用于爆炸品爆炸环境下的气体浓度检测系统

    公开(公告)号:CN101598666B

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN200910074571.9

    申请日:2009-06-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及爆炸品爆炸性能测试领域,具体是用于爆炸品爆炸环境下的气体浓度检测系统。解决了目前爆炸品爆炸环境下的气体浓度参数值不易获得的问题,包括若干测试点、分析仪、气体浓度传感装置;各测试点地面上开有两端罩设有保护罩的直槽;气体浓度传感装置含下方均布减震弹簧的底架、分别固定于底架两端的可调谐二极管激光发射接收装置和激光反射装置,两装置外装有防护罩,防护罩相对面上设石英光学窗口,底架置于直槽内,下方减震弹簧与槽底固定,两装置置于保护罩内,激光发射接收装置通过光纤、电缆与分析仪连接。结构合理,实现了在爆炸品爆炸环境下进行气体浓度测试的目的,测试效果好,准确度高,为正确评估爆炸品性能提供条件。

    微加速度计可靠性强化试验测试方法

    公开(公告)号:CN101639488A

    公开(公告)日:2010-02-03

    申请号:CN200910075247.9

    申请日:2009-08-22

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法,具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式,方便产品研发,改善产品整体性能,步骤如下:1.微加速度计于温度应力下的强化测试步骤;2.微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤;3.微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力,了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况,以便解决微加速度计的缺陷,提高微加速度计的整体性能、可靠性,利于高可靠性微加速度计新产品开发。

    微致动开关
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101510486A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200910074022.1

    申请日:2009-03-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及MEMS器件,具体是一种基于凝胶纤维与微胶囊技术的微致动开关。进一步了研发高性能微致动开关,包括开关主体,开关主体包含两侧分别设置有支撑体的底座、通过底座一侧支撑体支悬设置的悬臂梁,悬臂梁下方底座上设有底电极,悬臂梁下表面设有顶电极,底座另一侧支撑体上支悬固定有凝胶纤维,凝胶纤维的自由端固定有置于悬臂梁自由端正下方的滑块,凝胶纤维外涂敷有内为酸性介质的微胶囊涂层;开关主体还包括设置于底座上的:通过弹性梁支悬设置质量块的支撑架、分别位于滑块两侧的两开关柱,两开关柱顶面设有电极,悬臂梁自由端下表面设有电极。结构合理、紧凑,可靠性高,应用范围广,再一次验证了将非硅材料应用于MEMS器件构成中的可行性。

    基于SOI晶圆的MEMS电容式传感器结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN119240594A

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202410909040.1

    申请日:2024-07-08

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于SOI晶圆的MEMS电容式传感器结构及其制备方法,属于MEMS传感器技术领域。该结构包括自上而下设置的上电极层、振膜层、电容空腔层、衬底层和下电极层;电容空腔层上形成有若干个呈矩形阵列排布的电容空腔体,相邻电容空腔体之间形成环状支撑壁,电容空腔体正上方形成振膜体,振膜体周围开设有贯穿振膜层的环状释放通道;上电极层包括若干个位于振膜体顶部的上电极体;下电极层包括设置在衬底层底面上的下电极体。本发明传感器结构制造方法简单,工艺流程少,成本低,可批量生产。本发明传感器结构尺寸小,集成度高,灵敏度高。

    一种主动半捷联惯性测量系统转子振动噪声分析抑制方法

    公开(公告)号:CN106500551B

    公开(公告)日:2017-11-21

    申请号:CN201611179414.0

    申请日:2016-12-19

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及主动半捷联惯性测量系统,具体是一种主动半捷联惯性测量系统转子振动噪声分析抑制方法。本发明解决了主动半捷联惯性测量系统因转子振动噪声导致测量精度降低的问题。一种主动半捷联惯性测量系统转子振动噪声分析抑制方法,该方法是采用如下步骤实现的:步骤S1:分别采集到系统的Y轴加速度计输出的比力数据、Z轴加速度计输出的比力数据、光电编码器输出的相对转角数据;步骤S2:对光电编码器输出的相对转角数据进行微分;步骤S3:对电机转速数据进行分段;步骤S4:对比力数据进行分段;步骤S5:对各个比力数据片段进行低通滤波;步骤S6:对各个比力数据片段进行拼接。本发明适用于主动半捷联惯性测量系统。

    一种基于热释电感知的分散式目标跟踪定位系统及方法

    公开(公告)号:CN105044673A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510466434.5

    申请日:2015-07-31

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01S5/16

    Abstract: 本发明公开了一种基于热释电感知的分散式目标跟踪定位系统以及方法,所公开的跟踪定位系统包括多个感知单元,相邻的感知单元覆盖区域相切或相交叉重叠;每个感知单元由多个面向不同方位的热释电传感器组成,相邻热释电传感器的视场角部分重叠覆盖。本发明公开的基于热释电感知的分散式目标跟踪定位系统实现了目标的分散式布局感知定位,具有良好的定位精度和定位区域范围。

    基于多退化机理的小样本微惯性传感器可靠度评估方法

    公开(公告)号:CN104992076A

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201510479379.3

    申请日:2015-08-06

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微惯性传感器可靠度评估方法,具体是一种基于多退化机理的小样本微惯性传感器可靠度评估方法。本发明解决了现有微惯性传感器可靠度评估方法在有限的时间和费用约束条件下无法进行可靠度评估、评估准确性和可信度低的问题。基于多退化机理的小样本微惯性传感器可靠度评估方法,该方法是采用如下步骤实现的:1)选择能够表征微惯性传感器在环境应力下性能呈现退化的敏感特征参数;2)设计性能退化试验剖面;3)对p个同批次的微惯性传感器进行性能退化试验;4)对p个微惯性传感器的q个敏感特征参数分别设置失效阈值;5)综合评估p个微惯性传感器在各个工作时刻的可靠度。本发明适用于微惯性传感器。

    一种提升硅微机械陀螺仪带宽全温性能的方法

    公开(公告)号:CN104897150A

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201510334584.0

    申请日:2015-06-16

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01C19/5776 G01C25/005

    Abstract: 本发明涉及微机械陀螺仪,具体是一种提升硅微机械陀螺仪带宽全温性能的方法。本发明解决了微机械陀螺仪无法兼顾机械灵敏度和带宽、带宽全温性能差的问题。一种提升硅微机械陀螺仪带宽全温性能的方法,该方法是采用如下步骤实现的:1)以扫频的方式确定微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的谐振角频率;2)根据微机械陀螺仪驱动模态和检测模态扫频测试的结果,计算得出微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的品质因数;3)在微机械陀螺仪的检测回路中增设偶极子全温跟踪补偿控制器;所述偶极子全温跟踪补偿控制器包括温度补偿环节、零极点发生环节、比例环节。本发明适用于微机械陀螺仪。

    基于螺旋矢量的捷联姿态位置一体化更新算法

    公开(公告)号:CN103983267A

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:CN201410243487.6

    申请日:2014-06-03

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01C21/16

    Abstract: 本发明涉及捷联惯导算法,具体是一种基于螺旋矢量的捷联姿态位置一体化更新算法。本发明解决了传统的捷联惯导算法破坏刚体在空间运动的完整性、增加算法设计和实现的复杂度、以及在高旋转环境下难以满足高解算精度的要求的问题。基于螺旋矢量的捷联姿态位置一体化更新算法,该算法是采用如下步骤实现的:1)根据刚体的角速度和比力,求解出在时间[tk,tk+H]内刚体相对惯性参考坐标系的螺旋矢量增量;2)根据螺旋矢量增量,求解出在时间[tk,tk+H]内刚体的更新对偶四元数;3)根据更新对偶四元数,实时更新刚体的姿态位置对偶四元数;4)根据姿态位置对偶四元数,求解出在tk+H时刻刚体相对惯性参考坐标系的平移矢量。本发明适用于常规弹药制导系统。

    适用于高速旋转飞行体的半捷联式惯性测量与导航算法

    公开(公告)号:CN103776450A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410070602.4

    申请日:2014-02-28

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01C21/16

    Abstract: 本发明涉及惯性测量与导航算法,具体是一种适用于高速旋转飞行体的半捷联式惯性测量与导航算法。本发明解决了半捷联式惯性测量系统测得的运动信息无法准确反映高速旋转飞行体的运动信息的问题。适用于高速旋转飞行体的半捷联式惯性测量与导航算法,该算法是采用如下步骤实现的:1)实时测出三维比力;实时测出三维角速率;2)实时更新计算出系到n系的姿态矩阵、系相对n系的三维加速度、系相对n系的三维速度、系相对n系的三维位置、系相对n系的三维姿态角;3)求解出三维比力;4)求解出三维角速率;5)求解出三维加速度;6)求解出三维速度;7)求解出三维位置;8)求解出三维姿态角。本发明适用于测量高速旋转飞行体的运动信息。

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