制造等特点。
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