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公开(公告)号：CN209357691U
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201822247087.9
申请日：2018-12-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 本实用新型公开了一种新型离子源，包括底法兰、壳法兰、阴极法兰、绝缘套管、放电柱、进气装置、离子发生装置；底法兰的四周固定壳法兰；在壳法兰的顶部固定阴极法兰；在阴极法兰的顶部设置若干个放电柱安装孔；在放电柱安装孔内设置放电柱；进气装置设置在底法兰的圆心位置；进气装置穿过底法兰；穿入离子发生装置中并固定；进气装置与离子发生装置之间设置绝缘套管隔离；利用了利用了本实用新型在结构上的改变，将阴极从单个零部件变成均布的几个点，使得发射的离子从以往的跑道形式变成整个面，这样的离子束流不仅密度大，均匀性好，方向性也强。同时由于轴向磁场的作用，离子能量也更高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209352971U
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201822247089.8
申请日：2018-12-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种小弧源靶材快速更换装置，在所述的小弧源靶材装置的圆周的一侧，在所述的安装法兰上设置若干个弹性夹具；所述的小弧源靶材装置设置在所述的安装法兰上；在所述的小弧源靶材装置的一侧固定所述的转动座；在所述的转动座的两侧设置一段弧形凹槽，在弧形凹槽内设置定位销；所述的定位销固定在所述的滑动块上；在滑动块与转动座通过固定轴固定；在所述的滑动块的中间穿入圆导轨；所述的圆导轨固定在安装法兰上；技术效果在于，小弧源靶材装置能够快速地进行安装，杜绝了由于小弧源靶材会因为多次的紧固拆卸，造成小弧源固定法兰螺纹孔磨损的问题，延长了零部件的使用寿命。同时，用固定轴将小弧源靶材与安装法兰连接在一起，换靶时只需将靶材等主体组件拉出，大大简化了换靶操作，减少了所需时间。
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公开(公告)号：CN207176069U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135271.3
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/52
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的真空镀膜室用双层防护观察窗包括第一法兰、外层观察窗、内层观察窗、第二法兰，挡板；第一法兰与第二法兰之间依次设置外层观察窗、内层观察窗；在内层观察窗的右侧设置挡板；挡板为转动挡板；采用了挡板挡住真空镀膜室出现镀膜的颗粒物，延长镀膜的颗粒物污染观察室的时间；同时，在厚的观察室的里面设置一层较薄的观察室；这样，实现只要更换较薄的观察室就可以了，减少成本支出。
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公开(公告)号：CN220665426U
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202322365124.7
申请日：2023-09-01
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备平面靶的挡板机构，包括：支撑底板，所述支撑底板的上表面设置有挡板组件和镀膜组件，所述镀膜组件包括真空炉体和平面靶主体；所述挡板组件包括定位支撑台，所述定位支撑台的顶端设置有驱动构件，所述驱动构件的顶端连接有移动挡板，且所述驱动构件传动连接有伺服电机；所述驱动构件包括驱动转轴，所述驱动转轴的两端均固定安装有转动连杆二，所述转动连杆二的一侧转动连接有转动限位臂，所述转动限位臂的一端转动连接有转动连杆一。本实用新型通过伺服电机控制驱动构件带动移动挡板进行移动，移动挡板的位移距离小，便于对靶基距离较小的工件进行溅射镀膜，操作简单，实用更加方便。
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公开(公告)号：CN220646556U
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202322365161.8
申请日：2023-09-01
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16D43/21
Abstract: 本实用新型公开了一种扭力限制自转轴工件传动装置，包括：中心阶梯轴，所述中心阶梯轴的外壁套接有主体套筒，所述主体套筒的正面固定连接有连接套筒，所述连接套筒的正面转动安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的正面设置有摩擦片，所述摩擦片的正面设置有连接压板，所述连接压板的正面设置有蝶形弹簧，所述蝶形弹簧的正面设置有防松垫片，所述防松垫片的正面设置有调节螺母。本实用新型通过驱动齿轮与摩擦片和摩擦环的摩擦，将动力传递到中心阶梯轴上，中心阶梯轴产生转动，驱动齿轮以与中心阶梯轴产生相对滑动的方式来限制传动系统所传递的转矩，在转动过程中因震动、超载或机械故障而产生的转矩超过初设定值时起到保护作用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN213417061U
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202022100655.X
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C25D17/20
Abstract: 本实用新型特别涉及一种滚筒，置于卧式真空滚镀膜机的滚筒连接结构的后方；滚筒连接板，滚筒连接板设置在滚筒的前方，与滚筒固定连接；在滚筒连接板上设置连接结构；转轴连接板，设置在滚筒连接板，通过螺栓与设置在滚筒连接板的连接结构连接固定。本实用新型同现有技术相比，可以在滚筒外部进行螺栓的拆卸，而且有定位结构，操作简单且节省时间，解决了现有技术中螺栓需要从滚筒内部拆卸的技术问题，解决了真空滚镀膜机的滚筒时常需要清理，所以造成花费很多时间，每次在清理过程中，耗费大量地时间，而且清理工作困难，工作效率低下。
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公开(公告)号：CN209481776U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201920091946.1
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/22
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜用旋转式开合挡板，旋转装置固定在真空镀膜设备上，在真空镀膜设备的下方设置若干根第一连接柱，连接固定旋转导轨固定板，在旋转导轨固定板上设置旋转导轨槽；在旋转导轨槽内设置若干个滚轮；在滚轮设置在第二连接柱的一端；第二连接柱的另一端连接固定圆弧齿条；在圆弧齿条的后侧固定挡板；在圆弧齿条上啮合小齿轮；小齿轮上设置与旋转装置相连接的旋转轴。利用旋转装置带动圆弧齿条以及挡板在旋转导轨槽内做圆弧或者圆周运动；保证了挡板在真空镀膜设备内进行圆周运动，解决了在镀膜设备中不需要安装多块的挡板的不足，降低了生产的成本，解决了挡板与挡板之间缝隙没有办法全部覆盖的技术问题。
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公开(公告)号：CN207178714U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135246.5
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，固定套环的内部设置若干个叶片；叶片呈上下对称设置；每个叶片的背面铆接一转轴；转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个叶片的上方设置一轴座；每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将每个轴套用联动推杆串联；在法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接；采用了多叶片式的结构以及采用联动推杆串联叶片的结构；配合转动执行装置可以实现远程自动化的控制的同时，多叶片式节流阀的开合角度采用转动执行装置的控制；保证了多叶片式节流阀的控制精度。
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公开(公告)号：CN207176071U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721134548.0
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种多功能用途的水冷电极，包括铜电极、进水管、进水接头、出水接头、分水法兰，铜电极的上方设置进水接头，进水接头设置在分水法兰上，在分水法兰的另一侧设置出水接头，其特征在于，进水接头的下方设置进水管，进水管插入设置在铜电极上的空腔内；出水接头连通铜电极上的空腔，形成热交换区；在电极上通过水冷的形式来降低电极的工作温度；通过水进入电极内部的形式，将电极内部的温度进行降温，通过温度传导，利用冷却水的循环作用降低电极的温度，从而延长了电极的寿命；降低了应用的成本。
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公开(公告)号：CN207176066U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135273.2
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转靶用磁路组件，包括上端部、靶材、磁路组件、下端部，所述的旋转靶用磁路组件包括靶材制成的筒体；在所述的筒体内部设置磁路组件，其特征在于，在所述的磁路组件中设置冷却水通道；所述的冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；可以将冷却水通过冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；实现在旋转靶用磁路组件上实现的冷却水的接入以及循环使用。
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