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公开(公告)号:CN114597436A
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202210311073.7
申请日:2022-03-28
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: H01M8/0202
Abstract: 本发明属于燃料电池金属双极板领域,尤其涉及一种用于金属双极板的防护涂层及其制备方法。所述防护涂层覆盖于金属双极板基体表面,所述防护涂层包括过渡层和非晶碳层,所述非晶碳层覆盖于所述过渡层,所述过渡层与金属双极板基体结合,所述过渡层的组分包括Ti和Cr中至少一种。过渡层的设计可提高金属双极板表面防护涂层的结合可靠性,非晶碳层导电性和耐腐蚀性良好,且能解决金属双极板表面氧化导致导电性变差的问题,最终能够使金属双极板的平均腐蚀电流密度小于0.03μA/cm2(恒电位极化0.6V下保持24小时)、界面接触电阻小于2mΩ·cm2(1.4MPa下)。
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公开(公告)号:CN108707863A
公开(公告)日:2018-10-26
申请号:CN201810369646.5
申请日:2018-04-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种阻性类金刚石碳基薄膜材料的制备方法,该方法适合于采用非平衡直流磁控溅射沉积技术在微结构气体探测器电极基体表面依次通过高能等离子体轰击、刻蚀和溅射高纯石墨靶材而制备类金刚石碳基薄膜材料。通过本发明方法不仅可以制备出厚度均匀性好、膜基结合力强的类金刚石碳基薄膜材料,同时可以调控类金刚石碳基薄膜的面电阻率。本发明方法所制备的阻性类金刚石碳基薄膜材料适合用于制作微结构气体探测器的阻性电极,具有很好的应用前景和价值。
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公开(公告)号:CN105779946B
公开(公告)日:2018-02-27
申请号:CN201410792168.0
申请日:2014-12-19
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种轴承球滚动体全表面润滑耐磨涂层的批量制备方法,该方法将滚动体放入镀膜支撑装置中,采用物理气相沉积技术在轴承球滚动体(钢球、陶瓷球)全表面镀制薄厚均一、性能优良的润滑耐磨涂层,镀膜支撑装置包括其形状为空心圆柱体的不锈钢网子和置于网子轴线上的作为网子转动轴的不锈钢丝杠,不锈钢丝杠通过齿轮与真空腔体内的转动架相连,网子在真空腔体内做匀速转动,滚动体在网子中做自由滚体运动。与现有技术相比,本发明具有能进行批量稳定制备的优点,并且制备出的涂层具有硬度高、韧性好、减摩、耐磨性好等优点,提高了滚珠轴承的质量和性能。
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公开(公告)号:CN102994967B
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201110274370.0
申请日:2011-09-17
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种超厚类金刚石涂层的超高速制备方法。该方法利用等离子体浸没离子注入和高密度等离子体化学气相沉积一体化技术,在不锈钢、铝合金、钛合金、铜、陶瓷等各种试样基底上实现超厚类金刚石涂层的超高速沉积,沉积速率达到80~140nm/min。首先对试样基底实施硅或氮元素浸没离子注入,然后在硅烷、乙炔和氩气混合气氛中,利用高密度等离子体效应交替沉积周期变化硅含量的类金刚石涂层,最终可在试样基底上获得8~30微米厚的超厚类金刚石涂层。本发明获得的超厚类金刚石涂层具有高的膜基结合强度,低摩擦系数和长寿命特性。
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公开(公告)号:CN115948712B
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202211645091.5
申请日:2022-12-21
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及挠性覆铜板技术领域,尤其涉及一种挠性覆铜板的制备方法。本发明提供了一种挠性覆铜板的制备方法,包括以下步骤:采用高能量非金属离子束,对聚合物薄膜的表面进行刻蚀活化,得到活化后的聚合物薄膜;采用磁控溅射,在所述活化后的聚合物薄膜的表面注入金属离子,得到聚合物‑金属互穿网络结构界面;在所述聚合物‑金属互穿网络结构界面沉积铜薄膜,在沉积铜薄膜的同时,采用间歇性Ar+轰击所述铜薄膜。所述制备方法可以显著提高挠性覆铜板表层铜薄膜与聚合物基材之间的剥离强度。
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公开(公告)号:CN119221066A
公开(公告)日:2024-12-31
申请号:CN202311653362.6
申请日:2023-12-04
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种铝涂层表面微通道的构筑方法、其阳极氧化电解液及应用。所述阳极氧化电解液的溶质包括成膜剂、成膜促进剂以及成膜辅助剂;所述成膜剂包括强碱,所述成膜促进剂包括碱金属焦磷酸盐和/或碱金属多聚磷酸盐,所述成膜辅助剂包括碱金属弱酸盐。所述构筑方法包括:使铝表面与上述阳极氧化电解液接触;以所述铝表面作为阳极,对所述铝表面施加电流进行阳极氧化,形成微通道。本发明所提供的阳极氧化电解液及铝表面微通道的构筑方法通过强碱性电解质的电解氧化作用,能够在铝表面形成有序、连续、密集且完整的微通道孔结构,形成极其适用液体在表面沸腾传热的微观结构,从而显著提高了铝表面的沸腾传热效率。
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公开(公告)号:CN116855906A
公开(公告)日:2023-10-10
申请号:CN202310778776.5
申请日:2023-06-28
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用。所述周期弥散强化纳米多层碳基薄膜包括粘结层、过渡层以及强化层;粘结层包括粘结金属;过渡层包括粘结金属以及非晶碳;强化层包括周期性的第一亚层和第二亚层;第一亚层包括非晶碳;第二亚层包括非晶碳和掺杂相,掺杂相包括碳化物和/或氮化物,并周期性弥散镶嵌于所述第二亚层中。本发明提供的周期弥散强化纳米多层碳基薄膜有效降低了薄膜内应力并大幅提升了薄膜的韧性与机械性能,可有效改善碳基薄膜的热稳定性及其高温抗氧化性能,服役温度提高至550℃以上;本发明所提供的制备方法所采用的沉积工艺简单、易操控且成本低廉,有利于工业化应用。
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公开(公告)号:CN114597436B
公开(公告)日:2023-06-16
申请号:CN202210311073.7
申请日:2022-03-28
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: H01M8/0202
Abstract: 本发明属于燃料电池金属双极板领域,尤其涉及一种用于金属双极板的防护涂层及其制备方法。所述防护涂层覆盖于金属双极板基体表面,所述防护涂层包括过渡层和非晶碳层,所述非晶碳层覆盖于所述过渡层,所述过渡层与金属双极板基体结合,所述过渡层的组分包括Ti和Cr中至少一种。过渡层的设计可提高金属双极板表面防护涂层的结合可靠性,非晶碳层导电性和耐腐蚀性良好,且能解决金属双极板表面氧化导致导电性变差的问题,最终能够使金属双极板的平均腐蚀电流密度小于0.03μA/cm2(恒电位极化0.6V下保持24小时)、界面接触电阻小于2mΩ·cm2(1.4MPa下)。
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公开(公告)号:CN113529049A
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202110820232.1
申请日:2021-07-20
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C23C16/26 , C23C16/515 , C23C16/24 , C23C16/02
Abstract: 本发明涉及一种异形件表面Si掺杂多层DLC涂层的沉积系统,包括真空腔室及置于所述真空腔室内的样品架;所述样品架置于样品台上,该样品台的上表面密布有蜂窝孔且下方设有进气口,其特征在于:所述真空腔室内且所述样品台上设有圆桶状空心的辅助阴极,该辅助阴极内设有所述样品架。同时,本发明还公开了该沉积系统的沉积方法。本发明利用空心阴极效应在其内部产生高密度的等离子体,可将复杂工件完全浸没,从而实现Si掺杂多层DLC涂层在异形件表面全方位的均匀沉积,并且所制备的Si掺杂多层DLC涂层具有良好的结合力和优异的耐磨防腐性能,能有效延长了工件的使用寿命,具有极大的工业应用价值。
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公开(公告)号:CN113529048A
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202110819861.2
申请日:2021-07-20
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C23C16/26 , C23C16/24 , C23C16/02 , C23C16/458 , C23C16/515
Abstract: 本发明涉及一种活塞环表面高结合力超厚DLC涂层的超高速沉积方法,该方法包括以下步骤:⑴将活塞环经脱脂、清洗后进行活塞环夹装;将夹好的活塞环放入样品台上,在夹好的活塞环的外围且样品台上放置一个同轴的辅助阴极,密闭抽真空;⑵通入氩气,然后对辅助阴极施加负脉冲偏压,对活塞环表面进行去氧化物清洗和活化;⑶通入氩气和硅烷的混合气体,采用等离子体浸没注入方式进行沉积,得到梯度硅支撑层;⑷通过逐步增加乙炔气流量进行沉积,得到梯度硅掺杂DLC过渡层;⑸通过周期交替调节乙炔的气流量在活塞环表面进行周期交替沉积,得到多层硅掺杂DLC功能层,经自然降温,去真空,取出所述活塞环即可。本发明工艺简单、稳定易于工业化生产。
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