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公开(公告)号：CN103728829A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310483487.9
申请日：2013-10-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/64
CPC classification number: G03F1/64 , G03F1/142 , Y10T428/24008
Abstract: 本发明提供一种使防尘薄膜组件框架的宽窄到极限，以确保大的曝光面积的同时，防尘薄膜组件的制造中以及运送等中没有防尘薄膜组件框架的变形，防尘薄膜的折皱不会发生，可以以希望的尺寸精度在光掩膜上贴附的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件具有防尘薄膜组件框架内框及外框的双重结构，所述内框在将防尘薄膜绷紧设置加以保持的同时具有掩模粘着层，所述外框在与所述内框密切接着的同时可从所述内框上分离。
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公开(公告)号：CN103365074A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310114196.2
申请日：2013-04-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/64
Abstract: 本发明提供一种提高了刚性的树脂制的防尘薄膜组件框架。该防尘薄膜组件框架为一种通过溶融加压成型得到的树脂制的防尘薄膜组件框架（10），由混合有纤维状的强度增强剂的热塑性树脂形成。优选，防尘薄膜组件框架（10）的至少内侧表面由对紫外线具有耐光性的树脂覆膜（16）覆盖。
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公开(公告)号：CN103257522A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310049914.2
申请日：2013-02-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 一种防尘薄膜组件的制备方法，不仅对制造者名以及型式。制造号等，对各防尘薄膜组件进行识别的个体信息也进行表示，在对该个体信息进行简便确认的同时，清洁度高且可以防止发生灰尘以及异物附着。防尘薄膜组件的制造方法为，将防尘薄膜(3)贴附于防尘薄膜组件框架(2)的表面上，用波长500-11000nm的激光(25)进行照射而进行个体信息(5)的加工时，对所述激光(25)的照射部位进行吸引排气。
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公开(公告)号：CN103091975A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210436174.3
申请日：2012-11-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/64
Abstract: 提供一种利用在碳纤维中浸渍树脂而成的复合材料料，制作的轻量化的，由防尘薄膜的张力造成的弯曲以及处理时产生的弯曲小的高刚性，原料成本以及生产成本低的防尘薄膜组件框架。该防尘薄膜组件框架(1)为，由长边和短边形成的四边形状的框体，其四个角部的内壁侧以及外壁侧都为圆弧状。在长边和短边的各边的壁面的规定的场所，分别，用于防尘薄膜组件框架(1)的内侧和外侧通气用的通气孔(2)以及处理时使用的凹孔(3)。另外，掩模粘着层设置的下端面，设置有用于掩模粘着层形成的掩模粘着层用阶梯(4)。
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公开(公告)号：CN103086071A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210421116.3
申请日：2012-10-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 提供一种防尘薄膜组件收纳容器，防尘薄膜组件在容器本体的规定位置固定，用盖体进行覆盖，以防止异物附着，运送中所述固定状态可以确实地被维持，并且所述固定状态可以简单地解除，将防尘薄膜组件取出。该防尘薄膜组件收纳容器，由载置防尘薄膜组件(16)的容器本体(12)和盖体(14)构成，其特征在于：设置多个防尘薄膜组件固定部(18)，该固定部(18)包括在防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)，前端部(28a)插入的状态下转动可能的针(28)，在容器本体(12)设置的可以从防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)将前端部(28a)拔出可能地将针(28)装设的针装设部(32)，从装于容器本体(12)的盖体(14)的外侧将针装设部(32)的针(28)转动的盖体(14)的开口部(14a)，开口部(14a)的闭塞板(40)。针装设部(32)具有其装设的针(28)以规定角度转动时，针(28)被保持的突起部(30)和切口部(32b)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102236249B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201110104151.8
申请日：2011-04-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/62
Abstract: 一种用于收纳大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其在运送过程中极少产生灰尘，从而能保持所收纳的防尘薄膜组件清洁。一种大型的防尘薄膜组件收纳容器，用来收纳至少有一边的边长大于1000mm的防尘薄膜组件，其特征为：防尘薄膜组件收纳容器的本体为金属制，且于在其周缘载置、固定的盖体所接触的防尘薄膜组件收纳容器的表面，设有保护构件，防尘薄膜组件收纳容器本体与盖体之间介于该保护构件来载置和固定。该保护构件宜由至少2层所构成，与盖体相接触的层(上层)为树脂，而与防尘薄膜组件收纳容器本体相接触的层(下层)为硅粘合剂；更理想的是具有由弹性体所构成的中间层。
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公开(公告)号：CN102673890A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210022174.9
申请日：2012-02-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明提供一种防尘薄膜组件用包装箱，其不仅能够将容置了至少一个边长超过1000mm的特大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件储存容器以稳定而清洁的状态来不倾斜以及不脱落地进行保管，而且能够在对防尘薄膜组件储存容器以及被容置着的防尘薄膜组件发挥充分的缓冲能力不对其造成冲击和震动的情况下来进行运输以及搬运。防尘薄膜组件用包装箱(1)是用于保管和/或运输防尘薄膜组件储存容器(30)的包装箱，该储存容器是容置至少一个边长超过1000mm的防尘薄膜组件的储存容器，在该包装箱的内部底面上独立安装有多个缓冲体(18)，该缓冲体具有将突出于该防尘薄膜组件储存容器的外部底面的多个脚部(33)分别插入其中的凹部。
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公开(公告)号：CN102126586A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110002473.1
申请日：2008-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明的目的在于提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器，其是以片材成形，且未使用其它补强体，便具有能承受保管、输送中的外力冲击，防止异物附着于内部收纳的防护薄膜组件的足够刚性。为达成上述目的，本发明的容器本体以及盖体，是由树脂片材所成形的构件，其外周长边与外周短边的连接部，从平面方向观察时，与长边形成的角度在30°以上且未达到60°，而且形成长度50mm以上的直线形状，或形成半径40mm以上的圆弧形状。再者，容器本体互相平行的2边，从侧面方向观察时，外周部亦可形成至少具有2段直立面的形状。
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公开(公告)号：CN102053482A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010225329.X
申请日：2010-07-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/14 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法，该防尘薄膜组件剥离用夹具针对光罩具备固定构件，针对防尘薄膜组件具备粘接层，固定光罩与防尘薄膜组件相互之间的位置关系，在固定状态下将遮罩粘接层拉出并除去。本发明所述的简便的夹具以及剥离方法，能够以简易且安全的方式剥离贴附于光罩上的防尘薄膜组件。
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公开(公告)号：CN101441405B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200810178631.7
申请日：2008-11-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明的目的在于提供一种防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件用的防护薄膜组件收纳容器、及将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内的方法，特别是在大型防护薄膜组件中，可不使用隔离部而将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内。为达成上述目的，在防护薄膜框架的遮罩粘接剂侧端面的一部分上形成未涂布遮罩粘接剂的区域，将该未涂布区域载置于设置在防护薄膜组件收纳容器内部且由聚硅氧烷凝胶等材料所构成的防护薄膜框架支持部上，再来，利用可插入设置在防护薄膜框架侧面上的孔部内的固定销与固定销的保持机构将防护薄膜框架保持固定在防护薄膜组件收纳容器内。由于不使用隔离部也能保护粘接层，故无须设置隔离部。
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