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公开(公告)号：CN104900487A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510203149.4
申请日：2015-04-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
CPC classification number: H01L21/0203 , B23K26/3584
Abstract: 本发明涉及一种点阵扫描制备黑硅的方法和装置，属于半导体光电材料制备领域。该方法包括1：将硅片置于含掺杂物质的样品室中；2：将脉冲激光器的单束激光依次通过光阑、反射镜、半波片、偏振片、快门、扩束镜、聚焦透镜和达曼光栅等元件得到点阵激光；3：将点阵激光辐照硅片表面，通过计算机控制快门的开闭和三维平移台的运动实现点阵扫描，得到表面为微尖锥结构的黑硅材料。本发明通过引入达曼光栅，将单束激光变成二维的等光强阵列光束。达曼光栅对激光进行分束时，避免了普通半透半反镜分光过程中色散的影响，同时保证了分束后的光束质量。本发明将制备黑硅的方式由逐点扫描改为点阵扫描，大幅提高了黑硅的制备效率。
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公开(公告)号：CN102944218A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210500778.X
申请日：2012-11-30
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及飞秒激光测距领域，特别是主动色散补偿的飞秒激光测距装置及方法。该装置包括飞秒激光频率梳FLFC、激光隔离部分ISO、飞秒激光扩束准直部分、迈克尔逊测距装置部分、飞秒激光脉宽及相位测量部分FROG和数据采集及处理部分。本发明的装置体积小，操作灵活，具有广泛的工程应用前景。
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公开(公告)号：CN119197868A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411220173.4
申请日：2024-09-02
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 , 中国航空发动机研究院
Abstract: 本发明公开的一种基于TS‑DFT技术的气体压力测量装置及方法，属于气体压力测量领域。本发明的气体压力测量装置包括飞秒激光种子源、光谱选择模块、脉冲拾取器、时域展宽放大模块及气体压力测量模块。飞秒激光种子源的输出光经过光纤光栅及滤波器，挑选出针对不同目标气体测量所需的光谱，再通过脉冲拾取器选出单个脉冲，传入时域展宽放大模块，采用多级放大能够得到相对平坦的脉冲包络。展宽后的脉冲分为参考光和测量光，参考光通过光纤延迟线调节相对延时，测量光通过包含目标气体的气体池，经由耦合器耦合进入时域展宽放大模块，产生的信号由光电探测器接收，传递到数据采集及处理模块。本发明具有采样快、光谱分辨率高、动态范围大等优点。
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公开(公告)号：CN117907260A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311635839.8
申请日：2023-12-01
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开的基于相控阵飞秒激光发动机燃烧浓度场测量装置及方法，属于气体浓度测量领域。本发明包括第一飞秒激光频率梳、第二飞秒激光频率梳、光学分束器、两台相控阵器件、两台光电探测器阵列、数据采集模块、数据处理模块。在燃气尾喷口处将被测气体区域设置为N×N的激光探测通路。本发明使用相控阵结合飞秒光学频率梳，将单光束发散为覆盖扇形区域的面光速，通过二维光束交叠形成交叉网格区域，通过检测与分析气体分子在红外波段的吸收光谱来计算激光通路中气体的浓度，获取所有单通路中的气体浓度后，通过网格算法计算交叉网格区域的气体浓度场。本发明具有结构简单、体积小、分布密集、空间分辨率高、耦合效率高、环境适应性强等优点。
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公开(公告)号：CN114527293B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202210115517.X
申请日：2022-02-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01P3/36
Abstract: 本发明公开的一种基于飞秒光频梳的高精度转速测量方法，属于激光测量技术领域。半径已知的待测旋转物体的旋转轴应与光路主轴在同一个平面内，并且相垂直，会聚透镜将光束聚焦在旋转物体表面；锁定飞秒光频梳的重复频率与载波包络偏移频率；从频率计数器读取重复频率变化量；根据公式计算出待测旋转物体的转速。本发明将传统激光多普勒转速测量中激光频率的多普勒频移测量转化为射频域重复频率变化的测量，能够显著简化光路结构，降低信号处理复杂度。本发明能够提高转速测量的灵敏度和测量精度，由物体旋转引起多普勒频移导致的重复频率的极微小变化也能够被高分辨地探测到，并可将测量结果溯源于国际单位制的时间基本单位上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116667108A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310402579.3
申请日：2023-04-14
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种光频梳自动恢复装置及方法，属于硅基非线性光学光电调制领域。本发明包括激光器、IQ调制器、声光调制器、光纤放大器、偏振控制器、微环谐振腔、锁相环、任意波形发生器、光电探测器、PID模块、上位机。测试光频梳调试系统的传输损耗包括激光进入微腔前的光纤损耗和进入微腔后的传输损耗；调节锁相环输出频率范围，对微腔进行频率扫描；激光波长从蓝失谐进入，通过声光调制器逐渐降低激光器输出功率，并保持波长不变，当PID检测到功率上升时，控制激光功率快速上升直到PID检测到上升台阶，缓慢增加激光频率并保持功率不变，直到观察到单孤子光频梳；当单孤子消失重复让激光波长从蓝失谐进入后的控制步骤，实现光频梳自动恢复。
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公开(公告)号：CN116428968A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310211369.6
申请日：2023-03-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B9/023
Abstract: 本发明公开一种基于单腔双光梳的数字全息三维重建系统及方法，属于数字全息三维测量技术领域。本发明包括：单腔双光梳、粗波分复用器、第一光纤放大器、第二光纤放大器、第一光纤滤波器、第二光纤滤波器、第一光纤扩束镜、凹面反射镜、第二光纤扩束镜、分光镜、图像传感器以及计算机，单腔双光梳发出两种脉冲，经过分束、放大、滤波，测量光与参考光产生干涉条纹，形成全息图。本发明使用单腔双光梳作为光源，实现同轴全息术中零级像、孪生像与目标再现象的分离，改善全息成像的质量，便于实现工程化；本发明基于多波长外差技术，结合光梳宽光谱带宽、高时间相干性，抑制噪声的影响，实现大尺寸物体测量，拓展数字全息术的应用场景。
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公开(公告)号：CN112033551B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202010918805.X
申请日：2020-09-04
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01J9/04
Abstract: 本发明公开的一种宽带可调谐激光器波长测量装置及方法，属于波长测量技术领域。本发明包括飞秒光学频率梳系统、宽带可调谐激光器、反射镜、四分之一波片、偏振分光棱镜、二分之一波片、偏振分光棱镜、反射镜、平衡探测器、二分之一波片、偏振分光棱镜、平衡探测器、反射镜和信号处理与控制装置。利用飞秒光学频率梳宽光谱、高稳定性可溯源，将可调谐激光器的输出光与单台飞秒光学频率梳进行拍频，通过先验信息、可调谐激光器在连续调谐输出过程中与单台飞秒光学频率梳的拍频结果及光学系统硬件和软件解调算法实现可调谐激光器在连续调谐输出过程中波长重构，实现宽带可调谐激光光源在调谐输出过程中波长瞬时值的精确测量，且测量结果可溯源。
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公开(公告)号：CN112362173B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202011296459.2
申请日：2020-11-18
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01J9/04
Abstract: 本发明公开的一种基于差频双梳的激光波长测量装置及方法，属于激光波长测量领域。本发明的装置包括差频双梳装置、激光波长测量装置、数据采集与处理装置、待测激光器、第1频率计数器、第2频率计数器及微波原子钟。差频光梳装置由飞秒激光振荡器、放大‑扩谱模块、差频器、二次放大‑扩谱模块及重复频率锁相电路组成。差频光梳的载波包络偏移频率为零，光梳无需载波包络偏移频率锁相电路，使光梳结构更为简单，能够提高测量速度和抗干扰性，还能够降低光梳系统的相位噪声，提高测量精度；本发明采用差频双梳结构，无需利用波长计粗测确定梳齿序数，也不需要分别调节重复频率和载波包络偏移频率来确定正负号，测量速度快。
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公开(公告)号：CN114527293A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210115517.X
申请日：2022-02-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01P3/36
Abstract: 本发明公开的一种基于飞秒光频梳的高精度转速测量方法，属于激光测量技术领域。半径已知的待测旋转物体的旋转轴应与光路主轴在同一个平面内，并且相垂直，会聚透镜将光束聚焦在旋转物体表面；锁定飞秒光频梳的重复频率与载波包络偏移频率；从频率计数器读取重复频率变化量；根据公式计算出待测旋转物体的转速。本发明将传统激光多普勒转速测量中激光频率的多普勒频移测量转化为射频域重复频率变化的测量，能够显著简化光路结构，降低信号处理复杂度。本发明能够提高转速测量的灵敏度和测量精度，由物体旋转引起多普勒频移导致的重复频率的极微小变化也能够被高分辨地探测到，并可将测量结果溯源于国际单位制的时间基本单位上。
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